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本發(fā)明公開了一種用于芯片倒裝的多自由度鍵合頭，包括安裝立板、對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和調(diào)平機(jī)構(gòu)，其中對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括縱向設(shè)置在安裝立板上部的 Z 向模組和橫向設(shè)置在 Z 向模組上的支架，并在 Z 向電機(jī)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的配合驅(qū)動(dòng)下實(shí)現(xiàn)鍵合頭相對(duì)于 Z 軸方向的對(duì)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)；調(diào)平機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在支架下側(cè)的上平臺(tái)、帶有吸嘴的下平臺(tái)和設(shè)置在上下平臺(tái)之間的三個(gè)支鏈結(jié)構(gòu)，其中調(diào)平中心鏈的兩端分別通過轉(zhuǎn)動(dòng)副與上下平臺(tái)相連，分布在中心鏈兩側(cè)的兩個(gè)調(diào)平側(cè)鏈各自配備有作為調(diào)節(jié)動(dòng)力輸入的移動(dòng)副，且其上下端分布通過多個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)副與上下平臺(tái)相連。通過本發(fā)

（專利號(hào)：ZL 201510030595.X） 簡(jiǎn)介：本發(fā)明公開一種多自由度可拆卸輕型分揀機(jī)器人，屬于工業(yè)機(jī)器人技術(shù)領(lǐng)域。該機(jī)器人機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、末端執(zhí)行器、第一支鏈、第二支鏈和第三支鏈，第一支鏈包括第一主動(dòng)臂、第一從動(dòng)臂、第二主動(dòng)臂以及連接桿，第二支鏈包括第三主動(dòng)臂、第三從動(dòng)臂和第三次級(jí)從動(dòng)臂，第三支鏈包括第四主動(dòng)臂和齒條；第一支鏈、第二支鏈以及第三支鏈分別由主動(dòng)臂與驅(qū)動(dòng)裝置連接，第一支鏈、第二支鏈和第三支鏈均與末端執(zhí)行器連接。本發(fā)明采用

本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，并公開了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的多自由度機(jī)械手，包括拾取單元、α轉(zhuǎn)動(dòng)模塊、γ轉(zhuǎn)動(dòng)模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元，其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉(zhuǎn)動(dòng)的β轉(zhuǎn)動(dòng)自由度，并可在軸向和周向上對(duì)吸附區(qū)域 進(jìn)行調(diào)整；α、γ轉(zhuǎn)動(dòng)模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實(shí)現(xiàn)機(jī)械 手繞 X 軸和 Z 軸轉(zhuǎn)動(dòng)的α和γ轉(zhuǎn)動(dòng)自由度以及 XYZ 三個(gè)方向的平動(dòng) 自由度；氣路分配單元執(zhí)行拾取單元內(nèi)部各個(gè)真空氣路的開關(guān)控制和 真空度檢測(cè)；視覺定位單元用于實(shí)現(xiàn)柔性膜在 XY 平

