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該技術采用共沉積+剝離+破碎法制備非晶合金粉末，擺脫了水霧法對非晶成形能力的限制，適用于可以與鐵、鈷、鎳一起共沉積元素合金體系非晶合金粉末的生產(chǎn)。該粉末適合用于磁性材料、催化劑等領域。 該成果已申請一系列（鎳基、鐵基、鈷基的非晶電鍍，非晶粉末，催化電極等）發(fā)明專利，已有部分取得授權。

隨著光伏產(chǎn)業(yè)的高速的發(fā)展，硅錠切割產(chǎn)生的切割廢料也將出現(xiàn)井噴式的增長。僅2012年一年，我國就用了23萬噸的多晶硅，產(chǎn)生了近25萬噸的粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)，回收廠家院內(nèi)廢料堆積如山，粉塵飛揚，環(huán)境惡劣。而粒度≤5mm的二次切割廢料(SiC和Si)中的SiC和晶體Si粉都是通過高能耗、高成本制備出來的，所以如能將這些廢料得以回收利用，不僅減少了環(huán)境污染，也會產(chǎn)生出巨大的經(jīng)濟效益。特別是如能將二次廢料中價值最高的晶體硅粉得以回收并再用于制造太陽能多晶硅，這對我國減少多晶硅的進口是有重要意義的，所以說，從晶體硅切割廢料中回收多晶硅是今后一個重要的發(fā)展方向。 （1）本項目可從多晶硅切割廢料中提取出太陽能級多晶硅，其技術含量高、生產(chǎn)成本低、能耗小。生產(chǎn)的多晶硅可以替代國外進口產(chǎn)品，減少我國多晶硅的進口量，這對降低光伏能源成本，實現(xiàn)光伏能源的普及有重要意義。 (2) 本項目同時生產(chǎn)的副產(chǎn)品碳化硅制品的最大特點耐高溫和耐磨性等性能遠好于同類產(chǎn)品，且價格遠優(yōu)于國內(nèi)同類產(chǎn)品，因此該副產(chǎn)品有著廣闊的市場前景，市場競爭力強。該副產(chǎn)品作為耐火材料可廣泛應用于冶金、陶瓷、能源、化工等行業(yè)。如鋼鐵廠高爐的爐窯內(nèi)襯和鋼包內(nèi)襯、電解鋁廠鋁電解槽的側部、火法煉鋅的罐體的內(nèi)襯等；如陶瓷行業(yè)所用窯爐內(nèi)所用的窯板和棚板等。 (3) 產(chǎn)品附加值高：由于本項目所用原料主要是來源于光伏行業(yè)產(chǎn)生的切割廢料，原料的來源豐富且價格便宜，產(chǎn)品的科技含量高，生產(chǎn)成本低，故產(chǎn)品的附加值高。本項目擁有CN103086378A, CN101941699A, CN102275925A, CN102241399A, CN101724902A, CN101671022B等多項專利。

碳纖維增強碳化硅陶瓷基復合材料耐腐蝕、耐高溫、耐磨損、韌性高，能夠廣泛用于能源、交通、化工等領域的關鍵部件，比如摩擦制動材料、耐化學腐蝕葉片等。

衛(wèi)星在軌運行和返回過程中需經(jīng)歷極端高低溫環(huán)境，構件尺寸的穩(wěn)定是保證衛(wèi)星在軌高精度、返回高安全、任務高可靠的關鍵。針對衛(wèi)星搭載的某寬帶微波載荷與衛(wèi)星本體材料之間熱膨脹系數(shù)不匹配極易導致的載荷在軌及返回過程中載荷接收精度不穩(wěn)定、信息傳輸不連續(xù)等問題。我校陳駿教授團隊以原創(chuàng)的負熱膨脹技術研發(fā)了具有輕質(zhì)、熱膨脹系數(shù)低、力學性能優(yōu)異、尺寸穩(wěn)定性好的高性能低膨脹鋁基復合材料，并研制了系列關鍵連接內(nèi)置件、環(huán)件等高性能低膨脹構件，首次將負熱膨脹技術應用到我國的衛(wèi)星上，填補了高性能低膨脹金屬構件在工程應用領域的空白。該技術使得某寬帶微波載荷與衛(wèi)星本體之間熱膨脹匹配性增強、界面應力大幅度減小，保證了衛(wèi)星在軌與返回過程中信號高精度傳輸與接收，助力衛(wèi)星成功返回。 圖1 實踐十九號衛(wèi)星成功返回（圖片來源國家航天局） 圖2 高性能低膨脹鋁基復合材料及構件應用于全球首顆可重復使用返回式技術試驗衛(wèi)星（圖片來源央視新聞頻道）

