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柔性可拉伸電路可以實現(xiàn)可穿戴的壓力和脈搏信號測試。?

柔性電除塵器不同于常規(guī)靜電除塵器，是一種新型的寬間距超高壓靜電除塵器。它的高壓電源屬于高內(nèi)阻、軟特性、準穩(wěn)態(tài)直流電源。在負載變化時能自動調節(jié)輸出電壓，有效抑制火花放電，改善放電狀態(tài)，使電除塵設備運行在火花始發(fā)點以下，全部屬于起除塵作用的電暈放電，提高了除塵效率，并使設備結構簡單，價格低，投資少，電耗低，操作簡單，維護方便和運轉安全可靠。其設備本體采用輕型鋼結構設計規(guī)范進行設計，其電源采用現(xiàn)代電力電子技術中的軟開關電源，電氣控制采用計算機控制技術。柔性電除塵技術由北京科技大學與北京三九泛華環(huán)境保護技術開發(fā)有限公司合作開發(fā)推廣，整體技術具有國際先進水平，已列入國家火炬計劃。 柔性電除塵器技術已經(jīng)在水泥廠、燒結廠和球團廠的粉塵治理方面取得了良好的經(jīng)濟、環(huán)境和社會效益。此外這種柔性電除塵器還可在冶金、電力、化肥、塑料、陶瓷、有色、燃煤鍋爐等行業(yè)的除塵方面廣泛應用。目前柔性電除塵設備有效截面積為3～240㎡，同極距為600～1000㎜，工作溫度為20～250℃，粉塵比電阻為104～1012Ω·㎝，捕集粉塵范圍1.6～40μm，設計效率99.3～99.8%，比鋼耗為2300～2600㎏/㎡，比能耗為5～10VAh/Nm3。

硅芯片是當代信息技術的核心，當前正向“深度摩爾”（More Moore）和“超越摩爾”（More than Moore）兩個方向發(fā)展。物聯(lián)網(wǎng)（IoT）應用是“超越摩爾”技術路線中相當重要的一環(huán)，需要數(shù)量巨大的集成電路芯片來分析處理來自外部傳感器件的海量信號。目前，大多數(shù)傳感信號采集器件和信號處理單元均為分離設計，將在整體上產(chǎn)生更大功耗并占據(jù)更大的空間。由此，復旦大學材料科學系教授梅永豐課題組提出了將信號檢測和分析功能集成于同一個芯片器件中的全新概念。作為演示，研究團隊將單晶硅薄膜柔性光電晶體管與智能薄膜材料相結合和組裝，構造了對不同環(huán)境變量進行檢測和分析的柔性硅芯片傳感器及其系統(tǒng)。這一思路不僅具有優(yōu)異的可擴展性，還可與當前集成電路先進制造工藝相兼容。5月2日，相關研究結果以《面向智能數(shù)字灰塵的硅納米薄膜光電晶體管多功能集成傳感器研究》（“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”）為題發(fā)表在《科學進展》（Science Advances）上。研究團隊從器件的傳感機理入手，利用柔性薄膜組裝集成芯片傳感器，實現(xiàn)了多種環(huán)境參數(shù)探測功能的集成。圖1：(A) 器件主要功能層示意圖；(B) 貼附于曲面上的柔性傳感器件陣列；(C) 智能傳感器件功能區(qū)的光學顯微照片；(D)用于濕度傳感的集成系統(tǒng)構造圖；(E) 氫氣通入前后參比器件與檢測器件的電流變化，紅色為參比電流，藍色為檢測電流。智能材料在環(huán)境刺激中可以發(fā)生折射率、顏色、晶體結構等方面的光學性質變化，但一般需要光譜設備或比色卡才能進行比對。而翻轉的硅薄膜光電晶體管由于沒有柵極金屬阻擋功能區(qū)域的光信號吸收，可以更容易獲得高靈敏的傳感特性。利用這一點，研究團隊將多種智能薄膜材料貼合在器件功能區(qū)，智能材料內(nèi)部物理性質變化引起了微小光學性能改變，從而表現(xiàn)在輸出的光電流上，因此可以在同一個芯片上實現(xiàn)對多種不同信號的同時檢測。圖1A展示了傳感器件典型的功能層結構，頂層的智能薄膜材料對環(huán)境刺激發(fā)生響應，進而改變下方硅單晶薄膜光電晶體管的輸出信號。具有2微米厚的熱氧化二氧化硅層則作為光電晶體管的封裝，對下方器件進行保護。硅薄膜光電晶體管完全由晶圓級先進集成電路工藝方法制備而成，結合了傳統(tǒng)硅基光電子器件的高性能和硅納米薄膜超薄厚度下的優(yōu)良柔性。圖1B是貼附于半徑僅為2毫米直徑玻璃管上的柔性器件陣列，表現(xiàn)出良好的彎曲性能。圖1C是單個器件功能區(qū)域的特寫，在藍色虛框部分集成不同智能材料即可實現(xiàn)對不同環(huán)境信號的檢測。圖1D是具有完備傳感與數(shù)據(jù)處理功能的柔性系統(tǒng)合成圖，包括傳感與參比器件、邏輯與存儲單元、信號放大器和電源。研究團隊利用該系統(tǒng)實現(xiàn)了對環(huán)境中濕度的實時、快速檢測，演示的信號為依次減小的三個濕度脈沖。整個過程中直接對環(huán)境變化做出響應的信號，即參比器件與傳感器件輸出電流隨時間的變化如圖1E中所示。當環(huán)境發(fā)生變化（如圖所示通入氫氣），傳感器件的輸出電流大幅增加，而參比電流保持平穩(wěn)，再利用差分電路處理，即可給出所檢測的環(huán)境參數(shù)的值。研究團隊開發(fā)了將智能材料與光電傳感結合的新穎傳感機制，并將傳感模塊與后續(xù)信號處理等模塊集成在一起，展示了其在氣體濃度、濕度、溫度等多種環(huán)境參數(shù)檢測方面的能力，已經(jīng)初步具備了未來的“智能數(shù)字灰塵”的雛形。該策略也可以應用于其他的數(shù)字傳感系統(tǒng)，在后摩爾時代中將具有巨大的應用潛力。論文主要由李恭謹博士，博士研究生馬喆和尤淳瑜合作完成，并獲得韓國延世大學Taeyoon Lee教授和中科院微系統(tǒng)所狄增峰研究員的合作支持。該工作得到國家自然科學基金委、上海市科委、復旦大學和專用集成電路與系統(tǒng)國家重點實驗室等大力支持。

