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一種激光快速分離光學晶體方法及裝置

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞: 光學晶體
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

本發明公開了一種激光快速分離光學晶體方法,該方法先利用

超快激光或微型金剛石砂輪對光學晶體進行分離方向設置,在分離開

始端形成一條方向沿待分離路徑的預制微裂紋;再利用聚焦激光對預

制微裂紋進行掃描加熱,形成激光誘導微裂縫;沿著待分離路徑快速

移動聚焦激光,直至激光移動速度與裂縫擴展速度相同,使聚焦激光

始終跟隨著微裂縫最前端,并使微裂縫兩側材料發生熱膨脹效應,在

微裂縫尖端產生前向擠壓和側向拉應力,將晶體材料拉開,最

項目階段:
未應用
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