一、前言 在中國長三角的核心地區(qū)，矗立著一座舉世矚目的新興城市——江蘇省蘇州昆山市。這是一方沃土，文化底蘊豐厚，孕育了百戲之祖昆曲、水鄉(xiāng)明珠周莊、奇石之王昆石，還有名聞遐邇的陽澄湖大閘蟹！ 她更是一方熱土，歷代英才輩出，創(chuàng)立圓周率的祖沖之、“富可敵國”的沈萬三、“國家興亡，匹夫有責”的顧炎武、創(chuàng)著《治家格言》的朱柏廬以及當代著名作曲家丁善德、航天英雄費俊龍，他們的成就與光輝令昆山人引以自豪和驕傲。 解放后，特別是改革開放三十年來，昆山更是以其超凡的膽略、博大的胸懷和無盡的活力，深深地吸引了包括世界500強企業(yè)在內(nèi)的各國投資商、開發(fā)者和臺資企業(yè)四千余家，國民生產(chǎn)總值超過了中等發(fā)達國家水平，位列全國百強縣市之首，成為長三角區(qū)域經(jīng)濟發(fā)達、商業(yè)繁榮、科技進步、社會安定，最具競爭力的新型城市。 大開放、大發(fā)展、大跨越,呼喚著大教育。上世紀九十年代，以美籍華人學者梁順才博士為董事長的蘇州茵夢湖集團以其遠見和慧眼，看到了區(qū)域經(jīng)濟和社會發(fā)展必定帶來對人才，特別是高素質(zhì)高技能應用型、創(chuàng)業(yè)型人才的迫切需求，毅然決定投資辦學。1998年11月15日，在江蘇省和蘇州市人民政府的大力支持下，硅湖職業(yè)技術學院隆重奠基，成為昆山歷史上第一所高等院校。 “硅湖”二字由學院創(chuàng)始人梁順才先生親自選定，借“硅谷”人才涌動而成“硅湖”之意，寄自強不息、教育報國之弘愿。 二、綜述篇 硅湖職業(yè)技術學院位于昆山市花橋國際商務城，背靠蘇州，緊鄰上海，為長三角的核心地區(qū)，發(fā)展?jié)摿薮蟆Ｔ萍K滬的眾多先進制造業(yè)和現(xiàn)代服務業(yè)企業(yè)，為學院的快速發(fā)展和學生良好就業(yè)創(chuàng)造了得天獨厚的區(qū)域優(yōu)勢。 學院根據(jù)市場需求，設立了機械與汽車工程系、土木建筑工程系、信息工程系、生物醫(yī)藥系、藝術設計系、工商管理系、外語系和基礎部、國際合作部、繼續(xù)教育部等十個系部，43個專業(yè)（含專業(yè)方向），覆蓋工程、經(jīng)管、生物、語言、設計五大門類，全日制在校生近7000人。 現(xiàn)有專任教師 344名，其中有享受國務院特殊津貼和省內(nèi)有突出貢獻的中青年專家2名,有高級職稱者59名，碩士以上研究生93名，雙師型教師117名；有來自加、日、韓等國的外籍教師6名；還有來自知名高校、企業(yè)的理論高、實踐豐富的兼職教師53人。 學院用地面積403畝；各類建筑15萬平方米，建有教學樓、實驗樓、圖書館、實訓基地、學生公寓、餐廳、多功能文體娛樂中心和生活服務中心及田徑、球類運動場。教學實驗儀器設備齊全，各類設施滿足教學、學習和生活需要。學院擁有先進的汽車拆裝中心、數(shù)控機電實訓中心建筑、會計模擬、股市模擬等58個專業(yè)實訓中心和實驗室,并與近百家企業(yè)合作，建有74個完備的校外實習、實訓基地為學生理論聯(lián)系實際、鍛煉實踐能力提供了良好的條件。 覆蓋全校的千兆以太網(wǎng)構建了教學、學習、交流和信息查詢的便捷通道，方正數(shù)字化校園信息平臺，為全面推行學分制提供管理支撐。 