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本發明公開了一種光學防抖MEMS驅動器.現有的光學防抖驅動器,最多僅具有五軸.本發明包括平面三軸驅動器和垂直三軸驅動器.所述的平面三軸驅動器包括第一框架,驅動臂和中間固定板.垂直三軸驅動器包括運動件和驅動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉盤連接,另一端均與第二框架連接.驅動件包括底盤和扇環狀電極片組.扇環狀電極片組包括n片扇環狀電極片.n片扇環狀電極片均固定在底板上.扇環狀電極片組與偏轉盤對齊.本發明可實現使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機抖動帶來的圖像模糊問題.

成果簡介： 陀螺是實現角速率測量的核心關鍵部件。在隧道挖掘、礦山開采、地下管線鋪設及制導彈藥等領域，載體（鉆頭或彈丸）運動過程中存在高過載、高速、高 旋等惡劣環境條件，現有各類陀螺無法滿足 10000g以上高過載角速率直接測量 需求，迫切需要抗高過載、大量程、結構簡單的新一代陀螺。 本成果的鐘形振子式角速率陀螺可實現過載大于 10000g條件下角速率直接 測量。成果突破了隧道挖掘、制導彈藥等領域高動態角速率直接測量的技術瓶頸

產品詳細介紹 SHT-3型陀螺尋北儀 SHT-3型陀螺尋北儀簡介：SHT-3型陀螺尋北儀體積更小，重量更輕，方便攜帶，適合根據不同場景變化進行測量。SHT-3型陀螺尋北儀由高精度雙軸動力調諧陀螺通過測量地球自轉角速度，自主確定所附載體的真北方向值，尋北儀不受外界磁場或其它環境的干擾和影響。SHT-3型陀螺尋北儀也可以結合加速度進行水平角度的測量和修正。 SHT-3型陀螺尋北儀主要應用：雷達，天線，軍用車輛，初始對準，方向控制。 SHT-3型陀螺尋北儀技術指標：

產品詳細介紹 IMU微型陀螺測量系統MIN-900-2 微型陀螺測量系統MIN-900-2簡介： IMU微型陀螺測量系統MIN-900-2 結合了三個方向角速率陀螺儀，三向加速度計，三軸磁強計，混合運算器, 16bit 模數轉換, 微控制器等，通過創新性的算法，無論在靜態和動態都能給出精確的方向和姿態。操作在三軸360 度的運動狀態，提供姿態的Euler角。 微型陀螺測量系統MIN-900-2原理： MIN-900-2 利用三軸陀螺跟蹤系統動態的角度，三軸的加速度計和磁場計跟蹤靜態的角度，而內置的處理器及控制器，通過濾波和算法，輸出實時的角度（無論是在靜態還是動態），這就提供了快的響應,當在振動和快速的運動狀態下也沒有漂移。穩定的輸出通過容易使用的數字格式提供. 微型陀螺測量系統MIN-900-2性能參數：

產品詳細介紹 產品名稱：VG095M光纖陀螺儀產品簡介： 光纖陀螺儀VG095M是一款微型精密傳感器,基于光纖陀螺儀VG941-3AM,改進了偏值和比例因子穩定性, 通過電壓的形式響應運動物體的角速率，輸出電壓的符號依賴于繞敏感軸旋轉的方向。技術參數：重量 80 gram尺寸 25 x 35 x60mm功耗 1 Watt零偏穩定性 15 deg/h比例系數 12mV/deg/s比例系數穩定性 0.1 %隨機游走 0.03 deg/ sqrt h測量范圍 300 deg/s帶寬 0...450 Hz工作溫度 -30°C ... +70°C存儲溫度 - 55°C … +85°C振動 6 g (RMS), 20Hz... 2000Hz沖擊 90 g, 1 ms 聯系人：季文娟TEL：029-82501710-803 、 18729268128QQ：317244831

