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針對(duì)極紫外光刻機(jī)物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計(jì)和開發(fā)了針對(duì)極紫外光刻機(jī)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機(jī)生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動(dòng)溫度控制方法，解決了單點(diǎn)溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設(shè)計(jì)了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動(dòng)和時(shí)滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動(dòng)能力。項(xiàng)

本項(xiàng)目經(jīng)過多年研發(fā)，掌握了一種粉末冶金超細(xì)晶粒（均小于5微米）高強(qiáng)度鋼（抗壓強(qiáng)度達(dá)到2000MPa以上）的制備技術(shù)，該新型材料可用于高精度模具、精密齒輪、高強(qiáng)軸承等高精部件的制備。

本項(xiàng)目主要包括超細(xì)高純氧化鋁粉體及生物醫(yī)用氧化鋯納米粉體，以納米級(jí)、亞微米級(jí)的無機(jī)鹽、過渡金屬離子為中間原料制備，具有耐候性好、耐酸堿腐蝕、投資規(guī)模小、附加值高等優(yōu)點(diǎn)，應(yīng)用廣泛，能夠替代國外進(jìn)口產(chǎn)品。 本項(xiàng)目是通過溶膠凝膠與水熱法相結(jié)合的技術(shù)手段，使易水解的金屬無機(jī)鹽或金屬醇鹽化合物在某種溶劑中與水發(fā)生反應(yīng)，經(jīng)過水解與縮聚過程逐漸凝膠化，再經(jīng)干燥、燒結(jié)等后處理得到超細(xì)粉末，避免了微粒的過度生長以及在液相中的團(tuán)聚，可獲得粒徑分布很窄納米級(jí)。

應(yīng)用領(lǐng)域： 超凈工作臺(tái)是開展生物技術(shù)研究和實(shí)驗(yàn)必不可少的基礎(chǔ)設(shè)備之一，該設(shè)備廣泛應(yīng)用于生物制藥，生物化學(xué)，環(huán)境監(jiān)測(cè)及電子儀器儀表等行業(yè)，供操作區(qū)空氣凈化使用。 ◆產(chǎn)品特點(diǎn) 1.垂直層流送風(fēng)，防止操作室內(nèi)部樣品相互交叉污染。 2.采用超高效無隔板過濾器，對(duì)0.3微米的顆粒過濾效率達(dá)到99.99%(操作區(qū)潔凈度遠(yuǎn)高于100級(jí)）． 3.高品質(zhì)離心式，超低噪音風(fēng)機(jī)。 4.正壓式過濾系統(tǒng)，確保工作區(qū)域?yàn)闊o塵無菌環(huán)境。 5.人體工程學(xué)60傾斜角操作面，減輕操作者壓迫感； 6.工作臺(tái)面選用優(yōu)質(zhì)304不銹鋼材質(zhì)，美觀、易清理、耐腐蝕。 7.箱體表面采用靜電噴涂工藝，耐酸堿，美觀大方。 8.前窗采用全鋼化玻璃視窗及配重平衡，既可保證操作者的人身安全又任意升降，定位靈活， 工作區(qū)內(nèi)配備多功能插座，為操作者提供便利。兩側(cè)為透明玻璃視窗，內(nèi)外通透美觀舒適。  9.分體式結(jié)構(gòu)，下設(shè)角輪. 10.標(biāo)配液晶智能控制器，具有高效過濾器失效報(bào)警功能、壓差顯示功能、 紫外殺菌定時(shí)功能、溫度顯示功能、預(yù)約開機(jī)功能、累計(jì)工作時(shí)間功能；手動(dòng)調(diào)風(fēng)速。

