|
搜索
搜 索
高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
.jpg){kind=logo}
一種基于 MEMS 的智能服裝及其制作方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過(guò)將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個(gè)傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對(duì)其進(jìn)行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對(duì)傳感器的保護(hù)作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種 MEMS 陀螺儀芯片雙面陽(yáng)極鍵合工藝
本發(fā)明提出這樣一種陽(yáng)極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時(shí)高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結(jié)構(gòu)刻蝕之后，將臨時(shí)高分子襯底用化學(xué)機(jī)械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結(jié)構(gòu)的兩側(cè)，加電加熱后一次完成雙面陽(yáng)極鍵合。這種工藝方法與傳統(tǒng)的兩次陽(yáng)極鍵合分兩步進(jìn)行相比，更加節(jié)省成本，而且避免了第二次陽(yáng)極鍵合對(duì)第一次陽(yáng)極鍵合強(qiáng)度削弱這個(gè)固有缺點(diǎn)，使得產(chǎn)品可靠性提高。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過(guò)第一組梁連接的第一檢驗(yàn)質(zhì)量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過(guò)第二組梁連接的第二檢驗(yàn)質(zhì)量，第一組梁和第一檢驗(yàn)質(zhì)量構(gòu)成第一機(jī)械振子，第二組梁和第二檢驗(yàn)質(zhì)量構(gòu)成第二機(jī)械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對(duì)設(shè)置，第一機(jī)械振子和第二機(jī)械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗(yàn)質(zhì)量上的電容陣列與第二檢驗(yàn)質(zhì)量上的電容陣列構(gòu)成位移檢測(cè)電容，通過(guò)位移檢測(cè)電容測(cè)得檢驗(yàn)質(zhì)量的位移差進(jìn)而得到
華中科技大學(xué)
2021-04-14
大學(xué).jpg){kind=logo}
基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實(shí)三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開(kāi)發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運(yùn)行”軟件對(duì)器件的運(yùn)動(dòng)情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計(jì)方案比較來(lái)指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動(dòng)時(shí)的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14
基于IP庫(kù)的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
項(xiàng)目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評(píng)測(cè)已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計(jì)過(guò)程的重要組成部分；對(duì)設(shè)計(jì)的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對(duì)MEMS而言，還相差甚遠(yuǎn)，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計(jì)周期長(zhǎng)、成本高等。特別需要一個(gè)能包括運(yùn)動(dòng)仿真、評(píng)測(cè)在內(nèi)的設(shè)計(jì)工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動(dòng)MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
南開(kāi)大學(xué)
2021-04-14
.jpg){kind=logo}
寬量程MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器設(shè)計(jì)與制造關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用