（ (A) 器件主要功能層示意圖；(B) 貼附于曲面上的柔性傳感器件陣列；(C) 智能傳感器件功能區(qū)的光學顯微照片；(D)用于濕度傳感的集成系統(tǒng)構造圖；(E) 氫氣通入前后參比器件與檢測器件的電流變化，紅色為參比電流，藍色為檢測電流 ）

本發(fā)明公開了一種剛度可調的柔性關節(jié)驅動器機構，該驅動器機構分為驅動端、調整端和柔性關節(jié)三部分。其中驅動端為柔性關節(jié)運動提供動力，調整端負責改變?nèi)嵝躁P節(jié)的剛度，柔性關節(jié)則起到減緩沖擊、調節(jié)剛度的作用。附帶有驅動電機，能夠主動驅動關節(jié)運動；采用曲斜面-轉輪配合結構的變剛度系統(tǒng)，摩擦阻力小，傳動精密；安裝有四個絕對式編碼器，工作過程中實現(xiàn)有效檢測，靈敏度高，故障率低；外殼全封閉，結構緊湊，能夠在惡劣的環(huán)境下工作；從極大柔性到完全剛性，關節(jié)剛度的變化線性可控。

本發(fā)明屬于物料輸送質量控制設備相關領域，并公開了一種基 于柔性傳感器張力分布檢測的糾偏器，其包括糾偏單元、流向調整單 元、角度測量單元、角度調整單元和中央處理單元，其中該糾偏單元 包括傳動輥、張力輥、柔性傳感器和糾偏執(zhí)行機構等，由此實現(xiàn)張力 分布和總張力檢測同時執(zhí)行糾偏操作;該流向調整單元用于實現(xiàn)正負 雙流向模式調整功能;該角度測量單元用于測量糾偏框架安裝后的俯 仰角偏差和回轉角偏差，并相應由所述角度調整單元執(zhí)行俯仰角和回 轉角的偏差消除。通過本發(fā)明，能夠實時精確地獲取物料輸送時的張 力分布，并根據(jù)

本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關設備領域，并公開了一種用于柔 性膜轉移的多自由度機械手，包括拾取單元、α轉動模塊、γ轉動模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元，其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉動的β轉動自由度，并可在軸向和周向上對吸附區(qū)域 進行調整；α、γ轉動模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實現(xiàn)機械 手繞 X 軸和 Z 軸轉動的α和γ轉動自由度以及 XYZ 三個方向的平動 自由度；氣路分配單元執(zhí)行拾取單元內(nèi)部各個真空氣路的開關控制和 真空度檢測；視覺定位單元用于實現(xiàn)柔性膜在 XY 平