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MEMS壓力傳感器
自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學
2021-04-10
MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發；能 夠針對不同應用領域的 MEMS 壓力芯片進行優化設計，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩定性的關鍵技術難題；原型芯片的研發技術符合工程量產化技 術要求，易于快速轉化和量產；與國外知名公司產品相比，技術指標相當，部分指 標如靈敏度溫漂系數相比優異。 MEMS壓力傳感器可應用于工業類儀器儀表、油井勘探、工業自動化控制中壓力 監測、可穿戴、智慧醫療領域壓力測量、汽車電子等領域。年需求量可達數千萬只。
中國科學院大學
2021-01-12
MEMS壓力傳感器
成果簡介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學
2017-10-23
光學防抖MEMS驅動器
本發明公開了一種光學防抖MEMS驅動器.現有的光學防抖驅動器,最多僅具有五軸.本發明包括平面三軸驅動器和垂直三軸驅動器.所述的平面三軸驅動器包括第一框架,驅動臂和中間固定板.垂直三軸驅動器包括運動件和驅動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉盤連接,另一端均與第二框架連接.驅動件包括底盤和扇環狀電極片組.扇環狀電極片組包括n片扇環狀電極片.n片扇環狀電極片均固定在底板上.扇環狀電極片組與偏轉盤對齊.本發明可實現使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機抖動帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學
2021-05-06
新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發生產的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍。
上海交通大學
2021-04-10
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業等領域對高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學自2001年起就開展基于MEMS技術的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環微陀螺等預期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達到慣性級，在微小衛星、微航天器等場合極具應用潛力。與傳統的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應用場合與范圍，特別適合在高G環境下進行空間位置測量、導航與姿態控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應用空間，如手機、游戲機等手持電子設備的姿態控制系統，照相機、攝像機的穩定電子平臺，汽車的防翻車預警系統等。。相關研究內容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權發明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內第一，國際第二，發表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學
2021-04-13
電流變隔振器
? 成果簡介：電流變技術是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達到高頻下隔振的目的。主動式發動機支座系統能夠在振動的低頻階段表現出剛度
北京理工大學
2021-01-12
金屬橡膠隔振器
金屬橡膠，是一種由細金屬絲經纏繞、拉伸、鋪放及模壓制成且具有橡膠般高彈性、大阻尼的新型減振材料，故取名為金屬橡膠。金屬橡膠產品為全金屬材料制成，具有極佳的環境適應性和可靠性，可在各種惡劣環境下工作，耐腐蝕，不發生老化，性能穩定，能為各種電子設備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設備正常工作。金屬橡膠隔振器的性能經過國家權威部門的檢測：達到國家規定的振動量級和頻率范圍內，不僅具有良好的隔振緩沖特性，而且還具有極其優異的抗疲勞特性。經過多年應用，金屬橡膠隔振器產品已經形成系列化，可用于0.05kg~5000kg設備的隔振。
上海理工大學
2021-04-13
無諧振隔振器
無諧振隔振器是基于干摩擦阻尼理論設計生產的高性能隔振裝置，其主要運用于在各種復雜、惡劣運行環境的軍用電子設備、礦山機械的隔振、緩沖。產品為全金屬材料制成，具有極佳的環境適應性和可靠性，可在各種惡劣環境下工作，耐腐蝕，不發生老化，性能穩定，能為各種電子設備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設備正常工作。無諧振隔振器的性能經過國家權威部門的檢測：達到國家規定的振動量級和頻率范圍內，不僅具有不出現共振的隔振特性，而且還具有優異的緩沖特性。經過多年應用，無諧振隔振器產品已經形成系列化，可用于1kg~2000kg設備的隔振。
上海理工大學
2021-04-13
電流變隔振器
電流變技術是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發動機及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內。其次它可以擴大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達到高頻下隔振的目的。主動式發動機支座系統能夠在振動的低頻階段表現出剛度更強而在高頻階段更軟的特性，主動式發動機隔振系統一直被認為是下一代發動機主要的隔振應用目標。應用電流變技術開發的發動機主動式隔振器將是最簡單、成本最低廉的隔振系統。目前電流變隔振器能達到的主要技術指標是:低頻階段(10Hz以下)其動剛度和阻尼力有明顯的改變，對于其在高頻階段的工作特性正在進一步研究中。
北京理工大學
2021-04-13