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MEMS壓力傳感器
自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V 1.5V 驅(qū)動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2021-04-10
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MEMS?壓力傳感器
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發(fā)；能 夠針對不同應(yīng)用領(lǐng)域的 MEMS 壓力芯片進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩(wěn)定性的關(guān)鍵技術(shù)難題；原型芯片的研發(fā)技術(shù)符合工程量產(chǎn)化技 術(shù)要求，易于快速轉(zhuǎn)化和量產(chǎn)；與國外知名公司產(chǎn)品相比，技術(shù)指標(biāo)相當(dāng)，部分指 標(biāo)如靈敏度溫漂系數(shù)相比優(yōu)異。 MEMS壓力傳感器可應(yīng)用于工業(yè)類儀器儀表、油井勘探、工業(yè)自動化控制中壓力 監(jiān)測、可穿戴、智慧醫(yī)療領(lǐng)域壓力測量、汽車電子等領(lǐng)域。年需求量可達(dá)數(shù)千萬只。
中國科學(xué)院大學(xué)
2021-01-12
MEMS壓力傳感器
成果簡介： 自然頻率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 靈敏度 50-80Hz/kPa 一個大氣壓下（101.3kPa）的諧振頻率 63 kHz-75 kHz 受溫度的影響 15V±1.5V 驅(qū)動電壓 50-80Hz/kPa
電子科技大學(xué)
2017-10-23
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光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動器
本發(fā)明公開了一種光學(xué)防抖MEMS驅(qū)動器.現(xiàn)有的光學(xué)防抖驅(qū)動器,最多僅具有五軸.本發(fā)明包括平面三軸驅(qū)動器和垂直三軸驅(qū)動器.所述的平面三軸驅(qū)動器包括第一框架,驅(qū)動臂和中間固定板.垂直三軸驅(qū)動器包括運動件和驅(qū)動件.運動件包括第二框架,第二懸臂,偏轉(zhuǎn)盤,彈簧條,中心盤和第三接觸點.多根第二懸臂的一端均與偏轉(zhuǎn)盤連接,另一端均與第二框架連接.驅(qū)動件包括底盤和扇環(huán)狀電極片組.扇環(huán)狀電極片組包括n片扇環(huán)狀電極片.n片扇環(huán)狀電極片均固定在底板上.扇環(huán)狀電極片組與偏轉(zhuǎn)盤對齊.本發(fā)明可實現(xiàn)使圖像傳感器在平面三軸及豎直三軸上運動,解決由于相機(jī)抖動帶來的圖像模糊問題.
杭州電子科技大學(xué)
2021-05-06
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新型諧振MEMS微慣性傳感器
研發(fā)生產(chǎn)的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微慣性傳感器，達(dá)到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍。
上海交通大學(xué)
2021-04-10
新型諧振MEMS微慣性傳感器
針對我國在軍事、工業(yè)等領(lǐng)域?qū)Ω咝阅堋⑿〕叽纭⒏呖煽啃訫EMS微慣性傳感器日益迫切的需求，上海交通大學(xué)自2001年起就開展基于MEMS技術(shù)的微慣性傳感器的研究，已成功研制十余款傳感器樣機(jī)，在研的半球諧振微陀螺、圓盤多環(huán)微陀螺等預(yù)期體積小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望達(dá)到慣性級，在微小衛(wèi)星、微航天器等場合極具應(yīng)用潛力。與傳統(tǒng)的微陀螺相比，該陀螺無運動部件，抗沖擊性更好；同時該陀螺可以采用角速度檢測和角速度積分檢測兩種工作模式，極大的提升了其應(yīng)用場合與范圍，特別適合在高G環(huán)境下進(jìn)行空間位置測量、導(dǎo)航與姿態(tài)控制等。此外，其在消費電子市場以及汽車市場也擁有這巨大的應(yīng)用空間，如手機(jī)、游戲機(jī)等手持電子設(shè)備的姿態(tài)控制系統(tǒng)，照相機(jī)、攝像機(jī)的穩(wěn)定電子平臺，汽車的防翻車預(yù)警系統(tǒng)等。。相關(guān)研究內(nèi)容作為重要組成部分曾獲省部級及以上獎勵多次，授權(quán)發(fā)明專利幾十余項，微陀螺方面的專利國內(nèi)第一，國際第二，發(fā)表SCI/EI等論文幾十篇。
