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一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
MEMS 重力梯度儀
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于位移差分的 MEMS 重力梯度儀。包括第一振子單元和第二振子單元；前者包括第一外圍框架和與第一外圍框架通過第一組梁連接的第一檢驗質量，后者包括第二外圍框架和與第二外圍框架通過第二組梁連接的第二檢驗質量，第一組梁和第一檢驗質量構成第一機械振子，第二組梁和第二檢驗質量構成第二機械振子，第一振子單元和第二振子單元相向正對設置，第一機械振子和第二機械振子的敏感軸位于同一直線上，第一檢驗質量上的電容陣列與第二檢驗質量上的電容陣列構成位移檢測電容，通過位移檢測電容測得檢驗質量的位移差進而得到
項目階段:
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