本項(xiàng)目主要解決此市場(chǎng)痛點(diǎn)，將3D打印技術(shù)和液壓系統(tǒng)相結(jié)合，設(shè)計(jì)一套輕量化的液壓機(jī)械臂，特別適用于航空航天、軍工、勘探、安防、排爆、物流搬運(yùn)等特種機(jī)器人領(lǐng)域。對(duì)比同體積和質(zhì)量的電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，扭矩可增加4倍以上。 一、項(xiàng)目進(jìn)展 已注冊(cè)公司運(yùn)營(yíng) 二、企業(yè)信息 企業(yè)名稱 上海埃曼機(jī)器人有限公司 企業(yè)法人 唐鋒 注冊(cè)時(shí)間 2021.8.19 注冊(cè)所在省市 上海 組織機(jī)構(gòu)代碼 91310113MA7B0CQ912 經(jīng)營(yíng)范圍 機(jī)器人及其配件的研發(fā)、銷售 企業(yè)地址 上海市寶山區(qū)上大路668號(hào) 獲投資情況 EFG天使基金 三、負(fù)責(zé)人及成員 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 入學(xué)/畢業(yè)時(shí)間 唐鋒 材料科學(xué)與工程/冶金工程 2020.09 黃夢(mèng)婷 材料科學(xué)與工程/冶金工程 2020.09 劉翔 材料科學(xué)與工程/冶金工程 2020.09 四、指導(dǎo)教師 姓名 學(xué)院/所學(xué)專業(yè) 職務(wù)/職稱 研究方向 王江 材料科學(xué)與工程 教授 陳超越 材料科學(xué)與工程 講師 五、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 目前市面上使用的機(jī)械臂、機(jī)器人95%以上為電機(jī)驅(qū)動(dòng)，存在負(fù)載小，抗干擾能力差，續(xù)航短的問題，難以滿足人們對(duì)負(fù)載日益增長(zhǎng)的需求。而液壓驅(qū)動(dòng)的機(jī)械臂、機(jī)器人在相同功率下可以提供更大負(fù)載，對(duì)外界干擾不敏感，但同樣存在一些問題，比如液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)和液壓元器件體積大，質(zhì)量大，漏油，散熱差等，因而很少被采用。在大負(fù)載、移動(dòng)式機(jī)器人領(lǐng)域二者難以兼顧。 本項(xiàng)目主要解決此市場(chǎng)痛點(diǎn)，將3D打印技術(shù)和液壓系統(tǒng)相結(jié)合，設(shè)計(jì)一套輕量化的液壓機(jī)械臂，特別適用于航空航天、軍工、勘探、安防、排爆、物流搬運(yùn)等特種機(jī)器人領(lǐng)域。對(duì)比同體積和質(zhì)量的電驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，扭矩可增加4倍以上。 從最初的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)就采用增材制造思維，打破傳統(tǒng)加工工藝的限制，因而設(shè)計(jì)更加多樣化。然后將關(guān)鍵液壓元器件也采用輕量化設(shè)計(jì)，金屬3D打印工藝加工，部分液壓元件外殼可進(jìn)一步與機(jī)械結(jié)構(gòu)件集成，使整體更加輕量化，簡(jiǎn)潔化。 團(tuán)隊(duì)目前已為中電X所開發(fā)一套原型機(jī)，產(chǎn)品于2021年7月交付，目前在開發(fā)第二代產(chǎn)品。今年1月與浙江大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院簽訂三年合作開發(fā)協(xié)議，開發(fā)一款用于軍工的機(jī)械狗腿部關(guān)節(jié)等項(xiàng)目。

針對(duì)六自由度電動(dòng)或液壓平臺(tái)，輸入六個(gè)缸體的空間幾何數(shù)據(jù)，建立電動(dòng)缸空間運(yùn)動(dòng)模型。在六自由度平臺(tái)合理的運(yùn)動(dòng)范圍內(nèi)，輸入任意六自由度數(shù)據(jù)（X,Y,Z坐標(biāo)，以及繞X,Y,Z軸的旋轉(zhuǎn)角度），可以精確計(jì)算出每個(gè)缸體運(yùn)動(dòng)的長(zhǎng)度，并用三維圖形進(jìn)行顯示。 每個(gè)缸體采用位移傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)缸體長(zhǎng)度，通過給定不同的驅(qū)動(dòng)電壓和驅(qū)動(dòng)時(shí)長(zhǎng)，可以使得六自由度平臺(tái)做出預(yù)定姿態(tài)。 若相關(guān)企業(yè)需要，該專利可低額轉(zhuǎn)讓，具體價(jià)格面議。