上海交通大學(xué)
2021-04-13
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電流變隔振器
? 成果簡介：電流變技術(shù)是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發(fā)動機(jī)及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應(yīng)用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統(tǒng)的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內(nèi)。其次它可以擴(kuò)大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達(dá)到高頻下隔振的目的。主動式發(fā)動機(jī)支座系統(tǒng)能夠在振動的低頻階段表現(xiàn)出剛度
北京理工大學(xué)
2021-01-12
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金屬橡膠隔振器
金屬橡膠，是一種由細(xì)金屬絲經(jīng)纏繞、拉伸、鋪放及模壓制成且具有橡膠般高彈性、大阻尼的新型減振材料，故取名為金屬橡膠。金屬橡膠產(chǎn)品為全金屬材料制成，具有極佳的環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，可在各種惡劣環(huán)境下工作，耐腐蝕，不發(fā)生老化，性能穩(wěn)定，能為各種電子設(shè)備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設(shè)備正常工作。金屬橡膠隔振器的性能經(jīng)過國家權(quán)威部門的檢測：達(dá)到國家規(guī)定的振動量級和頻率范圍內(nèi)，不僅具有良好的隔振緩沖特性，而且還具有極其優(yōu)異的抗疲勞特性。經(jīng)過多年應(yīng)用，金屬橡膠隔振器產(chǎn)品已經(jīng)形成系列化，可用于0.05kg~5000kg設(shè)備的隔振。
上海理工大學(xué)
2021-04-13
無諧振隔振器
無諧振隔振器是基于干摩擦阻尼理論設(shè)計生產(chǎn)的高性能隔振裝置，其主要運用于在各種復(fù)雜、惡劣運行環(huán)境的軍用電子設(shè)備、礦山機(jī)械的隔振、緩沖。產(chǎn)品為全金屬材料制成，具有極佳的環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，可在各種惡劣環(huán)境下工作，耐腐蝕，不發(fā)生老化，性能穩(wěn)定，能為各種電子設(shè)備提供隔振、緩沖，保證各精密電子設(shè)備正常工作。無諧振隔振器的性能經(jīng)過國家權(quán)威部門的檢測：達(dá)到國家規(guī)定的振動量級和頻率范圍內(nèi)，不僅具有不出現(xiàn)共振的隔振特性，而且還具有優(yōu)異的緩沖特性。經(jīng)過多年應(yīng)用，無諧振隔振器產(chǎn)品已經(jīng)形成系列化，可用于1kg~2000kg設(shè)備的隔振。
上海理工大學(xué)
2021-04-13
電流變隔振器
電流變技術(shù)是利用某種特殊懸浮液體在受到外加電場作用時其流變性能改變的特性。這一特性在發(fā)動機(jī)及其它工作平臺的隔振控制方面有著明顯的工程應(yīng)用前景，它能夠以振動的頻率和振幅適時改變隔振器的動剛度和阻尼力，傳統(tǒng)的橡膠隔振器不能滿足隔振方面的所有要求。主動液力隔振器比橡膠隔振器有較好的特性，特別是在低頻范圍內(nèi)。其次它可以擴(kuò)大隔振器的頻率工作范圍，通過選用合適的電流變液體，既可以滿足低頻下的隔振要求，也可達(dá)到高頻下隔振的目的。主動式發(fā)動機(jī)支座系統(tǒng)能夠在振動的低頻階段表現(xiàn)出剛度更強(qiáng)而在高頻階段更軟的特性，主動式發(fā)動機(jī)隔振系統(tǒng)一直被認(rèn)為是下一代發(fā)動機(jī)主要的隔振應(yīng)用目標(biāo)。應(yīng)用電流變技術(shù)開發(fā)的發(fā)動機(jī)主動式隔振器將是最簡單、成本最低廉的隔振系統(tǒng)。目前電流變隔振器能達(dá)到的主要技術(shù)指標(biāo)是:低頻階段(10Hz以下)其動剛度和阻尼力有明顯的改變，對于其在高頻階段的工作特性正在進(jìn)一步研究中。
北京理工大學(xué)
2021-04-13