最大功率（KW） : 1.1KW （含備用插座），操作臺(tái)側(cè)面?zhèn)溆胁?座，方便其它設(shè)備用電，無需另接電源。 熒光燈/紫外燈規(guī)格及數(shù)量14W X2/8WX2 在送風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置“阻泄露”技術(shù)的優(yōu)質(zhì)HEPA FILTER器裝置， 對(duì)于0.3um的塵埃顆粒捕集效率》99.99%,確保達(dá)到潔凈度 IS05 級(jí)。 過濾材料：采用進(jìn)口濾膜，材質(zhì)為硅硼酸鹽超細(xì)玻璃纖維，滿 足使用條件下的溫度、濕度、耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度的要求，無 釋放對(duì)人員、環(huán)境和設(shè)備產(chǎn)生不利影響的物質(zhì)。 風(fēng)機(jī)系統(tǒng)采用可調(diào)風(fēng)量風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，輕觸型開關(guān)調(diào)節(jié)電壓，保證 工作區(qū)風(fēng)速始終處于理想態(tài)。 滑動(dòng)前窗采用進(jìn)口懸掛升降系統(tǒng)，使用鋼化安全玻璃能任意升 降定位技術(shù)，可靠性，無故障、免維護(hù)，并能完全關(guān)閉以便滅 困O 箱體及操作臺(tái)面材質(zhì)箱體采用優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板烤漆處理，操作臺(tái) 面為304不銹鋼。 安全互鎖功能照明和紫外燈具有安全互鎖功能，具有紫外燈預(yù) 約定時(shí)開關(guān)功能。

成果的背景及主要用途： 作為國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展的 11 個(gè)重點(diǎn)領(lǐng)域之首的能源領(lǐng)域，發(fā)展高效 潔凈超(超)臨界燃煤發(fā)電機(jī)組是實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排的重要途徑，而蒸汽溫度和壓力的 提高使得高溫管道等設(shè)備的服役環(huán)境更加惡劣，特別在最薄弱的焊接接頭部位， 頻繁的早期失效事故引起的機(jī)組非計(jì)劃停運(yùn)往往造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失，甚至導(dǎo)致 嚴(yán)重的人員傷亡。因此，對(duì)設(shè)備進(jìn)行科學(xué)準(zhǔn)確的評(píng)估與預(yù)測(cè)，避免突發(fā)性的早期 失效，是保證機(jī)組安全運(yùn)行的關(guān)鍵。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 該項(xiàng)目在國家自然科學(xué)基金委、天津市科委及電力行業(yè)的大力支持下，針對(duì) 超(超)臨界機(jī)組關(guān)鍵高溫設(shè)備，探明了耐熱鋼焊接細(xì)晶區(qū) IV 型開裂、焊縫內(nèi)部 埋藏裂紋、插套焊接頭振動(dòng)疲勞開裂等典型早期失效的產(chǎn)生機(jī)理，并提出了耐熱 鋼焊接工藝、現(xiàn)場(chǎng)局部熱處理規(guī)范、插套焊焊接工藝與焊趾熔修用焊接材料等相 應(yīng)的延壽技術(shù)；開發(fā)了在役高溫設(shè)備實(shí)時(shí)老化性能的微創(chuàng)測(cè)試技術(shù)與設(shè)備，建立 了基于蠕變損傷累積的剩余壽命評(píng)估技術(shù)；揭示了殘余應(yīng)力和拘束水平對(duì)蠕變裂 紋擴(kuò)展行為的影響機(jī)制，建立了定量考慮這兩者影響的高溫缺陷壽命預(yù)測(cè)模型， 豐富了高溫壽命評(píng)估方法。與國內(nèi)外同類技術(shù)相比，該項(xiàng)目提出的壽命預(yù)測(cè)模型 的精度大大提高，延壽技術(shù)更科學(xué)、全面、有效。 技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況： 經(jīng)專家鑒定，達(dá)到了國際先進(jìn)水平。該項(xiàng)目共申請(qǐng)國家發(fā)明專利 11 項(xiàng)（已 授權(quán) 4 項(xiàng)）、獲軟件著作權(quán) 3 項(xiàng)；發(fā)表論文 31 篇，其中 SCI 論文 12 篇，EI 論 文 9 篇，并多次在國內(nèi)外學(xué)術(shù)會(huì)議上做大會(huì)報(bào)告。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)： 該項(xiàng)目推動(dòng)了我國超(超)臨界機(jī)組高溫部件壽命評(píng)估與延壽技術(shù)的發(fā)展，解 決了超(超)臨界機(jī)組目前面臨的早期失效難題，不僅可保證機(jī)組的安裝質(zhì)量，而 83天津大學(xué)科技成果選編 且減少了不必要的返修，減少機(jī)組因非計(jì)劃停運(yùn)和檢修周期超期帶來的巨大發(fā)電 損失，對(duì)機(jī)組的安全經(jīng)濟(jì)運(yùn)行具有重要意義。 應(yīng)用領(lǐng)域：新技術(shù) 技術(shù)轉(zhuǎn)化條件： 近三年來，該項(xiàng)目開發(fā)的壽命評(píng)估軟件與延壽技術(shù)在全國 10 個(gè)省市的 16 個(gè)電廠得到應(yīng)用，經(jīng)濟(jì)效益達(dá) 2.3 億元，取得了顯著的社會(huì)經(jīng)濟(jì)效益。 合作方式及條件：根據(jù)具體情況面議