三、辦學篇 辦學十年來，硅湖職業(yè)技術學院謹遵“責任、榮譽”的硅湖校訓，堅持走“產(chǎn)學研一體化”的辦學之路，將“社會需求就是辦學方向，企業(yè)滿意就是質(zhì)量標準，適應經(jīng)濟就是學校發(fā)展”作為辦學方針，致力于創(chuàng)建具有硅湖特色的高職教育體系，努力培養(yǎng)適應現(xiàn)代經(jīng)濟社會發(fā)展需要的應用型、創(chuàng)業(yè)型人才。 ? 就業(yè)主導，服務需求 十年來，學院堅持以就業(yè)為導向，提出了“立足昆山，面向長三角，為地方經(jīng)濟建設培養(yǎng)既能動腦又能動手的高技能人才”的辦學目標以及“誠實守信，文化夠用，技能過硬，證書多樣”的人才培養(yǎng)要求，堅持定期進行人才需求市場調(diào)研和畢業(yè)生的跟蹤調(diào)查，根據(jù)市場變化及時調(diào)整和開發(fā)新專業(yè)，做到“專業(yè)開發(fā)與市場同步，專業(yè)改造與知識更新同步，專業(yè)設置與區(qū)域經(jīng)濟發(fā)展同步”，先后增設了機電一體化技術、電氣自動化、生物技術（中藥加工與鑒定）、物流管理、旅游管理等十多個市場急需、就業(yè)前景看好的專業(yè)或?qū)I(yè)方向。 學院各專業(yè)都組建了“專業(yè)建設委員會”，邀請相關企業(yè)的技術骨干和客座教授共同參與專業(yè)教學計劃、課程大綱和技能訓練指南的制訂。在教學過程中，學院始終把提高就業(yè)競爭力作為立足點，努力提高培養(yǎng)質(zhì)量，強調(diào)“基礎能力與專業(yè)能力并重、創(chuàng)新教育與實踐教育并重和學歷證書與技能證書并重”三大原則，重點抓住英語、計算機、職業(yè)技能三大環(huán)節(jié)不放松，并將畢業(yè)設計（論文）、各類實習、軍事訓練與學習、社會實踐、公益勞動等實踐教學環(huán)節(jié)以及素質(zhì)教育考核都納入學分考核體系，力求在全面提高學生綜合素質(zhì)的基礎上，培養(yǎng)個性化、多樣化的創(chuàng)新型人才。辦學十年來，取得了一大批優(yōu)秀的教學成果，其中04屆藝術設計系畢業(yè)生顧旭東的“虛擬辦公空間設計”和05屆土木建筑工程系畢業(yè)生柳寒陽“蘇州市馨泓小學校區(qū)建筑設計”，分別獲得江蘇省普通高等學校本專科畢業(yè)設計（論文）三等獎和一等獎；07屆藝術設計系畢業(yè)生蔣浙峰同學的畢業(yè)設計《以慈溪市明峰醫(yī)院為例淺析醫(yī)院裝飾設計》，又在2007江蘇省普通高校本專科畢業(yè)設計（論文）評優(yōu)與抽檢中被評為二等獎。2007年10月，我院1081名學生報名參加省計算機等級考試，合格率為87.7%，其中優(yōu)秀率為21.46%，遠高于全省69.72%的合格率和4.87%的優(yōu)秀率,居全省100多所參考學校的第11位。2008年5月，我院參加江蘇省計算機等級考試的學生達1204人，一次通過率達到91.29%，超過全省平均合格率72.26%近20個百分點，綜合排名列全省本專科高校第四名，實現(xiàn)了歷史性的突破。 ? 全面推行完全學分制 為培養(yǎng)真正適應市場需求又有鮮明個性的應用型、創(chuàng)業(yè)型人才，硅湖職業(yè)技術學院在學院董事會的大力推動下，學院自2007級起試行學分制改革，成為江蘇省教育廳首批批準推行學分制的20所高校中唯一的一所民辦高校。史寶鳳董事長鮮明地提出“如果我們連學生自主選課都不讓，又談何培養(yǎng)應用型、創(chuàng)業(yè)型人才？！” 