"該成果獲2018年度高等學(xué)校科學(xué)研究?jī)?yōu)秀成果獎(jiǎng)（科學(xué)技術(shù)）技術(shù)發(fā)明類一等獎(jiǎng)。1. 針對(duì)MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器低風(fēng)速誤差大、高風(fēng)速難以測(cè)量的問(wèn)題，發(fā)明了風(fēng)速風(fēng)向傳感器深槽隔熱結(jié)構(gòu)，降低了襯底橫向熱傳導(dǎo)，提高了靈敏度，降低了測(cè)量誤差，擴(kuò)大了傳感器的量程。 2. 針對(duì)MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器高風(fēng)速難以測(cè)量的問(wèn)題，建立了傳感器系統(tǒng)級(jí)模型，實(shí)現(xiàn)了閉環(huán)控制；提出了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的溫度自平衡測(cè)控方法，實(shí)現(xiàn)了60m/s的量程，解決了長(zhǎng)期以來(lái)風(fēng)速風(fēng)向傳感器量程難以提高的技術(shù)難題。 3. 針對(duì)MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器野外工作防護(hù)技術(shù)問(wèn)題，發(fā)明了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的陶瓷圓片級(jí)倒裝封裝技術(shù)，提出了導(dǎo)熱凸點(diǎn)與導(dǎo)電凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)及工藝技術(shù)；發(fā)明了傳感器嵌入式組裝結(jié)構(gòu)，突破了傳感器野外工作的可靠性技術(shù)瓶頸。 4. 針對(duì)MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器受環(huán)境溫度、濕度影響問(wèn)題，在國(guó)際上首次建立了風(fēng)速風(fēng)向傳感器的濕度效應(yīng)模型；基于傳感器材料與結(jié)構(gòu)的溫度特性，建立了風(fēng)速風(fēng)向傳感器溫度效應(yīng)模型，保障了傳感器長(zhǎng)期工作的穩(wěn)定性。 "
東南大學(xué)
2021-04-13
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙粒子濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊、測(cè)姿粒子濾波器和定位粒子濾波器；本發(fā)明在測(cè)姿濾波器的設(shè)計(jì)中，三維姿態(tài)誤差和三軸陀螺儀漂移作為6維的狀態(tài)向量。基于慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為其系統(tǒng)方程，用于更新粒子狀態(tài)。觀測(cè)方程包括加速度計(jì)觀測(cè)量更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新，用于計(jì)算粒子權(quán)重。測(cè)姿濾波器輸出VLC接收器的姿態(tài)給VLC定位模塊以校正姿態(tài)的影響。在定位濾波器的設(shè)計(jì)中，二維平面的位置信息作為系統(tǒng)狀態(tài)向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統(tǒng)方程，而VLC的定位結(jié)果則作為定位濾波器的觀測(cè)方程。
東南大學(xué)
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單粒子濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測(cè)姿定位單粒子濾波器模塊；本發(fā)明中基于INS慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統(tǒng)方程，用于對(duì)粒子群的粒子進(jìn)行更新。觀測(cè)方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新，用于計(jì)算各個(gè)粒子的權(quán)重。輸出姿態(tài)信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊。本發(fā)明首次在VLC定位領(lǐng)域使用融合測(cè)姿準(zhǔn)確估計(jì)VLC接收器的姿態(tài)信息，解決VLC定位容易受接收器姿態(tài)影響以及在光信號(hào)被遮擋情況下定位不連續(xù)的問(wèn)題，并消除姿態(tài)對(duì)VLC定位的影響。
東南大學(xué)
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的單卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、VLC定位模塊、PDR定位模塊和測(cè)姿定位單卡爾曼濾波器模塊；本發(fā)明基于INS慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為融合濾波器的系統(tǒng)方程，觀測(cè)方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新。融合濾波器輸出VLC接收器的姿態(tài)給VLC定位模塊，輸出PDR設(shè)備的姿態(tài)給PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。首次在VLC定位領(lǐng)域使用融合測(cè)姿準(zhǔn)確估計(jì)VLC接收器的姿態(tài)信息，主要解決了VLC定位容易受設(shè)備姿態(tài)影響以及在光信號(hào)被遮擋情況下定位不連續(xù)的問(wèn)題。
東南大學(xué)
2021-04-11
基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種基于MEMS傳感器和VLC定位融合的雙卡爾曼濾波導(dǎo)航裝置和方法，包括MEMS傳感器、INS模塊、PDR定位模塊、VLC定位模塊以及測(cè)姿定位雙卡爾曼濾波器；對(duì)于測(cè)姿濾波器，基于慣導(dǎo)機(jī)械編排的誤差方程作為系統(tǒng)方程，觀測(cè)方程包括加速度計(jì)觀測(cè)量更新和磁力計(jì)觀測(cè)量更新，輸出姿態(tài)信息給VLC定位模塊和PDR定位模塊以校正姿態(tài)的影響。對(duì)于定位濾波器，二維平面的位置信息作為系統(tǒng)狀態(tài)向量，基于行人航位推算的誤差方程作為系統(tǒng)方程，而VLC的定位結(jié)果為觀測(cè)方程。本發(fā)明的技術(shù)方案解決VLC定位容易受設(shè)備姿態(tài)影響以及在光信號(hào)被遮擋情況下定位不連續(xù)的問(wèn)題，消除姿態(tài)對(duì)VLC定位的影響。
東南大學(xué)
2021-04-11