一種用于柔性膜轉移的多自由度機械手

先進制造與自動化

本發明屬于柔性電子生產相關設備領域，并公開了一種用于柔 性膜轉移的多自由度機械手，包括拾取單元、α轉動模塊、γ轉動模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元，其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉動的β轉動自由度，并可在軸向和周向上對吸附區域 進行調整；α、γ轉動模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實現機械 手繞 X 軸和 Z 軸轉動的α和γ轉動自由度以及 XYZ 三個方向的平動 自由度；氣路分配單元執行拾取單元內部各個真空氣路的開關控制和 真空度檢測；視覺定位單元用于實現柔性膜在 XY 平

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