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本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)，其形成于硅片上，并包括摻雜粒子構(gòu)成的導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)，絕緣區(qū)與所述導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反，所述導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋有金屬電極，所述硅片的表面除所述金屬電極之外的區(qū)域覆蓋有絕緣層。本實(shí)用新型硅通孔結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于：通過(guò)粒子摻雜方式形成硅通孔結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)，導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)的基體都還是硅片本身，避免了目前硅通孔技術(shù)中金屬和硅片熱膨脹系數(shù)不同造成的熱應(yīng)力問(wèn)題，能夠提高器件的可靠性和壽命。

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導(dǎo)電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對(duì)導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)分別進(jìn)行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡(jiǎn)單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對(duì)硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結(jié)構(gòu)的成品率。本發(fā)明還公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明公開(kāi)了一種電場(chǎng)輔助的硅通孔刻蝕工藝，包括步驟：（1）在單晶硅片上旋涂光刻膠并通過(guò)光學(xué)光刻或電子束光刻得到光刻膠圖形 ；（ 2 ） 鍍 上 銀 膜 或 金 膜 ；（ 3 ） 在 電 場(chǎng) 之 中 ， 采 用 HF 、H₂O₂和去離子水的混合溶液作為刻蝕劑進(jìn)行金屬催化刻蝕；（4）去除光刻膠；（5）去除單晶硅片上殘留的金屬膜并進(jìn)行清洗處理。本發(fā)明通過(guò)在刻蝕過(guò)程中控制電場(chǎng)強(qiáng)度，由此形成從數(shù)十納米至數(shù)

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔互連結(jié)構(gòu)的制備方法，步驟為①將鍵合硅器件晶圓鍵合于硅晶圓基板上；②減薄硅器件晶圓，再刻蝕硅器件晶圓，形成盲孔；③在硅器件晶圓上涂敷一層圖案化介電材料(如聚對(duì)二甲苯)；④刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁；在基板上形成介電質(zhì)孔，使介電質(zhì)孔和盲孔同軸；⑤在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，作為導(dǎo)電層，形成導(dǎo)電孔；⑥在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層；⑦移除基板，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；降低了寄生電容，提升了互連電性

本發(fā)明公開(kāi)了一種加工硅通孔互連結(jié)構(gòu)的工藝方法，步驟為：①在基板上刻蝕盲孔；②在基板上沉積一層圖案化介電質(zhì)層；③刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁的介電材料，在基板上形成介電質(zhì)孔；④在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，形成導(dǎo)電孔；⑤在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層，填充導(dǎo)電孔；⑥刻蝕板背面，暴露出導(dǎo)電層，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。圖案化介電質(zhì)層的材料優(yōu)選聚對(duì)二甲苯。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；使用二層圖案化介電質(zhì)層，降低了寄生電容，提升了互連電性能，適用于高速和

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于雙向填充的通孔互聯(lián)結(jié)構(gòu)制作方法，包括：（a）在基片第一表面上加工制得第一盲孔；（b）在第一表面上淀積絕緣層、阻擋層和種子層；（c）在第二表面上套刻加工制得第二盲孔，且其深度止于露出第一盲孔中的絕緣層；（d）在第二表面上淀積絕緣層和阻擋層；（e）在第二表面的阻擋層上平鋪貼合干膜并執(zhí)行曝光顯影；（f）以干膜作為掩膜，對(duì)絕緣層和阻擋層執(zhí)行刻蝕處理僅保留下種子層；（g）執(zhí)行填充操作。本發(fā)明中還公開(kāi)了相應(yīng)的通孔互聯(lián)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。通過(guò)本發(fā)明，能夠以便于操控、高效率的方式執(zhí)行填充過(guò)程，并獲得填充效

本發(fā)明公開(kāi)了一種通過(guò)自底向上填充實(shí)現(xiàn)通孔互聯(lián)的方法，包括：（a）在基片的一個(gè)表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的基片表面上依次生長(zhǎng)絕緣層、阻擋層和種子層；（c）向種子層表面上涂布光刻膠并填平盲孔，然后執(zhí)行曝光及顯影處理，以使光刻膠僅在盲孔底部的種子層表面上殘留；（d）去除未覆蓋光刻膠的種子層，而盲孔底部的種子層不受影響；（e）去除殘留的光刻膠；（f）向盲孔中填充導(dǎo)電材料完成自底向上的生長(zhǎng)；（g）減薄基片未加工盲孔的表面形成通孔，由此完成通孔互聯(lián)過(guò)程。本發(fā)明還公開(kāi)了相應(yīng)的通孔互聯(lián)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。通過(guò)本發(fā)明

