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半導體設備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎研究、技術攻關和產品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發(fā)的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
磁光雙控超分子納米纖維可抑制腫瘤侵襲轉移
利用修飾有線粒體靶向肽的氧化鐵磁納米粒子與修飾有β-環(huán)糊精的透明質酸構筑了一種超分子納米纖維。該超分子納米纖維可以經由光照或磁場（甚至包括很弱的地磁場）調控其形貌轉換。無論是體內還是體外條件下，由于透明質酸受體在腫瘤細胞表面過表達，該超分子納米纖維可以高效靶向腫瘤細胞，并且經過地磁場的導向聚集，誘導腫瘤細胞線粒體功能障礙和細胞間聚集，從而特異性抑制體內腫瘤細胞的侵襲和遷移。該超分子納米纖維可以作為一種方便的工具，不僅可以加深對動態(tài)或刺激響應性生物事件的理解，而且可以促進用于腫瘤治療的生物材料的設計和發(fā)展。
南開大學
2021-04-10
空調網關（一控一）
本產品可將多聯(lián)式或單元式空調連接至智能家居集中控制系統(tǒng)或BMS系統(tǒng)，以實現智能化監(jiān)控與控制。
本產品需連接至空調室內機，一個室內機連接一臺本設備。
浙江瑞瀛物聯(lián)科技有限公司
2024-12-30
空調網關（一控多）
本產品可將多聯(lián)式空調連接至智能家居系統(tǒng)，以實現智能化監(jiān)控與控制。
浙江瑞瀛物聯(lián)科技有限公司
2024-12-30
紫杉醇修飾環(huán)糊精為媒介的光控微管蛋白超分子組裝體
將β-環(huán)糊精和偶氮苯基團分別修飾于紫杉醇分子上，利用紫杉醇分子骨架與微管蛋白的特異性結合能力，以及在紫外和可見光照射下偶氮苯分子與β-環(huán)糊精空腔可逆鍵合的性質，來調控微管蛋白的聚集狀態(tài)，進而影響細胞活性。光譜實驗表明，含有紫杉醇的偶氮苯分子在溶液中具有優(yōu)異的光致異構性質、掃描電鏡實驗發(fā)現，只有在反式偶氮苯修飾紫杉醇和β-環(huán)糊精修飾紫杉醇共同存在下，微管蛋白間才能發(fā)生明顯的聚合現象，同時微管蛋白的形貌由絲狀聚合物轉變成了粒徑較大的球狀納米粒子。通過對細胞染色進一步發(fā)現，聚集后的微管廣泛分布在細胞中，能夠強烈改變細胞的形態(tài)并最終導致細胞死亡。該工作為調控生物大分子的聚集行為提供了一種新的策略。
南開大學
2021-04-10
中控
產品詳細介紹
1.具有視頻信號三選一，音頻信號四選一功能;
2.面板上的按鍵可控制音量大小，具有內置數字音量控制，即對功放無任何要求;
3.自帶網絡口、USB口、筆記本電腦輸入口、電腦音頻輸入口、備用外接音視頻輸入口（一路）、話筒口、220V電源輸入口（受控于系統(tǒng)主機）;
4.有一指通功能,即信號切換時,只需要按一下設備鍵,就可以同步實現音視頻輸出;
5.輸出分辨率支持：1600*1200像素;
6.參數特性開孔尺寸：長233*寬115*厚110（mm）;
恩平市海天電子科技有限公司
2021-08-23
線控、切換器、線控主機
產品詳細介紹線控主機---觸點控制器（MC32）主要特性 MC32是32路外接按鈕輸入的切換控制轉換模塊，通過RS232與切換器、矩陣相連，接受外接按鈕觸點 的直接控制命令轉換成MSEER協(xié)議從RS232口輸出，實現對切換器及矩陣的控制。 MC32線控采用觸點控制方式控制矩陣切換器，既省錢又方便。 專門為會議室或演講場所方便切換信號而設計的。當發(fā)言者需要發(fā)言時，按一下面前的觸點按鈕，此時發(fā)言稿便顯示到投影屏幕上，當另一位發(fā)言者需要發(fā)言時，同樣按一下面前的觸點按鈕，此時該發(fā)言者的發(fā)言稿就切換顯示到投影屏幕上。