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一種微型皮拉尼計，屬于微機電系統的真空度測量器件，克服現有微型皮拉尼計體積大、靈敏度不夠高的問題。本發明在硅襯底上具有凹槽，凹槽表面架有隔熱層，隔熱層表面覆蓋絕緣層，絕緣層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極；所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬；所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅；所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發明體積小、重量輕而且性能穩定，加熱體采用金屬鉑，它的線性度好、性能穩定、靈敏度高、有良好的化學穩定性；其制造工藝簡單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝

本發明公開了一種微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對有光刻膠掩膜的一面進行感應耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結構。本發明能有效提高皮拉尼計的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計與體

成果與項目的背景及主要用途：目前，多軸拉扭疲勞試驗機多采用液壓系統 實現，液壓疲勞試驗機主要存在以下幾個問題：1、液壓系統的量程較大，無法 滿足小型試件的精密試驗；2、動態響應速度慢，無法進行高頻疲勞試驗；3、功 率大，試驗過程中產生較多熱量，試驗機進行高周疲勞試驗時會有散熱問題。因 此，液壓試驗機無法滿足微電子材料、高分子材料等各種新型材料的力學性能測 試要求。 本試驗機可以滿足新型材料的拉扭復合應力下微電子材料、高分子材料等各 種新型材料的力學性能的測試。 技術原理與工藝流程簡介：音圈電機是本試驗機的基本作動單元，該電機具 有卓越的直線進給運動控制功能。其工作原理是利用通電線圈在恒定磁場中受電 磁力作用，力的大小與磁場強度、線圈運動速度及通電電流成正比。當電機型號 確定，磁場強度也就確定，因此電機的作動單元可根據需要形成力矩環或速度環 的閉環控制方式。電機的動態響應性能優越，運動加速度可達到 20g。同時，輸 出力與通電電流成正比，可方便對輸出載荷的大小進行控制調節。將電機控制器 與上位機相連，可單獨對電機進行控制或與上位機通訊控制。電機控制器提供 AD 輸入接口，可以將外部載荷傳感器信號輸入形成閉環控制，或采用電機控制 器的命令將信號讀出進行顯示和存儲。扭轉方向采用微型直流電機與減速器配合 使用，可在保證 0.0068 度的角度控制精度下輸出 1N·m 大小以內的扭矩。采用 與直線動動方向相同的控制器對扭轉方向的運動進行控制。扭矩的大小同樣可以 通過外部扭矩傳感器測量得到后輸入到控制器進行處理。 試驗機的控制裝置為全數字閉環控制系統，兩種控制模式（載荷、位移） 可根據需要自由選擇。由于位移控制的精度極高（最大分辨率 1um），經標 定可以將位移信號用作應變信號。軸向運動與扭轉運動由獨立的控制器分別 控制，兩通道可無干擾的異步工作，也可同步協調工作。控制波形由音圈電 機控制器的內部數字寄存器產生，可生成三角波、正弦波、方波、斜波、梯 形波等各種控制波形。合理的設置拉扭方向的控制方式及波形、頻率，可實 現比例路徑和各種非比例路徑的加載，用于研究金屬、非金屬材料在多軸非 比例加載條件下的力學響應。通過將電機控制器與上位機相連，可以把試驗 過程中的載荷、位移信號在上位機實時顯示、控制或存儲以備后續處理。 音圈電機控制器可以解釋和執行 ASCII 碼命令，可利用 VB 或 Delphi 等編程 語言制作疲勞試驗程序界面，形成上位機對音圈電機的控制。控制器對單條指令 的解釋時間不超過 200μs，可以滿足疲勞試驗動態響應要求。自主開發的疲勞 試驗程序功能主要包括初始化電機控制器的控制參數，對試驗數據如軸向力、位 移、扭矩、轉角進行實時顯示和存儲，設定試驗參數，對電機進行位移和載荷方 式保護等。 技術水平及專利與獲獎情況：試驗機具有精度高、響應快、功耗小、易操作 等主要特點。拉扭電機及拉扭傳感器均為美國原裝進口。 拉伸載荷±100N；扭轉載荷±1Nm；位移行程 50mm；頻率 0.01-80Hz。 [1] 專利：微型寬頻拉-扭疲勞試驗機，申請號：2004200298116，已授權。 [2] 專利：高頻響應高溫拉-扭疲勞引伸計，申請號：2004100721891 應用前景分析及效益預測：將單軸疲勞模型應用到多軸情況已不能滿足現代 工業的設計要求，因此材料多軸疲勞的試驗研究已成為疲勞領域的重要課題。隨 著新材料，如高分子材料，電子材料的涌現，對其力學性能的試驗研究有很大的 需求。 應用領域：材料的力學性能試驗，包括單軸拉伸，扭轉，拉扭復合的疲勞試 128天津大學科技成果選編 129 驗。 合作方式及條件：可提供現成產品，或技術轉讓。 