透明導(dǎo)電氧化物薄膜具有良好的導(dǎo)電性能和透光性能，廣泛應(yīng)用于平面液晶顯示（LCD）、電致發(fā)光顯示（ELD）、等離子體顯示（PD）以及太陽能電池、熱鏡、電磁屏蔽等。在相當(dāng)一段時(shí)間內(nèi), In2O3：Sn (ITO) 薄膜作為一種典型的透明導(dǎo)電氧化物薄膜得到了極廣泛的應(yīng)用，但I(xiàn)TO 薄膜中的銦有毒，在制造和應(yīng)用中對(duì)人體有害；ITO 中的In2O3 的價(jià)格昂貴,成本較高， ITO 薄膜易受氫等離子體的還原作用，這些缺點(diǎn)在很大程度上限制了ITO 薄膜的研究和應(yīng)用。新型透明導(dǎo)電ZnO :Al (AZO) 薄膜中的ZnO 價(jià)格便宜,來源豐富,無毒,并且在氫等離子中穩(wěn)定性要優(yōu)于ITO，在很多領(lǐng)域特別是太陽電池領(lǐng)域具有逐步取代ITO薄膜的趨勢(shì)。本產(chǎn)品是多層ZAO透明導(dǎo)電膜，具有透過率高和電阻率低的優(yōu)點(diǎn)，而且非常適合制備絨面，可作為陷波結(jié)構(gòu)應(yīng)用于薄膜太陽能電池中。 透明導(dǎo)電膜的主要性能指標(biāo)有兩個(gè)：透過率和方阻。產(chǎn)業(yè)化對(duì)透明導(dǎo)電膜透過率的要求一般要達(dá)到80%以上，南韓的Ｗｏｏｎ－ＪｏＪｅｏｎｇ制備的ZAO膜在可見光區(qū)域的平均透過率大于９５％，是國際最高水平。國外科研人員制備的ZAO透明導(dǎo)電膜室溫電阻率最低可達(dá)3×10-4Ω·cm，方塊電阻最低可達(dá)3Ω/□。國內(nèi)制備的ZAO透明導(dǎo)電膜一般平均透過率約為80%，電阻率在10-3數(shù)量級(jí)。 本產(chǎn)品具體性能指標(biāo)是：透過率＞85%，方阻<50Ω/□。 太陽電池是正在蓬勃發(fā)展的產(chǎn)業(yè)。國務(wù)院剛剛頒布的《可再生能源中長期發(fā)展規(guī)劃》中明確提出：到2010年，太陽能發(fā)電總?cè)萘窟_(dá)到30萬千瓦，其中全國將建成1000個(gè)屋頂光伏發(fā)電項(xiàng)目，總?cè)萘?萬千瓦，大型并網(wǎng)光伏電站總?cè)萘?萬千瓦；到2020年，太陽能發(fā)電總?cè)萘窟_(dá)到180萬千瓦，其中全國建成2萬個(gè)屋頂光伏發(fā)電項(xiàng)目，總?cè)萘?00萬千瓦，太陽能光伏電站總?cè)萘繉⑦_(dá)到20萬千瓦；另外，光伏發(fā)電在通訊、氣象、長距離管線、鐵路、公路等領(lǐng)域的應(yīng)用，計(jì)劃到2010年也將累計(jì)達(dá)到3萬千瓦，到2020年將達(dá)到10萬千瓦。而全球太陽能光伏市場(chǎng)將從2000年的10億美元到2015年擴(kuò)大到1500億美元。透明導(dǎo)電薄膜是太陽電池中關(guān)鍵的薄膜，需求巨大。