不同細(xì)胞之間的相互作用和信息傳遞在包括 免疫 響應(yīng) 、 器官 發(fā)育、神經(jīng)傳導(dǎo) 在內(nèi)的眾多生命活動(dòng)中都扮演 著 關(guān)鍵角色 。目前， 研究 細(xì)胞互作 的方法 大 都 需要 已知參與 的 細(xì)胞類型 ，難以在復(fù)雜的活體環(huán)境下發(fā)現(xiàn)或研究未知的細(xì)胞 間 相互作用 。 為了解決這一難題，陳鵬課題組 借助“定向進(jìn)化”技術(shù)和“ 鄰近標(biāo)記 ”策略，實(shí)現(xiàn)了 細(xì)胞 之間 動(dòng)態(tài)相互作用的 原位捕獲。這一被命名為 EXCELL （ Enzyme- m ediated proximal cell labeling ） 的技術(shù)，通過(guò)將 作者 定向進(jìn)化得到的分選酶（ mg SrtA ） 展示在 待研究的 細(xì)胞表面， 能夠?qū)εc其 相互作用 的 細(xì)胞 進(jìn)行原位捕獲與鑒定 ，為研究細(xì)胞 - 細(xì)胞相 互作用提供了有力的工具 。 源自 金黃色葡萄球菌 的 分選酶 Sortas e  A   （ SrtA ） 能夠 催化 分選肽 （ LPETG ） 和寡聚甘氨酸 的 共價(jià)連接。近期有文獻(xiàn)報(bào)道將 SrtA 用于監(jiān)測(cè)小鼠體內(nèi)特定受體 - 配體介導(dǎo)的免疫 細(xì)胞互作 過(guò)程 1 。但是該方法 需要將 SrtA 與 寡聚甘氨酸分別融合在相互作用 的 配體和受體 細(xì)胞 上， 因此需要預(yù)知 相互作用的 細(xì)胞 類型，并對(duì)兩類細(xì)胞 同時(shí)進(jìn)行 基因 改造 ，因此無(wú)法捕捉未知的細(xì)胞間相互作用 。本研究突破了這一瓶頸， 建立了 對(duì) SrtA 進(jìn)行定向進(jìn)化的高通量 熒光 篩選 平臺(tái)，并成功 獲得 了 對(duì)單一甘氨酸進(jìn)行標(biāo)記的 高活性 SrtA 突變體 - mgSrtA ， 能夠 實(shí)現(xiàn)對(duì) 任意 細(xì)胞類型的有效標(biāo)記。

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首先，“通”硬件，每個(gè)班級(jí)須配備適量的信息化設(shè)備和網(wǎng)絡(luò)設(shè)施。 硬件、網(wǎng)絡(luò)和軟件配置構(gòu)成了“班班通”。第一類也是最基礎(chǔ)的“班班通”類型是使最基本數(shù)字資源以及展示設(shè)備進(jìn)入每一個(gè)教室，即簡(jiǎn)易多媒體教室類型。將簡(jiǎn)易多媒體教室納入“班班通”。第二類是以多媒體計(jì)算機(jī)作為核心設(shè)備，并配以各種信息展示與交互設(shè)備的多媒體教室類型，這是“班班通”目前最主要的表現(xiàn)形式。第三類是普通的網(wǎng)絡(luò)教室和移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)教室，這是一種面向未來(lái)的教室配置，現(xiàn)階段主要表現(xiàn)為“人手一機(jī)”，在未來(lái)甚至可能會(huì)發(fā)展到“一人多機(jī)”的形式。其中在硬件方面，對(duì)語(yǔ)音和視頻設(shè)備方面，需要有很高的品質(zhì)。聲音方面，班班通的標(biāo)配語(yǔ)音電話 “秒秒鐘”話機(jī)，能保證對(duì)聲音質(zhì)量的良好處理。 其次，“通”資源，在硬件通的基礎(chǔ)上配備與之相適應(yīng)的信息化教學(xué)資源。 硬件建設(shè)的目的就是要提供信息化的資源。資源是學(xué)習(xí)內(nèi)容的數(shù)字化表征，是信息化教學(xué)及其應(yīng)用的基礎(chǔ)。不同的硬件設(shè)備，與之相適的資源種類不同，資源來(lái)源也不盡相同。 最后“通”方法，即利用信息化資源和設(shè)備開(kāi)展教學(xué)活動(dòng)。 讓每一個(gè)班級(jí)、每一位教師、每一門學(xué)科的每一堂課，盡量做到日常化應(yīng)用信息化設(shè)備與資源，實(shí)現(xiàn)信息技術(shù)與學(xué)科教學(xué)的常態(tài)化和有效地整合，即在合適的時(shí)間運(yùn)用恰當(dāng)?shù)募夹g(shù)完成教學(xué)任務(wù)和學(xué)習(xí)任務(wù)，切實(shí)變革教師的教學(xué)方式和學(xué)生的學(xué)習(xí)方式。“通”方法不僅僅指課堂信息化有效教學(xué)，凡是與教育教學(xué)直接相關(guān)的信息化有效應(yīng)用都可以作為其表現(xiàn)形式，比如，網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下教師專業(yè)發(fā)展、集體研究、協(xié)作電子備課、數(shù)字化學(xué)習(xí)型學(xué)校建設(shè)、家校互聯(lián)等。由此可見(jiàn)“通”方法才是“班班通”最后落腳點(diǎn)，其本質(zhì)是打造教師和學(xué)生在信息化環(huán)境下的數(shù)字化生存方式，其目的是促進(jìn)教師專業(yè)發(fā)展和學(xué)生成長(zhǎng)。 “班班通”不是用信息技術(shù)完全取代傳統(tǒng)的課堂教育模式，它與“黑板+粉筆”的教學(xué)模式必將在相當(dāng)長(zhǎng)的一段時(shí)期內(nèi)共同存在，相互補(bǔ)充，相得益彰。“班班通”也并不是說(shuō)不管情況如何每堂課必須使用信息技術(shù)，而是應(yīng)該用的課讓教師和學(xué)生都能夠用得上。如何實(shí)現(xiàn)“班班通”，并與教學(xué)實(shí)踐完美結(jié)合，做到收放自如，讓信息技術(shù)最終有一天變成必不可缺的“黑板+粉筆”，需要每一位教育工作者的教學(xué)智慧與機(jī)智。