學校根據(jù)高職教育的培養(yǎng)目標和特點，將課程體系建設放在突出的位置，在保證主修專業(yè)培養(yǎng)質(zhì)量的前提下，全面整合和挖掘?qū)I(yè)內(nèi)外的課程資源以及校內(nèi)外的教學資源，構建“以能力為本位，以職業(yè)實踐為主線，以項目課程為主體”的多樣化的模塊課程體系，嘗試部分專業(yè)課程進行“訂單式”改革，并配置了目前國內(nèi)最先進的教學管理軟件“正方高校現(xiàn)代教學管理信息系統(tǒng)”，建立了與學分制相適應的全新教學和學生管理體制和運行機制。現(xiàn)在，在硅湖職業(yè)技術學院，學生可以在完成主修專業(yè)核心課程的前提下，經(jīng)導師指導自主進行跨類、跨系、跨專業(yè)選學學分課程。在校企合作中，凡涉及跨系跨類跨專業(yè)的項目，其專業(yè)核心課程設置及學分也可由相關專業(yè)與合作企業(yè)共同商定，以保證學分制的實施真正有利于推動產(chǎn)學研結合、有利于教學模式的創(chuàng)新和辦學效益的提高，大大提高了學生的學習主動性和積極性，同時也為教師的自我提高、事業(yè)發(fā)展和增加收入拓展了空間。 ? 產(chǎn)學結合育人才 硅湖職業(yè)技術學院建校伊始，學院董事會就將“產(chǎn)學研一體化”作為學校立校之本、強校之路，要求學院從“專業(yè)開拓、人才規(guī)格、教學計劃、課程內(nèi)容、隊伍建設和考核評價”等六個方面與企業(yè)全面合作，力求做到：專業(yè)設置與市場需求相接軌，培養(yǎng)規(guī)格與企業(yè)需求相吻合，教學內(nèi)容與企業(yè)技術改造和科技進步相銜接，實現(xiàn)學校育人與企業(yè)用人的結合。 經(jīng)過十年的探索，學院在實踐中創(chuàng)建了“工學交替”、“訂單培養(yǎng)”、“跟班實習”、“頂崗實習”和“校企雙元培養(yǎng)”等多種形式的校企合作培養(yǎng)模式，并通過采取有力措施，鼓勵學生參加職業(yè)技能或職業(yè)資格認證的培訓和考核，使高素質(zhì)、高技能的培養(yǎng)目標得到有力的保障。學院還組織專業(yè)教師通過“廠校崗位替換”、“訪問實踐鍛煉”和“互助培訓”等方式，讓教師輪流到企業(yè)考察、實踐，幫助他們熟悉了解一線的實際工作情況，使專業(yè)理論與實踐經(jīng)驗等到較好的結合。與此同時，學校還克服困難，優(yōu)先為合作單位開展員工培訓、技術咨詢和推薦優(yōu)秀畢業(yè)生，努力為校企合作創(chuàng)造“雙贏”環(huán)境，建立長效機制。 目前，學院擁有近百家較為穩(wěn)定的校外實習實訓與就業(yè)基地，其中包括昆山宏圖三胞、蘇州名碩電腦、仁寶電子科技有限公司、好孩子集團、上海同仁堂藥業(yè)有限公司、中鐵十局集團、天合建設集團有限公司、無錫旅游協(xié)會、易買得購物中心、蘇州金鷹裝飾工程有限公司等著名企業(yè)，也有眾多的中小企業(yè)，其中較完備的校外實習就業(yè)基地有47個。其中昆山天合建設集團還在我院土木建筑工程系設置了“天合集團獎教學金”，對在教學與學習中突出的教師和學生給予獎勵，鼓勵他們在為建筑業(yè)培養(yǎng)人才中創(chuàng)新創(chuàng)優(yōu)。 雙贏的校企合作、產(chǎn)學結合，使學校、企業(yè)、學生三方找到了共同的目標、利益及動力，在為學生實習實訓提供保障的同時，也為畢業(yè)生就業(yè)開辟了“綠色通道”。近5年來，硅湖職業(yè)技術學院的畢業(yè)生一次性就業(yè)率始終高于96%，2008年達到99?07%！