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一種填充高溫相變材料的自熱型重整制氫反應(yīng)器
本實用新型公開了一種填充高溫相變材料的自熱型重整制氫反應(yīng)器。該自熱型重整制氫反應(yīng)器從上至下依次由上表面設(shè)有甲醇水蒸氣重整反應(yīng)物進口管和甲醇催化燃燒反應(yīng)物進口管的上蓋板、石墨墊片、上蒸發(fā)板、石墨墊片、下蒸發(fā)板、石墨墊片、下表面填充有高溫相變材料的甲醇重整制氫吸熱板、密封板、石墨墊片、下表面填充有高溫相變材料的甲醇催化燃燒板、石墨墊片和下表面設(shè)有燃燒尾氣出口管和燃燒尾氣出口管的下蓋板層疊而成。本實用新型利用高溫相變材料的相變潛熱，有效提高自熱反應(yīng)器的熱穩(wěn)定性，減少反應(yīng)器內(nèi)部的溫度梯度與反應(yīng)器工作時的溫度波動，抑制由反應(yīng)器過熱造成的催化劑活性下降與脫落，提高反應(yīng)器的熱效率與甲醇轉(zhuǎn)換率。
浙江大學(xué)
2021-04-13
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一種通過自底向上填充實現(xiàn)通孔互聯(lián)的方法及其產(chǎn)品
本發(fā)明公開了一種通過自底向上填充實現(xiàn)通孔互聯(lián)的方法，包括：（a）在基片的一個表面上加工制得盲孔；（b）在加工盲孔的基片表面上依次生長絕緣層、阻擋層和種子層；（c）向種子層表面上涂布光刻膠并填平盲孔，然后執(zhí)行曝光及顯影處理，以使光刻膠僅在盲孔底部的種子層表面上殘留；（d）去除未覆蓋光刻膠的種子層，而盲孔底部的種子層不受影響；（e）去除殘留的光刻膠；（f）向盲孔中填充導(dǎo)電材料完成自底向上的生長；（g）減薄基片未加工盲孔的表面形成通孔，由此完成通孔互聯(lián)過程。本發(fā)明還公開了相應(yīng)的通孔互聯(lián)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品。通過本發(fā)明
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于深孔填充的三維半導(dǎo)體存儲器件及其制備方法
本發(fā)明公開了一種基于深孔填充的三維半導(dǎo)體存儲器件及其制 備方法。該制備方法適用于制備三維半導(dǎo)體存儲器的 U 型溝道：采用 雙離子束沉積技術(shù)，一束離子轟擊靶材，使材料原子發(fā)生溢出，原子 沿軌跡沉積到深孔中，一束離子轟擊深孔表面，使沉積的材料無法覆 蓋深孔頂部，從而確保三維半導(dǎo)體存儲器件 U 型溝道的完整形成。U 型溝道的半導(dǎo)體存儲器件的電極從器件上方引出，減小了電極的接觸 面積，同時U型半導(dǎo)體存儲器件的NAND串可以包
華中科技大學(xué)
2021-04-14