本項(xiàng)目的目標(biāo)是開發(fā)新一代全數(shù)字化高檔數(shù)控系統(tǒng)（五軸），研究相關(guān)軟硬件核心技術(shù)，提升南通市及我國(guó)高檔數(shù)控系統(tǒng)的自主技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化能力，在高速立、臥式加工中心，精密立、臥式加工中心，五軸聯(lián)動(dòng)加工中心，高速數(shù)控車床及車削中心，臥式車銑復(fù)合加工中心等高檔數(shù)控機(jī)床上配套應(yīng)用，形成批量生產(chǎn)能力。可達(dá)技術(shù)指標(biāo)序號(hào)名稱規(guī)格1插補(bǔ)周期1ms2最小分辨率脈沖模式，1um；總線模式，0.1um3前瞻段數(shù)10004聯(lián)動(dòng)軸數(shù)五軸，三個(gè)直線軸、兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸5伺服驅(qū)動(dòng)接口脈沖、SERCOS III、Mechatrolink II6曲線插補(bǔ)Nurbs曲線插補(bǔ)7RTCP刀具中心點(diǎn)控制8空間刀具補(bǔ)償多種空間刀具補(bǔ)償模式，補(bǔ)償建立、取消9平面C型刀具補(bǔ)償256組10螺距誤差補(bǔ)償單向、雙向螺距誤差補(bǔ)償11反向間隙補(bǔ)償多種條件補(bǔ)償模式12加減速功能直線型和S型13G代碼標(biāo)準(zhǔn)兼容Fanuc標(biāo)準(zhǔn)14宏程序功能Fanuc A類宏程序15PLC功能兼容Fanuc標(biāo)準(zhǔn)，最大支持1024輸入/1024輸出點(diǎn)，128個(gè)定時(shí)器，128個(gè)計(jì)數(shù)器16現(xiàn)場(chǎng)總線接口CAN、RS485   一、系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù) 高速高精多軸運(yùn)動(dòng)控制算法研究： (1) 基于前瞻功能的連續(xù)微小線段軌跡運(yùn)動(dòng)控制算法 基于超聲波加工運(yùn)動(dòng)特性及動(dòng)力學(xué)特性分析，提出“速度規(guī)劃單元”和“速度等級(jí)”概念。實(shí)現(xiàn)了具有前瞻功能的連續(xù)微小線段軌跡速度規(guī)劃算法。該算法根據(jù)讀入軌跡段的幾何特性及動(dòng)力學(xué)特性自適應(yīng)實(shí)現(xiàn)超聲波加工軌跡插補(bǔ)中的速度控制，在保證軌跡精度的前提下，盡可能地提高超聲波加工速度；根據(jù)微段速度規(guī)劃策略，實(shí)現(xiàn)了針對(duì)連續(xù)微小線段軌跡的插補(bǔ)算法。插補(bǔ)算法可正確確定微段插補(bǔ)過程中每一步的軌跡坐標(biāo)，并解決插補(bǔ)過程中的終點(diǎn)判斷問題。 (2) 柔性加減速控制算法 實(shí)現(xiàn)了對(duì)插補(bǔ)軌跡進(jìn)行精確控制以及對(duì)加速度和加加速進(jìn)行控制。優(yōu)異的加減速控制算法可以避免超聲波加工中心的沖擊、振動(dòng)，并在不增加系統(tǒng)運(yùn)算量的情況下使得整個(gè)插補(bǔ)過程能夠平滑快速執(zhí)行。本部分工作實(shí)現(xiàn)了直線型加減速、S型加減速。此外由于軌跡插補(bǔ)和速度規(guī)劃的離散性，重點(diǎn)實(shí)現(xiàn)了軌跡末端的速度平滑處理，即“尾巴處理”，使整個(gè)插補(bǔ)過程平滑進(jìn)行。 (3) NURBS曲線插補(bǔ)及速度平滑控制 實(shí)現(xiàn)了具有軌跡預(yù)讀功能的NURBS曲線運(yùn)動(dòng)規(guī)劃算法。針對(duì)NURBS曲線的軌跡幾何特征，實(shí)現(xiàn)了基于“規(guī)劃單元”的速度規(guī)劃和參數(shù)插補(bǔ)算法。給出NURBS預(yù)讀策略和速度規(guī)劃算法，通過規(guī)劃單元的預(yù)讀、規(guī)劃單元間轉(zhuǎn)接速度的調(diào)整和規(guī)劃結(jié)果的及時(shí)輸出保證了插補(bǔ)的實(shí)時(shí)性；實(shí)現(xiàn)了NURBS曲線規(guī)劃單元的參數(shù)插補(bǔ)方法。為了適應(yīng)采用的軌跡預(yù)讀算法，提出“重疊拼接法，實(shí)現(xiàn)了相鄰兩個(gè)NURBS曲線的光滑轉(zhuǎn)接。 機(jī)床精度補(bǔ)償技術(shù)研究： (1) RTCP技術(shù) 實(shí)現(xiàn)了旋轉(zhuǎn)刀具中心點(diǎn)編程RTCP(Rotation Tool Centre Point)。RTCP功能采用將以往在CAM中的由機(jī)床配置引起坐標(biāo)變換移植到CNC控制器中在坐標(biāo)插補(bǔ)之后進(jìn)行的策略,即采用先插補(bǔ)后轉(zhuǎn)換的機(jī)制來徹底消除坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)而引起的非線性誤差，提高加工精度。 (2)空間刀具補(bǔ)償技術(shù) 實(shí)現(xiàn)了空間刀具補(bǔ)償。測(cè)量超聲波工具直徑與伸出長(zhǎng)度，并確定最佳工作間隙，以及在此工藝條件下去除的材料厚度，將三者之和作為“工具補(bǔ)償參數(shù)”通過分析超聲波頭與零件之間關(guān)系，開發(fā)適應(yīng)不同情況的刀具補(bǔ)償矢量計(jì)算方法。根據(jù)補(bǔ)償指令方法的使用方式，實(shí)現(xiàn)了工具補(bǔ)償?shù)慕⑴c取消方法。實(shí)現(xiàn)了補(bǔ)償過程中由于補(bǔ)償平面的改變而引起的工具干涉情況。 (3)誤差補(bǔ)償技術(shù) 除了RTCP和空間刀補(bǔ)外，實(shí)現(xiàn)了反向間隙補(bǔ)償、螺距誤差補(bǔ)償。控制系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)研究： (1) 運(yùn)動(dòng)控制總線 實(shí)現(xiàn)了與伺服驅(qū)動(dòng)器的通信。運(yùn)動(dòng)控制總線的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)較多，在不開發(fā)伺服驅(qū)動(dòng)器的條件下，只能采用某一國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。本系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)：(1)基于以太網(wǎng)物理層的SERCOS III標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)是歐系數(shù)控系統(tǒng)的主力標(biāo)準(zhǔn)，有大量的高性能伺服驅(qū)動(dòng)器可供選擇；(2)基于RS485物理層的Mechatrolink II標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)由安川開發(fā)，伺服驅(qū)動(dòng)器價(jià)格相對(duì)低，具有成本優(yōu)勢(shì)。 (2) 位置控制算法 實(shí)現(xiàn)了對(duì)電機(jī)的位置控制。本系統(tǒng)采用目前成熟穩(wěn)定的帶有前饋的PID控制實(shí)現(xiàn)位置環(huán)，閉環(huán)周期100ms。傳統(tǒng)的PID是典型的反饋控制，雖然具有穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)，但是需要誤差已經(jīng)產(chǎn)生后才能改變輸出，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)值的跟蹤，因此從根本上是無法避免跟蹤誤差的。而前饋控制可以將目標(biāo)值處理后直接向前傳遞，達(dá)到系統(tǒng)快速響應(yīng)和跟蹤的目的，理論上可以實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)值的零誤差跟蹤。 (3) PLC相關(guān)技術(shù) 實(shí)現(xiàn)了梯形圖的編輯、編譯、運(yùn)行、調(diào)試功能。同時(shí)提供PC Windowns環(huán)境下的梯形圖編輯、編譯環(huán)境。 二、對(duì)國(guó)家產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)影響 通過本項(xiàng)目的實(shí)施，將極大促進(jìn)我國(guó)自主高檔數(shù)控機(jī)床產(chǎn)業(yè)的整體進(jìn)步，形成打破國(guó)外技術(shù)壟斷和產(chǎn)品封鎖的知識(shí)產(chǎn)權(quán)利器，使國(guó)產(chǎn)高檔數(shù)控機(jī)床及高檔數(shù)控系統(tǒng)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)上具有核心競(jìng)爭(zhēng)力和自主權(quán)。     應(yīng)用范圍：   本項(xiàng)目的目標(biāo)是開發(fā)新一代全數(shù)字化高檔數(shù)控系統(tǒng)，研究相關(guān)軟硬件核心技術(shù)，提升我國(guó)高檔數(shù)控系統(tǒng)的自主技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)化能力，在高速立、臥式加工中心，精密立、臥式加工中心，五軸聯(lián)動(dòng)加工中心，高速數(shù)控車床及車削中心，臥式銑車（車銑）復(fù)合加工中心等高檔數(shù)控機(jī)床上配套應(yīng)用，形成批量生產(chǎn)能力。

