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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
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超精密溫度控制裝置
針對(duì)極紫外光刻機(jī)物鏡的溫管和溫控技術(shù)難題，設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)了針對(duì)極紫外光刻機(jī)的具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超精密溫控裝置，目前已應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)及光刻機(jī)生產(chǎn)廠商、高檔數(shù)控行業(yè)和民用航天上，涉及企事業(yè)單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產(chǎn)品，采用主動(dòng)溫度控制方法，解決了單點(diǎn)溫度控制穩(wěn)定性和多通道溫度控制均勻性的問(wèn)題；設(shè)計(jì)了具有功能模塊化的溫控層次結(jié)構(gòu)，解決了超精密溫控中系統(tǒng)內(nèi)外的擾動(dòng)和時(shí)滯問(wèn)題，控溫速度快；研制了大功率串聯(lián)半導(dǎo)體制冷模塊，結(jié)合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動(dòng)能力。項(xiàng)
電子科技大學(xué)
2021-04-14
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金屬材料超精密加工
拋光是一種常見(jiàn)的表面加工技術(shù)，主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層，最終獲得光滑且無(wú)損傷的高質(zhì)量表面。無(wú)論是日常生活中的消費(fèi)用品還是制造技術(shù)高度集成的半導(dǎo)體芯片，拋光加工都是保證表面質(zhì)量不可或缺的技術(shù)手段。近年來(lái)，在金屬材料超精密加工領(lǐng)域，具有復(fù)雜外形和內(nèi)腔的金屬零件的拋光一直是工業(yè)界所面臨的技術(shù)難題。傳統(tǒng)的諸如化學(xué)機(jī)械拋光、激光拋光以及磁流變拋光
南方科技大學(xué)
2021-04-14
鉗工入門、平面劃線、鏨削、銼削書+VCD
書＋VCD光盤1片；本片為《機(jī)電專業(yè)組合教學(xué)模塊》系列實(shí)訓(xùn)教材之模塊3，主要介紹了鉗工的入門知識(shí)、平面的劃線方法和鏨削、銼削、鋸削的相關(guān)工藝知識(shí)以及操作要領(lǐng)等內(nèi)容。VCD作為本實(shí)訓(xùn)教材的重要學(xué)習(xí)部分，以全實(shí)景的方式表現(xiàn)了與圖書相吻合的知識(shí)內(nèi)容，便于學(xué)生快捷、直觀地學(xué)習(xí)所應(yīng)掌握的知識(shí)，是初級(jí)鉗工學(xué)習(xí)的實(shí)用技能教材。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
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強(qiáng)力高效多功能超精密拋光技術(shù)
1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)。
江南大學(xué)
2021-04-11
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高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿足光電通訊、光學(xué)、信息等產(chǎn)業(yè)中小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具產(chǎn)業(yè)化的需求，研制了小口徑非球面光學(xué)玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復(fù)合機(jī)床,具備納米級(jí)精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測(cè)量補(bǔ)償加工等功能，為小口徑非球面光學(xué)透鏡模具的產(chǎn)業(yè)化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉(zhuǎn)精度50nm；加工對(duì)象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應(yīng)用領(lǐng)域包括集成電路（IC）、發(fā)光二極管（LED）、光學(xué)光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫(yī)療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍(lán)寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測(cè)高及非接觸式測(cè)高，刀痕檢測(cè)，具有切割深度自動(dòng)補(bǔ)償，刀片破損補(bǔ)償功能，能保證切割質(zhì)量。
湖南大學(xué)
2021-04-11
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一種超精密工作臺(tái)
本發(fā)明公開(kāi)了一種超精密工作臺(tái)，它包括宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與微位移工作臺(tái)，其中宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的導(dǎo)軌形式采用氣浮導(dǎo)軌，微位移工作臺(tái)與宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)連接，并隨宏運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一起沿 X 向、Y 向移動(dòng)。微位移工作臺(tái)中包含壓電智能結(jié)構(gòu)，其中該壓電智能結(jié)構(gòu)既能感知外界對(duì)其施加的力、位移等信號(hào)，又能主動(dòng)地對(duì)外界施加力、位移等。此外，壓電智能結(jié)構(gòu)不僅可以用于超精密工作臺(tái)的微位移工作臺(tái)中，而且也可以制成類似彈簧-阻尼系統(tǒng)的俘能機(jī)構(gòu)，應(yīng)用在超精密工作臺(tái)中。本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床、超精密測(cè)量、微電子制造等領(lǐng)域。
華中科技大學(xué)
2021-01-12
強(qiáng)力高效多功能超精密拋光技術(shù)
1、項(xiàng)目簡(jiǎn)介 本項(xiàng)目由江南大學(xué)留美博士后趙永武教授獨(dú)創(chuàng).徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或需要多步才能完成的技術(shù)難題，填補(bǔ)了 國(guó)內(nèi)空白。 2、創(chuàng)新要點(diǎn) （1）拋光速度快,效率高,時(shí)間短。是國(guó)內(nèi)現(xiàn)有拋光劑拋光速度的數(shù)倍至數(shù) 十倍以上。 （2）表面加工質(zhì)量?jī)?yōu)異。經(jīng)本拋光劑加工后的工件表面組織非常細(xì)膩，表 面粗糙度可達(dá) Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進(jìn)一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時(shí)完成。而國(guó)內(nèi)現(xiàn)有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時(shí)費(fèi)力。 （4）加工批量大。對(duì)于小零件一次可以加工成千上萬(wàn)件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的振動(dòng)和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無(wú)毒無(wú)害，對(duì)環(huán)境友好,且操作方便,易于掌握。（8）本拋光劑既適用于螺旋振動(dòng)和離心式光飾機(jī),也適宜于滾筒和旋轉(zhuǎn)渦流 式等拋光機(jī)。 3、效益分析 對(duì)具備 10 臺(tái)機(jī)床的小型車間而言，每年凈提高產(chǎn)值 150 萬(wàn)元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機(jī)、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動(dòng)和精密機(jī)械等企業(yè)
江南大學(xué)
2021-04-13
科學(xué)技術(shù)大學(xué).jpg){kind=logo}
超精密電渦流位移傳感器
成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國(guó)際領(lǐng)先水平； 2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號(hào)源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑 制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。 技術(shù)成熟度 小試中試階段 市場(chǎng)前景 可用在大型天文望遠(yuǎn)鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉(zhuǎn)化計(jì)劃 預(yù)期轉(zhuǎn)化方式：自主轉(zhuǎn)化尋求投資，已于天使基金接 觸。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2021-04-14
超精密電渦流位移傳感器
1.溫飄、分辨率、穩(wěn)定性等指標(biāo)具有國(guó)際領(lǐng)先水平；
2.溫度自補(bǔ)償技術(shù)、信號(hào)源漂移自矯正技術(shù)、噪聲抑制技術(shù)等是主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn)。
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)
2023-05-16
超精密銑削加工表面形貌紋理控制方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種超精密銑削加工中的表面形貌紋理控制方法，包括：設(shè)定加工表面形貌紋理方向角δ；根據(jù)紋理方向角δ確定相鄰刀路的刀具初始相位角差<img file="DDA00002548708200011.GIF"wi="82" he="43" /> 根 據(jù) 刀 具 初 始 相 位 角 差 <imgfile="DDA00002548708200012.GIF" wi="83" he="43" />進(jìn)行切削區(qū)域和非切削的刀路規(guī)劃，生成刀位軌跡文件；利用刀位軌跡文件即可實(shí)現(xiàn)超精密銑削
華中科技大學(xué)
2021-04-14