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研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍。

針對我國在軍事、工業(yè)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⑿〕叽纭⒏呖煽啃訫EMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學(xué)自2001年起就開展基于MEMS技術(shù)的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等預(yù)期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍，特別適合在高G環(huán)境下進行空間位置測量、導(dǎo)航與姿態(tài)控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應(yīng)用空間，如手機、游戲機等手持電子設(shè)備的姿態(tài)控制系統(tǒng)，照相機、攝像機的穩(wěn)定電子平臺，汽車的防翻車預(yù)警系統(tǒng)等。。相關(guān)研究內(nèi)容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權(quán)發(fā)明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內(nèi)第一，國際第二，發(fā)表SCI/EI等論文幾十篇。

已有樣品/n該研究得到科技部“863計劃”資助（編號：2005AA404220），旨在研制與無損血糖監(jiān)測耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實現(xiàn)無痛化注射。成果的先進性或獨特性：該研究研制與無損血糖監(jiān)測耦聯(lián)的閉環(huán)式人工胰島微系統(tǒng)，將檢測和治療系統(tǒng)集成。減小系統(tǒng)體積、減輕重量，提高可靠性，方便使用；集成血糖儀、微泵、硅針、微流通道與控制系統(tǒng)于一體，實現(xiàn)無痛化注射。目

產(chǎn)品詳細介紹                        BJ-MRVS真空封管設(shè)備，高純原料密封，石英玻璃密封管目前我們國家對材料測試越來越重視，很多單位及科研院校對產(chǎn)品甄別出現(xiàn)很大問題，但是真正測試材料需要選擇一款精準可靠的測試產(chǎn)品，這樣對自己的測試成果及研究會帶來很大的作用,對我們的生產(chǎn)帶來極大的指導(dǎo)性作用。鄭重申明： 最近網(wǎng)上有單位冒充我們的產(chǎn)品，他們采用盜圖，或是盜取技術(shù)參數(shù)，我們的產(chǎn)品沒有授權(quán)給任何一家單位，確認產(chǎn)品可以直接撥打電話：15810615463 010-60414386  。 ★為了保護購買者的利益：我們支持貨到驗收后付款。          三工位密封管           單工位密封管          真空封管設(shè)備專用氫氧機關(guān)鍵詞： 來料封管,真空封管,真空密封,多工位真空密封,旋轉(zhuǎn)密封,高純原料密封,石英玻璃真空密封,試管密封,真空封管設(shè)備一、產(chǎn)品簡介：     BJ-MRVS真空封管設(shè)備真空密封系統(tǒng)，主要用于對玻璃管進行真空密封。管預(yù)抽真空后，在試管旋轉(zhuǎn)過程中，管壁材料經(jīng)高溫熔融并在外部大氣壓的作用下和管內(nèi)石英柱體壓接融合在一起而形成真空密封。     系統(tǒng)可密封的試管材料可以是普通的硼硅酸鹽玻璃也可以是石英玻璃，本產(chǎn)品可通過變換不同的卡套連接外徑為Φ45，Φ20，Φ15，Φ13mm的試管，另外可以定制適應(yīng)其他外徑試管的卡套。試管在真空密封過程中的旋轉(zhuǎn)速度可以在一定的范圍內(nèi)進行調(diào)節(jié)，方便配合不同管徑的玻璃管和焊槍的使用。二、應(yīng)用領(lǐng)域：1.實驗室的日常高純原料的真空密封2.工廠批量進行試管的密封3.石英玻璃試管真空密封4.硼酸鹽玻璃真空密封三、技術(shù)規(guī)格：工 位 數(shù)： 1個，3個，定制真空漏率：  2x10-11 Pa·m3/S旋轉(zhuǎn)速度：  0~30轉(zhuǎn)/分鐘試管外徑：  Φ 45,Φ 20,Φ 15,Φ 13mm或其他真空接口：  KF25；泄氣閥：KF16手動溫度范圍：  -20 ~ 200 ℃充氣口尺寸：3mm、6mm、8mm、1/8in、1/4in、可選可密封試管長度：標配170mm或其他可密封試管壁厚：可達2mm(根據(jù)焊槍火焰大小而定)四 、功能特點：國內(nèi)首創(chuàng)，專業(yè)高效；試管密封速度快、操作方便；適應(yīng)不同管徑試管的真空密封；采用獨特旋轉(zhuǎn)密封法蘭，可以調(diào)節(jié)試管的密封速度；無需手動轉(zhuǎn)動試管或焊槍便可實現(xiàn)試管密封；采用進口氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，確保低的漏氣率；產(chǎn)品采用高真空標準設(shè)計加工；產(chǎn)品裝有充保護氣接口及放氣閥；可定制玻璃試管夾持裝置適應(yīng)不同外徑石英管；可根據(jù)用戶要求搭配不同的真空泵和真空測量；可以提供成套使用的氫氧機及配件；系統(tǒng)可以和手套箱配合使用(增加隔離閥選件)部分服務(wù)用戶浙江大學(xué)     華中科技大學(xué) 武漢理工大學(xué) 燕山大學(xué)     哈工大       西安工業(yè)大學(xué)北京石油化工學(xué)院中南大學(xué)河南理工大學(xué) 

