高等教育領域數字化綜合服務平臺
華中科技大學
教育部
- 74 高校采購信息
- 3295 科技成果項目
- 0 創新創業項目
- 0 高校項目需求
微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
微型皮拉尼計
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對有光刻膠掩膜的一面進行感應耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結構。本發明能有效提高皮拉尼計的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計與體
項目階段:
掃碼關注，查看更多科技成果
取消
確定