多焦點光束產生裝置及多焦點共焦掃描顯微鏡

其它領域

本發明揭示了一種多焦點光束產生裝置及多焦點共焦掃描顯微鏡,多焦點光束產生裝置包括光源,偏振器和偏振濾波光路;偏振濾波光路在光源出射光束經過偏振器后的光路上設置有第一偏振分光鏡,光束經過第一偏振分光鏡后一部分發生反射,一部分發生透射;在反射光路上依次設置有第一反射鏡,第一濾波片和第二偏振分光鏡;在透射光路上依次設置有第二濾波片,第二反射鏡和第二偏振分光鏡,反射光束和透射光束在第二偏振分光鏡處匯合成一束光束.通過多焦點光束產生裝置產生的光束經聚焦后得到的焦點均勻性高,尺寸小和形狀呈圓對稱分布.本發明掃描顯微鏡可保證高分辨率的前提下成像速度快,或者在同樣的成像速度下具有更高分辨率