使用方法當與會者或演講者有多人發(fā)言時用遙控器和電腦切換很不方便，此時選用上海煕昂電子MC32線控主機壹臺和切換器相連：線控主機與切換器通過RS232線相連接，觸點按鈕（輕觸式開關）分布到每個使用點，用普通二星電話線和線控主機相連接(最大可安裝32個觸點按鈕)，每個與會者發(fā)言時只要輕按面前的觸點按鈕，就可以把發(fā)言內容切換顯示到投影屏幕上。產品參數外接按鈕數：32個按鈕觸點形式：輕觸常開非鎖定形式接口方式：PIN端口，（須非絞合線纜）電源：100VAC ~ 240VAC, 50/60 Hz, 國際自適應電源功率：≤20W存儲環(huán)境溫度：-20°C ~ +150°C工作環(huán)境溫度：-10°C ~ +55°C相對濕度：20% ~ 95%尺寸：225mm長×190mm寬×110mm高重量： 1kg平均無故障時間：30，000小時
上海熙昂電子科技有限公司
2021-08-23
陳超
陳超，男，高級工程師，中國科學技術大學中科大資產經營有限責任公司副總裁，中國高等教育學會科技服務專家指導委員會委員
1、組建中國科大圖書館信息化系統(tǒng)。帶領組建安徽省數字圖書館系統(tǒng)。帶領組建安徽省網絡課程共享平臺系統(tǒng)。
2、幫助對接中國科大同貴州省六枝特區(qū)定點幫扶工作，帶領六枝特區(qū)發(fā)展電子商務，縣域電商銷售額每年平均增長60%以上。
3、組建中國科大法律事務辦公室，規(guī)范學校法律事務流程，協(xié)同學校成果轉化辦建立學校知識產權保護體系。
4、參與中國科大科技成果賦權體系的建設。
陳超
2023-03-24
車規(guī)級全向、全環(huán)境線控底盤
團隊基于集中式驅動，四輪轉向的設計理念，突破了低底盤高度前后獨立懸架技術壁壘，完成了從0.5噸-3噸級線控底盤的系列化開發(fā)。相對現有輪轂電機驅動的線控底盤，產品可在保證相同駕駛功能的前提下，成本降低2萬元左右/臺。
團隊采用整體橋構型，突破了“蹺蹺板”機構的技術壁壘，完成了6噸-20噸級AGV系列化產品開發(fā)。與市場同類產品對比，產品具有轉向半徑小，成本較低和可靠性高的特點。
針對當前線控底盤難以兼顧全向、全地形和不同承載需求的痛點問題，團隊開發(fā)了適用不同承載需求的全向、全環(huán)境線控底盤。技術特點為：① 采用轉向、驅動和制動模塊化設計理念，通過加裝車規(guī)級行車和駐車制動器，整車可實現直行、斜行、阿克曼轉向、坦克調頭、定點調頭等模式；② 采用輪邊電機驅動，突破了電機+減速機+輪轂軸承單元一體化驅動技術，并基于正向設計理念，實現模塊化設計。當前已開發(fā)完成8款適用不同承載需求的角單元；③ 突破了滿足遙控和自動駕駛功能的整車電控技術，并基于V型開發(fā)流程完成了全向、全矢量線控底盤的系列化產品開發(fā)。
部分產品如下頁圖示：
聊城大學
2025-02-25
超疏水超親油性的吸附材料
研究成果于2011年發(fā)表在Energy & Environmental Science。2010年ISI公布該期刊影響因子為8.5，在主題分類《環(huán)境科學類》中排名第一，目前，國內累計發(fā)表在該期刊的論文不超過20篇。本研究成果獲得了該期刊專家的高度評價，在疏水性吸附材料的研究領域中處于前沿地位。（1）將少量HCMP-1摻雜到海綿中，改性后的海綿表現出超強疏水性、吸附能力比HCMP-1還要高。（2）原地再生工藝簡單，HCMP-1/海綿只吸附有機物不吸附水，再生過程中通過簡單的擠壓，就可將有機物排出。 由于海綿價格非常低廉，使得HCMP-1/海綿在大規(guī)模水處理、液-液分離等方面具有很強的市場和實用性。此外，HCMP-1/海綿循環(huán)使用20次后吸附能力不變，與傳統(tǒng)的吸附材料相比，實際工業(yè)應用中的運行費用將會顯著降低。
西安交通大學
2021-04-11