在社會上、特別是學生家長中形成了“到硅湖學院讀書，在長三角就業(yè)創(chuàng)業(yè)”的美譽和共識，成為硅湖職業(yè)技術學院一張漂亮的名片。 在2008年5月召開的“硅湖職業(yè)技術學院校企合作與實習實訓基地建設座談會”上，易買得購物中心、無錫萬達物流公司、好孩子集團、上海同濟堂藥業(yè)有限公司、南京索達軟件有限公司、林達策劃印務公司、昆山天合建筑集團等企業(yè)的老總和人力資源總監(jiān)都異口同聲地說：硅湖學院通過校企合作“讓企業(yè)提前介入學校的教育教學，把企業(yè)需求、學校辦學和學生的職業(yè)生涯規(guī)劃三者緊密結合，無疑有助于將人才培養(yǎng)與企業(yè)需求真正做到對接，大大縮短了學生就業(yè)后與企業(yè)的磨合期，顯著提高了學生的就業(yè)競爭力”。 ? 強化責任，珍愛榮譽 硅湖職業(yè)技術學院在學生工作中，堅持以人為本，注重學生的全面發(fā)展，學習和借鑒國內(nèi)外管理的先進模式，以“國家、責任、榮譽”為綱，突出學生優(yōu)良品格的塑造。 學院針對學生入學起點偏低的現(xiàn)實，精心構建了“賞識激勵，擠壓成才”的育人模式，要求教師對學生傾注愛心，堅定信心，充滿耐心，以“硅湖學生好、人人有潛能、個個能成才”為信念，以愛動其心，以嚴導其行，為每一個學生提供一個最佳的發(fā)展空間，成為一個具有健全人格、良好心理素質(zhì)和健康體魄的合格人才。 學院鼓勵學生自主建立各種專業(yè)和文體社團，組織開展豐富多彩的校園文化活動和社會實踐活動，一年一度的“硅湖之春”文化藝術節(jié)和“硅湖之夜”系列講座受到廣大學生的歡迎；“大學生實踐創(chuàng)新訓練活動”、“生存挑戰(zhàn)”和“學生技能大賽”成為學生熱捧的品牌項目，成為學生展示才能的最佳平臺。 學院還建立了學生服務中心，全天候地為學生提供咨詢、服務和管理，獲得了學生家長的好評。一位身有殘疾的母親在第二十四個教師節(jié)特地給學院院長寄來一封信，她動情地說“作為母親，我唯一的愿望就是希望女兒成人成才成功。當看到她終于實現(xiàn)了自己的理想和愿望，順利地走向工作崗位。我很高興，這是硅湖老師教育培養(yǎng)的結果！” 十年深耕，桃李芬芳。硅湖學子特有的務實心態(tài)、誠信為人、敬業(yè)精神以及良好的專業(yè)技能，贏得了用人單位的青睞和好評。易買得華東區(qū)人事部高級經(jīng)理盛璐說：“我們是流通性企業(yè)，需要大量的人力資源。硅湖學院的學生肯學習、能吃苦，在培訓中，他們明顯比其他高校的同學上手快，我們歡迎這樣的學生，將他們作為易買得的儲備干部來培養(yǎng)”。昆山好孩子集團總裁宋鄭還先生對硅湖的畢業(yè)生贊賞有加：“硅湖培養(yǎng)的技術應用型人才，對于我們這樣的企業(yè)來說是非常需要的。這些學生留得住、用得上。他們的從業(yè)態(tài)度、敬業(yè)精神和創(chuàng)新能力讓我們滿意！” 四、尾聲 “桃李不言，下自成蹊”。硅湖職業(yè)技術學院，歷經(jīng)十年的艱苦耕耘，向各行各業(yè)輸送了8000余名優(yōu)秀的硅湖畢業(yè)生，他們扎根基層，能干實干，受到社會各界和用人單位的普遍好評。硅湖職業(yè)技術學院富有特色的辦學經(jīng)驗，曾多次被《光明日報》、《瞭望周刊》、中央電視臺一套與新聞頻道等權威媒體采訪報道。學院先后被授予“全國自律與誠信建設先進單位”、“江蘇省職業(yè)教育先進單位”和“江蘇省百強民間組織先進單位”等光榮稱號。 如今的硅湖校園，自然風光令人陶醉，人文氣息沁人心扉。到處鋪著松軟翠綠的地毯，引來一群群白鷺，悠閑徜徉其間。氣勢恢弘的、外形宛如巨型飛碟的教學主樓，把一屆又一屆莘莘學子帶入知識的殿堂；古色古香的庭院式小樓，是專家、教授們安適的住所。