本索拉非尼 (sorafenib) 是一種新穎的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同開發，于 2005年12月獲美國FDA批準。索拉非尼是首個口服多激酶抑制劑，靶向作用于腫瘤細胞以及腫 瘤血管內絲氨酸/蘇氨酸激酶受體和酪氨酸激酶受體。它適應晚期腎細胞癌的治療，是少有的 晚期癌癥治療藥物，被稱為重磅級藥物。所開發的索拉非尼合成路線，所有原材料都立足于國內，反應步驟簡潔，操作簡便，無昂 貴的輔助試劑，易于規模化生產。

本索拉非尼 (sorafenib) 是一種新穎的二芳基脲化合物，由Bayer和Onyx公司共同開發，于 2005年12月獲美國FDA批準。索拉非尼是首個口服多激酶抑制劑，靶向作用于腫瘤細胞以及腫 瘤血管內絲氨酸/蘇氨酸激酶受體和酪氨酸激酶受體。它適應晚期腎細胞癌的治療，是少有的 晚期癌癥治療藥物，被稱為重磅級藥物。所開發的索拉非尼合成路線，所有原材料都立足于國內，反應步驟簡潔，操作簡便，無昂 貴的輔助試劑，易于規模化生產。

伊馬替尼是瑞士諾華公司研發的一種酪氨酸激酶抑制劑類抗腫瘤藥物，于2001年5月獲得 美國食品與藥品管理局 (FDA) 的批準上市，用于治療慢性骨髓性白血病，又于2002年2月被批 準用于治療胃腸道間質細胞腫瘤，具有起效迅速、轉移性強、副作用小等優點，其專利化合物 專利近年到期，國內多家企業仿制上市。 尼洛替尼是瑞士諾華公司開發的第二代具有高度選擇性的酪氨酸激酶抑制劑，用于對既往 治療(包括伊馬替尼治療)耐藥與不耐受的費城染色體陽性慢性髓性白血病慢性期或加速期的成 人患者，治療范圍更廣，療效更佳，目前國內多個企業醞釀尼洛替尼的仿制工作。 達沙替尼由百時美施貴寶公司研發，2006年2月在美國首次上市。是首個批準上市的口服 多重酪氨酸激酶抑制劑，用于對既往治療失敗或不耐受的成人各階段慢性髓細胞樣白血病，也 可用于治療對其他療法耐藥或不耐受的費城染色體陽性急性淋巴細胞性白血病成年患者。目前 國內多個企業進行達沙替尼的仿制工作。 

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【成份】 本品主要成分為頭孢地尼。 【性狀】 本品內容物為淡黃色或黃色粉末或顆粒。 【功能主治】 對頭孢地尼敏感的葡萄球菌屬、鏈球菌屬、肺炎球菌、消化鏈球菌、丙酸桿菌、淋病奈瑟氏菌、卡他莫拉菌、大腸埃希菌、克雷伯菌屬、奇異變形桿菌、普魯威登斯菌屬、流感嗜血桿菌等菌株所引起的下列感染： ·咽喉炎、扁桃體炎、急性支氣管炎、肺炎； ·中耳炎、鼻竇炎； ·腎盂腎炎、膀胱炎、淋菌性尿道炎； ·附件炎、宮內感染、前庭大腺炎； ·乳腺炎、肛門周圍膿腫、外傷或手術傷口的繼發感染； ·毛囊炎、癤、癤腫、癰、傳染性膿皰病、丹毒、蜂窩組織炎、淋巴管炎、甲溝炎、皮下膿腫、粉瘤感染、慢性膿皮癥； ·眼瞼炎、麥粒腫、瞼板腺炎 【規格】 按C18H19N3O5S計0.25g。