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共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀制作技術(shù)

1 成果簡介該技術(shù)可用于制造高技術(shù)產(chǎn)品——各種不同波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀；該技術(shù)屬國際首創(chuàng)，具有完全的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。這種技術(shù)突破了制作一種波長的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀需要用相應(yīng)波長激光進(jìn)行調(diào)整的限制，它既可以用于在已有相應(yīng)激光作為檢測工具的情況下制作共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，也可以在沒有相應(yīng)激光作為檢測工具的情況下，甚至在國內(nèi)外尚沒有研制出相應(yīng)（波長）激光器的情況下，制作所需任何波長的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀；該項(xiàng)技術(shù)包括共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀全套部件的制作技術(shù)和檢測技術(shù)，還包括最新國際首創(chuàng)的光纖耦合輸入共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀制造技術(shù)；采用該技術(shù)可以以極高的性價(jià)比和極高的利潤率制作共焦球面干涉儀，具有國內(nèi)外最高的性能價(jià)格比。該技術(shù)已經(jīng)成熟，制作工藝已經(jīng)簡化和標(biāo)準(zhǔn)化，并已用于批量生產(chǎn)共焦球面干涉儀。該技術(shù)生產(chǎn)的是高技術(shù)產(chǎn)品，但由于技術(shù)與工藝成熟，所以對操作人員的要求并不高，細(xì)心的操作工即可勝任。2 應(yīng)用說明用該技術(shù)制造的共焦球面法布里珀羅干涉儀有重要而廣泛的應(yīng)用，舉例如下：激光器模譜分析與測量適于各種激光器的測量，包括：適用于固體、氣體、液體、半導(dǎo)體激光器的測量；適用于連續(xù)激光器、重復(fù)頻率脈沖激光器的測量；適用于各種波長（可見光、紅外光、紫外光等）激光的測量。激光橫模測量：檢測激光器工作于基橫模，高階橫模，混合模；激光縱模測量：縱模數(shù)量、間隔、譜線寬度、增益線線型；激光縱模分裂與模競爭的測量；激光器增益系數(shù)的測量。激光器的制作過程監(jiān)測：監(jiān)測激光器工作的單頻、雙頻及多頻狀態(tài)及雙頻激光功率平衡。多種儀器的制作與工作狀態(tài)的檢測：比如激光陀螺、原子時(shí)鐘、激光測速儀等，這些儀器都需要工作在一個(gè)穩(wěn)定的頻率上。濾波器、選頻器：從多個(gè)頻率的激光束中，選出其中一個(gè)頻率的激光。穩(wěn)頻器：用于使激光器穩(wěn)定工作在一個(gè)所需要的頻率上。多種傳感器：微位移測量（比如壓電陶瓷的微小伸縮靈敏度的測量等），物體表面超聲脈沖的檢測，微振動(dòng)的檢測，液體折射率和濃度的檢測。3 效益分析對于制作通用波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價(jià)-成本比高 10:1；對不常用波長激光的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，其售價(jià)-成本比可高 50:1。共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀的單價(jià)較高，為 5000-25000 元；生產(chǎn)效率高， 4-5 臺(tái)/人日；生產(chǎn)設(shè)備投資很低。僅需光學(xué)平臺(tái)、通用激光器和示波器；生產(chǎn)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀，是國家教委規(guī)定的大學(xué)實(shí)驗(yàn)室必備基本儀器；是激光器、多種傳感器等儀器的制作與使用過程的監(jiān)測等應(yīng)用的首選儀器；在教學(xué)、科研、生產(chǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域中均有重要而廣泛的應(yīng)用，市場大；由于高性價(jià)比和高效益，使用該技術(shù)生產(chǎn)的共焦球面法布里-珀羅掃描干涉儀已經(jīng)占領(lǐng)國內(nèi)市場，國際市場待開發(fā)，可望產(chǎn)生很好的經(jīng)濟(jì)效益。

清華大學(xué) 2021-04-13

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