共焦白光偏振干涉的多層透明介質厚度測量裝置和方法

其它領域

本發明屬于白光干涉測厚領域，并公開了共焦白光偏振干涉的 多層透明介質厚度測量裝置和方法。包括被測物、第三透鏡、第二透 鏡、第二小孔構成共焦結構，平行白光經第二棱鏡后，一束作為測量 光束經第三透鏡匯聚到被測表面，另一束作為參考光束經過多次反射 后與從被測表面反射回來的測量光束發生干涉，在第二棱鏡和第二透 鏡之間設置提高干涉條紋的對比度的可旋轉偏振片，實現在第一圖像 傳感器上形成高對比度干涉條紋。本發明還公開了利用上述裝置進行 測量的方法。

產業化應用