本實(shí)用新型涉及三自由度球心可調(diào)靈活眼，包括機(jī)架、眼球、球心調(diào)節(jié)桿和伸縮桿，眼球包括下半眼球與上半眼球，下半眼球與上半眼球固接，球心調(diào)節(jié)桿包括第一支撐桿和第二支撐桿，第一支撐桿下端與機(jī)架垂直固接，第一支撐桿上端與第二支撐桿下端螺紋聯(lián)接，第二支撐桿上端用球面副與下半眼球底端連接，伸縮桿下端用球銷副與機(jī)架連接，伸縮桿上端用球面副與下半眼球連接；三個(gè)伸縮桿圍繞球心調(diào)節(jié)桿均布。本實(shí)用新型具有空間三個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)自由度的，靈活度高，易實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)動(dòng)；將三個(gè)直線運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為眼球的空間轉(zhuǎn)動(dòng)，控制方便；球心調(diào)節(jié)桿增加靈活眼的工作空間，增加了其環(huán)境適應(yīng)力。

本發(fā)明公開了一種用于偏癱患者的多自由度拇指康復(fù)訓(xùn)練裝置，包括支撐底座以及固定在支撐底座上的驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)Ｉ和驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)ＩＩ，驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)Ｉ和驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)ＩＩ由光電編碼器、直流力矩電機(jī)、磁流變液阻尼器和力矩傳感器組成；其中，驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)Ｉ的輸出端通過聯(lián)軸器Ｉ連接弧形導(dǎo)軌的一端，弧形導(dǎo)軌的另一端依次通過連接桿Ｉ、連接桿ＩＩ、連接桿ＩＩＩ固定在支撐板Ｉ上，連接桿ＩＩＩ通過軸承Ｉ固定在支撐板Ｉ上，支撐板Ｉ固定在支撐底座上；驅(qū)動(dòng)傳感機(jī)構(gòu)ＩＩ的輸出端通過聯(lián)軸器ＩＩ連接手機(jī)訓(xùn)練機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)軸，手指訓(xùn)練機(jī)構(gòu)包括訓(xùn)練桿、前指套、后指套、驅(qū)動(dòng)連接件和驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸通過驅(qū)動(dòng)連接件與訓(xùn)練桿傳動(dòng)連接；訓(xùn)練桿的前端部嵌入弧形導(dǎo)軌中沿著弧形導(dǎo)軌滑動(dòng)。

本發(fā)明公開了一種用于多自由度倒裝鍵合過程的芯片控制方法，其主要控制過程包括：獲取芯片的貼裝位置信息；鍵合頭拾取芯片，獲取芯片 Z 旋轉(zhuǎn)軸和 X/Y 直線軸的角度及位置粗調(diào)偏差值，然后在執(zhí)行粗調(diào)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn) X/Y 直線軸的閉環(huán)跟隨控制；獲取芯片 X/Y 旋轉(zhuǎn)軸的當(dāng)前實(shí)際角度值，并在逐次選擇 X/Y 旋轉(zhuǎn)軸執(zhí)行角度閉環(huán)控制的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)另外兩直線軸的位置閉環(huán)跟隨控制；獲取芯片 Z 旋轉(zhuǎn)軸和X/Y 直線軸的角度及位置精調(diào)偏差值，然后在執(zhí)行精調(diào)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)X/Y 直線軸的閉環(huán)跟隨控制。通過本發(fā)明，可使得芯片

本發(fā)明公開了一種用于多自由度機(jī)械臂制動(dòng)的制動(dòng)裝置及控制方法，所述制動(dòng)裝置包括：用于與制動(dòng)執(zhí)行元件配合完成制動(dòng)動(dòng)作的制動(dòng)架，提供軸向移動(dòng)自由度和傳遞扭矩的滾珠花鍵，用于制動(dòng)執(zhí)行元件的安裝的球鉸制動(dòng)座，用于完成多自由度機(jī)械臂斷電狀態(tài)下的制動(dòng)動(dòng)作的制動(dòng)執(zhí)行元件以及用于測(cè)量制動(dòng)執(zhí)行元件壓力大小的力傳感器，還包括用于檢測(cè)多自由度機(jī)械臂的工作、非工作狀態(tài)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)裝置，用于控制制動(dòng)執(zhí)行元件的制動(dòng)動(dòng)作的制動(dòng)控制器，以及驅(qū)動(dòng)制動(dòng)執(zhí)行元件工作的氣路元件。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝配方便、制動(dòng)安全可靠的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)不約束多自