研發生產的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍。

本發明公開了一種 MEMS 器件的封裝方法，包括 S1 在框架基 板與封蓋的內表面上對稱附著圖形化的過渡金屬化層和釬料層；S2 在 框架基板的釬料層上附著圖形化的自蔓延多層膜；S3 將芯片鍵合固定 在框架基板上并實現信號互連；S4 將固定有芯片的框架基板與封蓋進 行除氣除濕處理后對準堆疊形成封裝結構；S5 對封裝結構施加壓力、 預熱后引燃自蔓延多層膜，自蔓延多層膜燃燒并熔化釬料層實現冶金 互連。本發明將封蓋直接與框架

針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。

TDA（芯片熱設計自動化）軟件是清華航院曹炳陽教授團隊全自主研發的國際首個芯片跨尺度熱仿真與設計系統。TDA軟件可實現芯片從納米至宏觀尺寸的熱設計與仿真，支持芯片微納結構內部熱輸運過程的模擬研究，直接提高芯片熱仿真精度與結溫預測準確度，進而提高芯片性能、壽命和可靠性。

慣性制導系統在制導炮彈中有著極其重要的作用，其中，微機械陀螺儀作為慣性制導系統的核心器件，其抗高過載能力直接制約著慣性制導系統在抗高過載環境中的應用。首先，對炮射膛內高過載環境進行了建模和量化，概括了微機械陀螺結構的高過載失效機理。其次，結合國內外相關機構公開發表的研究成果，從微機械陀螺儀的抗高過載特性的角度出發，介紹了不同測控方式、不同結構形式、不同結構材料、不同工作原理的微機械陀螺儀的抗沖擊能力。最后，對相關報道和論文進行了總結和歸納，提出應從驅動-檢測方式、合理的吸能釋能結構配置、工作原理、新型結構材料、多級系統緩沖等方面設計和改進高過載微機械陀螺結構，以提高陀螺的抗高過載能力。從面向制導炮彈的應用背景出發,通過對膛內過載環境的量化分析,提出了彈載慣性制導系統中高過載微機械陀螺高過載能力的需求,并在此基礎上,對微機械陀螺儀的失效機制進行了歸納和分析。結合國內外相關機構在抗高過載微機械陀螺方面的研究,總結歸納了不同測控原理、不同工作方式、不同結構形式的微機械陀螺儀的抗沖擊能力。但目前并未出現任何在高過載(炮擊)環境前后微機械陀螺參數未發生變化的報道,說明抗高過載微機械陀螺儀方面的研究工作還需要進一步深入開展,本文認為提高微機械陀螺儀抗高過載特性可從以下5個方面進行改進。 1)采用其他驅動-檢測方式代替梳齒電容方式梳齒電容在過載時容易發生斷裂和結構吸合以致陀螺結構失效,可采用電磁、磁阻效應等檢測原理替代梳齒電容檢測方式。 2)采用四波腹振型模態等工作方式代替線振動工作方式 實驗數據表明,四波腹振型模態工作方式在高過載狀態下性能退化現象優于線振動工作方式的陀螺結構,尤其是在其全角工作模式下,通過四波腹相位信息反映輸入角度,相位信息對沖擊造成的線位移幾乎不敏感。3)采用合理的吸能和釋能機構在現有結構中增加合理的吸能和釋能機構以吸收和釋放由于高過載產生的應力和能量以保護結構。4)采用碳化硅等新材料代替硅材料充分利用碳化硅等新型抗高過載性能好的材料替代硅材料,達到提升高過載特性的目的。5)采用多級抗過載防護技術提高陀螺整體抗過載能力可在 MIMU 外殼、陀螺外殼、陀螺結構外殼、陀螺結構基底等多個環節進行抗過載處理,分級吸收沖擊應力波,最終提高陀螺整機抗過載能力。隨著新原理和新材料的不斷成熟和應用,高過載環境將不再成為微機械陀螺的禁區,如何能夠降低成本和體積、提高產量和標定效率、與 MIMU 集成將是抗高過載微機械陀螺在下一階段中亟待解決的問題。