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MEMS 耐高溫壓力傳感器及技術
所屬領域:
項目成果/簡介:
該項目應用先進的MEMS技術，研制完成了耐高溫壓力傳感器設計、制造關鍵技術及系列產品開發。解決了一直困擾航空航天、石油化工、軍工、能源電力等領域因高溫、高頻響、高過載、微型化、瞬時高溫沖擊等惡劣環境下的壓力、力、加速度測量難題。該成果獲得2006年度國家技術發明二等獎、2005年度教育部技術發明一等獎、2004年度陜西省科技進步一等獎和2004年度西安市科技進步一等獎四項獎勵。相關技術已獲得國家授權發明專利20余項。
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