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自1987年美國(guó)柯達(dá)公司的鄧青云C．W．Tang等人報(bào)導(dǎo)了有機(jī)電致發(fā)光以來(lái)，在全世界范圍興起了一場(chǎng)有機(jī)薄膜發(fā)光二極管研究熱潮。有機(jī)薄膜發(fā)光二極管具有主動(dòng)發(fā)光、響應(yīng)快、全固體化、容易實(shí)現(xiàn)彩色化和驅(qū)動(dòng)電壓低等獨(dú)特的優(yōu)越性，是很有潛力的平板顯示器，它將取代現(xiàn)在統(tǒng)治市場(chǎng)的液晶顯示器。然而高亮度、長(zhǎng)壽命和高效率的有機(jī)電致發(fā)光器件是人們一直夢(mèng)寐以求的。 有機(jī)電致發(fā)光器件雖然發(fā)展非常迅速，發(fā)展規(guī)模也是空前的。但是為了得到高亮度、高效率和長(zhǎng)壽命的有機(jī)電致發(fā)光器件，人們對(duì)有機(jī)電致發(fā)光中的一些問題并沒有很好的解決，如由于目前空穴和電子傳輸層材料和制備工藝的限制，用普通有機(jī)電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)：ITO/空穴傳輸層/有機(jī)發(fā)光層/背電極，有如下一些問題：發(fā)光層與電極之間的互擴(kuò)散，沒有足夠高的空穴和電子遷移率，以及注入的空穴與電子不夠平衡等。這些問題限制了有機(jī)電致發(fā)光器的進(jìn)一步改善，成為有機(jī)電致發(fā)光器件發(fā)展的重要瓶頸，無(wú)法制備性能優(yōu)異的有機(jī)發(fā)光器件。 技術(shù)特點(diǎn)： 對(duì)有機(jī)薄膜電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)和電子傳輸層材料進(jìn)行改進(jìn)，從而有效提高有機(jī)薄膜電致發(fā)光器件的亮度、效率和壽命。 技術(shù)特點(diǎn)：是在透明電極上，依次制備空穴傳輸層、有機(jī)發(fā)光層、電子傳輸層、電子電勢(shì)補(bǔ)償層和背電極所組成薄膜結(jié)構(gòu)有機(jī)電致發(fā)光器件，其特征在于：在有機(jī)發(fā)光層與電子電勢(shì)補(bǔ)償層之間加入電子傳輸層，電子傳輸層采用寬禁帶無(wú)機(jī)材料。 該器件在有機(jī)發(fā)光層與電子電勢(shì)補(bǔ)償層之間加入無(wú)機(jī)電子傳輸層這種結(jié)構(gòu)可以大大改善有機(jī)電致發(fā)光器件的發(fā)光層與電極之間的擴(kuò)散，注入的空穴與電子的不夠平衡等，使有機(jī)電致發(fā)光器件的發(fā)光亮度，效率和奉命得到提高。

中試階段/n該項(xiàng)目是采用納米級(jí)別的加工制造技術(shù)制作具備納米級(jí)尺度并且?guī)в幸欢üδ艿墓怆娮悠骷＜{米光電子器件的工作效率更快，能耗更低，具備強(qiáng)大的信息儲(chǔ)存量，且體積和重量明顯的變小。隨著光電器件在通信、照明、傳感器等領(lǐng)域上的運(yùn)用，納米光電器件的制備技術(shù)已經(jīng)受到越來(lái)越重要的關(guān)注。該項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了一種低成本、大面積、易操作、高效的納米結(jié)構(gòu)制備工藝方法，可實(shí)現(xiàn)在各種材料表面納米結(jié)構(gòu)（50-500nm 直徑納米孔、納

根據(jù)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的實(shí)際特點(diǎn)，搭建了機(jī)器視覺的檢測(cè)系統(tǒng)。采用優(yōu)化的圖像預(yù)處理、圖像 分割、邊緣信息提取及相關(guān)參數(shù)整定檢測(cè)方案，對(duì)分立器件管腳幾何參數(shù)進(jìn)行判斷，檢測(cè)結(jié) 果達(dá)到企業(yè)的應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn)。采用標(biāo)簽圖像預(yù)處理、分割、特征提取技術(shù)與 BP 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)特征識(shí) 別技術(shù)相結(jié)合，成功的解決了標(biāo)簽檢測(cè)問題。該系統(tǒng)經(jīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用，被證明可以達(dá)到企業(yè) 對(duì)于分立器件管腳幾何形狀的檢測(cè)要求，得到了企業(yè)的肯定。

成果創(chuàng)新點(diǎn) 主要技術(shù)創(chuàng)新路徑（如涉及技術(shù)秘密，可簡(jiǎn)略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時(shí)將檢測(cè)靈敏 度提高一個(gè)量級(jí)，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手 段，將產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化，從而可進(jìn)行批量化生產(chǎn)。可進(jìn)一步應(yīng) 用于原子陀螺。 技術(shù)成熟度 關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)階段 市場(chǎng)前景 1.與醫(yī)院合作用于生物磁場(chǎng)測(cè)量和可移動(dòng)式磁成像； 2.共磁力儀用于慣性測(cè)量。

主要技術(shù)創(chuàng)新路徑（如涉及技術(shù)秘密，可簡(jiǎn)略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時(shí)將檢測(cè)靈敏度提高一個(gè)量級(jí)，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手段，將產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化，從而可進(jìn)行批量化生產(chǎn)。

在空氣動(dòng)力學(xué)研究、飛行器及發(fā)動(dòng)機(jī)試驗(yàn)、風(fēng)洞試驗(yàn)、流體力學(xué)及水工試驗(yàn)、水輪機(jī)及 水下兵器試驗(yàn)、生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，化爆或核爆沖擊波等許多研究中，出于對(duì)不改變被測(cè)流場(chǎng)的 考慮或受安放位置局限，必須原位測(cè)壓時(shí)，常常對(duì)傳感器的外形尺寸的微型化有較為苛刻的 要求，以期在不干擾流場(chǎng)狀態(tài)情況下，復(fù)現(xiàn)動(dòng)態(tài)流場(chǎng)的變化規(guī)律。XJG4 微型壓力傳感器正 是為這些應(yīng)用開發(fā)的，它采用了微型化設(shè)計(jì)的微機(jī)械加工工藝制成集成壓阻力敏元件，進(jìn)行 精致巧妙的微型封裝，通常外徑在Φ8mm 到Φ15mm、長(zhǎng)度不超過 25mm，并且可按照用戶要求 的形狀與尺寸定制。微型壓力傳感器系列以其小巧的外形、高輸出、高溫、優(yōu)異的動(dòng)態(tài)和靜 態(tài)特性以及極高的可靠性而顯示其特色。

本發(fā)明公開了一種基于 MEMS 的智能服裝及其制備方法，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS 技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個(gè)傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對(duì)其進(jìn)行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對(duì)傳感器的保護(hù)作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特

微電子器件的發(fā)展方向和趨勢(shì)使人與信息的交互融合并推動(dòng)微電子器件柔性化。柔性電子技術(shù)是將有機(jī)材料/無(wú)機(jī)薄膜電子器件附著于柔性基底上的新興電子技術(shù)，實(shí)現(xiàn)可變形、便攜、輕質(zhì)、可大面積應(yīng)用等特性，并通過大量應(yīng)用新材料和新工藝產(chǎn)生出大量新應(yīng)用。它顛覆性改變傳統(tǒng)器件剛性的物理形態(tài)，實(shí)現(xiàn)信息與人／物體／環(huán)境的高效共融。