薄膜晶體管（thin film transistor, TFT）本質(zhì)上是一種場(chǎng)效應(yīng)晶體管，其電性質(zhì)與傳統(tǒng)的MOS場(chǎng)效應(yīng)管一樣，都是利用垂直于導(dǎo)電溝道的電場(chǎng)強(qiáng)度來控制溝道的導(dǎo)電能力來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)放大，這被稱為電導(dǎo)率調(diào)制或場(chǎng)效應(yīng)原理。同時(shí)它也是良好的開關(guān)元件，當(dāng)柵源電壓小于閾值電壓時(shí)器件截止，反之導(dǎo)通。場(chǎng)效應(yīng)管是通過改變輸入電壓來控制輸出電流的，它是電壓控制器件，不吸收信號(hào)源電流，不消耗信號(hào)源功率，因此它的輸入阻抗很高，它還具有很好的溫度特性、抗干擾能力強(qiáng)、便于集成等優(yōu)點(diǎn)。 與硅材料相比，ZnO薄膜材料的禁帶寬度大、透明等優(yōu)異的半導(dǎo)體特性，使得ZnO-TFT可能替代a-Si TFT成為平板顯示器件的像素開關(guān)。若使用ZnO-TFT作為有源矩陣驅(qū)動(dòng)的開關(guān)元件有以下明顯優(yōu)勢(shì)： (1) ZnO為寬禁帶半導(dǎo)體材料，可以避免可見光照射對(duì)器件性能的影響，保證顯示器的清晰度不受太陽光照的影響； (2) 提高開口率，提高顯示器的亮度，進(jìn)而可以降低功耗； (3) 如果存儲(chǔ)電容也用透明材料制備，制備全透明顯示器件便成為可能； (4) 對(duì)襯底要求不高。ZnO薄膜的生長溫度較低，即使室溫條件下也可以生長高質(zhì)量ZnO薄膜，因此襯底可以選擇廉價(jià)的玻璃或者柔韌性塑料等，這又是柔性顯示器成為可能； (5) ZnO具有很好的載流子遷移率，使得ZnO-TFT既具有很高的開態(tài)電流，又有效的抑制關(guān)態(tài)電流的增加；研究ZnO-TFT的另一個(gè)重要意義在于推動(dòng)透明電子學(xué)的研究。ZnO-TFT的實(shí)現(xiàn)對(duì)透明電子學(xué)來說是一個(gè)富有成效的進(jìn)展，具有里程碑的意義，為制造透明電路和系統(tǒng)創(chuàng)造了條件。

XM-402F-1心臟與透明肺、氣管、支氣管樹模型 ? XM-402F-1心臟與透明肺、氣管、支氣管樹模型由心臟、大血管（主動(dòng)脈、上腔靜脈）、氣管支氣管樹和膈等4部件組成，顯示心臟和大血管、透明肺、氣管、支氣管樹以及肺段支氣管相互毗鄰關(guān)系，從透明肺殼由外向內(nèi)可以觀察支氣管樹的分布情況，共有57個(gè)部位數(shù)字指示標(biāo)志及對(duì)應(yīng)文字說明。 尺寸：自然大，27×22×19cm 材質(zhì)：PVC材料