校園里花木相映，小橋流水，自然品質(zhì)和人文精粹和諧統(tǒng)一，如詩如畫。 一排排信息櫥窗前，名家的學術講座，精彩的文藝演出，激烈的體育比賽，豐富的專業(yè)技能比武，歷屆“硅湖之春”文化活動的特寫鏡頭，還有那一幅幅中外合作辦學的彩照，一份份創(chuàng)業(yè)有成的畢業(yè)生事跡簡介，生動展現(xiàn)了硅湖職業(yè)技術學院的豐碩成果和勃勃生機，描繪出硅湖文化絢麗多彩的畫卷。 我們堅信，經(jīng)過硅湖人的不懈努力，硅湖職業(yè)技術學院的明天一定能綻放出更加璀璨的花朵，硅湖職業(yè)技術學院的未來一定會更加美好！

近些年LED照明技術革命引起世界各國的普遍重視，市場潛力巨大，其中LED封裝膠是LED應用的關鍵材料之一，其主要功能在于負載熒光粉并為供芯片提供足夠的保護，使其發(fā)光更亮、更持久。封裝膠材料對LED芯片的功能發(fā)揮具有重要的影響，散熱不暢或出光率低均會導致芯片的功能失效，目前市場上高端LED封裝膠主要由道康寧、信越等國外公司壟斷。 本項目研制了新一代LED封裝膠，并建立了新的膠聯(lián)理論和方法，解決了以往封裝膠合成過程中需要金屬催化劑而引起的金屬殘留問題，提高了封裝膠材料的性能和壽命，相對于現(xiàn)用的市場上的國外標桿產(chǎn)品，北航自主開發(fā)的新一代LED封裝膠在耐老化性能、抗黃變性能方面通過了更為苛刻的實驗測試，且原材料成本低廉，極具市場競爭力。

農(nóng)藥原藥通常是由 溶性化合物，需要通過乳化使用。一方面使得農(nóng)藥噴灑得均勻，另一方面是為了提高農(nóng)藥在植物表面的附著、擴散、滲透性能。農(nóng)藥乳化劑一般是聚醚類，或是陰離子類，都屬于碳氫化合物。碳氫化合物的表面張力一般在30-40 mN/m.。液體表面張力越低，在植物表面鋪展和滲透能力越強。為了降低濃乳的表面張力可在農(nóng)乳中添加增效劑，進一步降低表面張力，以實

本發(fā)明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對導電區(qū)和絕緣區(qū)分別進行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發(fā)明還公開了一種硅通孔結構。

本產(chǎn)品為一種改性有機硅柔軟劑，主要用于織物的后整理，給予織物柔軟、滑爽等手感。 氨基硅油作為一種織物柔軟劑，不僅對棉、毛、麻等天然纖維有較好的柔軟手感，對合成纖維也有較好的柔軟效果。但經(jīng)氨基硅油整理后的織物也存在親水性差、經(jīng)光線照射后容易黃變的缺點，從而不能用于對淺色織物的后整理。本產(chǎn)品對氨基硅油直接進行醇基化改性，產(chǎn)品既保留了部分未改性的氨基硅油，又引入了羥基親水基團。經(jīng)過本產(chǎn)品處理過的織物，既有經(jīng)過氨基硅油處理后的手感特點又可改善織物的染色性、耐熱性和耐水性。同時氨基硅油中容易氧化黃變的氨基被部分親水基團醇基取代，增加了織物的親水透氣性，降低了處理后織物的黃變。

本發(fā)明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內(nèi)，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環(huán)加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現(xiàn)的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。