該項目應(yīng)用先進的MEMS技術(shù)，研制完成了耐高溫壓力傳感器設(shè)計、制造關(guān)鍵技術(shù)及系列產(chǎn)品開發(fā)。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領(lǐng)域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術(shù)發(fā)明二等獎、2005年度教育部技術(shù)發(fā)明一等獎、2004年度陜西省科技進步一等獎和2004年度西安市科技進步一等獎四項獎勵。相關(guān)技術(shù)已獲得國家授權(quán)發(fā)明專利20余項。

項目主要針對瑞雷波物探方法使用的動圈式檢波器的缺點，開展全數(shù)字MEMS檢波器研制，以此提高公路路基物探精度。主要研究內(nèi)容如下：（1）全數(shù)字MEMS檢波器電路系統(tǒng)及硬件裝置的研制；（2）針對所研制的檢波器檢測軟件系統(tǒng)研制；（3）針對所研制的檢波器對瑞雷波信號的振動模型研究；

基于石墨烯的 MEMS 壓力傳感器，屬于微機電系統(tǒng)（MEMS）的壓力檢測器件，解決現(xiàn)有 MEMS 壓力傳感器尺寸較大，靈敏度有限的問題。本實用新型包括基底、絕緣層，所述基底表面氧化形成絕緣層，絕緣層內(nèi)刻蝕出空腔，絕緣層上表面覆蓋石墨烯薄膜，將所述空腔封閉，石墨烯薄膜為 1~5 層；所述石墨烯薄膜邊緣沉積兩個金屬電極，兩個金屬電極上分別焊接有導(dǎo)線。本實用新型采用石墨烯薄膜構(gòu)成 MEMS 壓阻式壓力傳感器，制備方法簡單，可靠性好，壓力傳感器體積更小，從微米尺度變?yōu)榧{米尺度，靈敏度更高，在 1~5 層內(nèi)增

項目的背景及目的 本軟件是MEMS器件的設(shè)計人員的輔助工具，通過該軟件設(shè)計人員可以在實際生產(chǎn)之前提前預(yù)覽到所設(shè)計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設(shè)計或者對原來設(shè)計進行修改。這樣可以大大的降低設(shè)計的成本和時間，為MEMS設(shè)計人員提供較為感性的認識。 技術(shù)原理與工藝流程 基于體積圖形學(xué)的MEMS工藝仿真系統(tǒng)需要結(jié)合體積圖形學(xué)和專家系統(tǒng)以及物理模型，最終實現(xiàn)MEMS典型工藝的真實模

磁流變液是一種機敏材料，在外加磁場的作用下，液體的粘度發(fā)生很大的變化，具有很大的抗剪切力，易于控制并且連續(xù)可控。運用磁流液可以制作磁流變剎車、離合器、減振器和阻尼器等高科技磁液變元器件，它們可以用于車輛懸掛系統(tǒng)，土木工程結(jié)構(gòu)抗震、減振及大型能量動力設(shè)備的基礎(chǔ)隔振等方面。此外磁流變阻尼器還可用于制成無級可調(diào)式健身器材。我們針對磁流變減振器具有很大的阻尼力，且

已有樣品/n全金屬化源漏FOI FinFET 相比類似工藝的常規(guī)FinFET 漏電降低1 個數(shù)量級，驅(qū)動電流增大2 倍，驅(qū)動性能在低電源電壓下達到國際先進水平。由于替代了傳統(tǒng)的源漏SiGe 外延技術(shù)，與極小pitch 的大規(guī)模FinFET 器件的兼容性更好，有助于降低制造成本，提高良品率，具有很高的技術(shù)價值。