一種激光快速分離光學(xué)晶體方法及裝置
本發(fā)明公開(kāi)了一種激光快速分離光學(xué)晶體方法,該方法先利用 超快激光或微型金剛石砂輪對(duì)光學(xué)晶體進(jìn)行分離方向設(shè)置,在分離開(kāi) 始端形成一條方向沿待分離路徑的預(yù)制微裂紋;再利用聚焦激光對(duì)預(yù) 制微裂紋進(jìn)行掃描加熱,形成激光誘導(dǎo)微裂縫;沿著待分離路徑快速 移動(dòng)聚焦激光,直至激光移動(dòng)速度與裂縫擴(kuò)展速度相同,使聚焦激光 始終跟隨著微裂縫最前端,并使微裂縫兩側(cè)材料發(fā)生熱膨脹效應(yīng),在 微裂縫尖端產(chǎn)生前向擠壓和側(cè)向拉應(yīng)力,將晶體材料拉開(kāi),最
華中科技大學(xué)
2021-04-14