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超穩定微環境控制系統
以投影光刻機、超精密光學系統、超穩定運動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設備對其加工環境要求及其苛刻，對環境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩定的超穩定控制。
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、成果簡介
以投影光刻機、超精密光學系統、超穩定運動工件臺以及激光干涉測量儀等為代表的超精密設備對其加工環境要求及其苛刻，對環境中的溫度、壓力、濕度、潔凈度都必須加以超穩定的超穩定控制。以光刻機為例：在光刻機工件臺實際工作過程中，溫度的空間不均勻性或者隨時間漂移性都會嚴重影響光刻機的定位精度和套刻精度。具體表現有：工件臺關鍵部件會由于空間溫度的漂移而產生形變進而導致運動誤差，而以激光干涉儀為代表的超穩定測量儀器的波長會受溫度、壓力影響，波長的漂移勢必會造成測量結果的誤差進而最終影響光刻精度。除此之外，空氣中的污染顆粒和化學腐蝕物也均會對工件臺的運動性能造成顯著影響。無論對于精密加工裝備還是測量設備來說，當精度達到納米級時，由環境參數波動引起的誤差因素就成為限制其精度的一大障礙，在這個時候很有必要引入一套環境控制系統來保證這些精密設備的苛刻工作環境需求。
華中科技大學
2022-07-26
高水溶性超細鈦白粉
該材料實現了系列突破： 1. 產率高、三廢少，可實現投料 98%以上的產出；
2. 制備工藝先進、能耗低、產量大，便于大規模生產；
3. 水溶性高，最高可實現 70%左右的水溶性，性能遠高于市場同類產品；
中國科學技術大學
2023-05-17
超早熟無公害草莓高產技術
該技術是繼上世紀九十年代初我校建立的可在春節和元旦上市 的“無加溫冬季草莓早熟半早熟栽培技術”之后的草莓栽培技術又一重要突破。 利用引進甜查理鮮食草莓品種、卡瑪魯沙等出口草莓品種以及鉆石等珍稀草莓 品種，在建立的系統化高產栽培技術基礎上，通過工廠化育苗技術和全新的育青島農業大學科技成果介紹 2017 －25－ 苗方法，以無公害栽培方式，促進草莓花芽提早分化、超早成熟。 生產條件及經濟效益預測：培育的草莓比現有草莓提前一至兩個月成熟， 可于 10 至 11 月上市銷售，畝產可達 4000kg。10-1
青島農業大學
2021-01-12
超分辨縱向偏振激光束
縱向偏振激光束作為一種特殊光束，它的主要偏振態與光束的傳播方向一致， 這與傳統的麥克斯韋方程所描述的光的偏振態與它的傳播方向垂直相矛盾;該光 束的尺寸可以小于系統 0.5 波長衍射極限分辨率，達到 0.36 波長，如果用于掃 描成像，可以實現 38%的分辨率提高，對于藍色 405 納米的激光，分辨率可以小 于90納米。
上海理工大學
2021-01-12
： 微量/超微量天平 ME/SE
產品詳細介紹
廣州市博勒泰貿易有限公司
2021-08-23
硅基毫米波集成電路設計
基于CMOS工藝，設計了大量射頻、毫米波收發機和頻率源芯片； CMOS 90nm 60GHz 接收機芯片，集成片上天線，傳輸效率優于IBM芯片90%； CMOS 90nm 21dBm 60GHz功率放大器，性能優于Hittite商用GaAs芯片； CMOS 60GHz 移相器芯片，為開發毫米波相控陣芯片奠定良好基礎；
電子科技大學
2021-04-10
一種毫米波天線對中方法
成果描述：本發明公開了一種基于毫米波通信天線差速旋轉方式的毫米波天線對中方法。本發明的方法僅依賴定位參數和天線水平數據，通過兩天線采用差速旋轉的方式，來實現對毫米波天線的對中。同時，也對位置誤差對整個對中的影響提供一個分析功能。本發明能有效提高毫米波天線對中精度，實現天線自動化對中通信，減少對中前的準備工作和數據交換工作，增加毫米波的通信保密性，實現毫米波通信機動性、可靠性及野外自適應特性。市場前景分析：天線技術領域。與同類成果相比的優勢分析：技術先進，性價比較高。
西南交通大學
2021-04-10
關于電荷密度波序的高精度實驗探測
運用先進的相干共振X射線彈性散射，研究了經典的電荷密度波材料三碲化鋯（ZrTe3 ）中的雜質效應。
北京大學
2021-04-11
一種浮法玻璃波筋在線檢測方法
一種浮法玻璃波筋在線檢測方法，本發明屬于工業檢測技術領 域，目的在于克服現有浮法玻璃檢測設備不能在線檢測玻璃斑馬角的 不足，以有效檢測出浮法玻璃生產中的波筋缺陷，并在線實時測定玻 璃的斑馬角。本發明包括設置檢測系統步驟、預先建立映射表步驟、 邊緣檢測步驟、閾值分割步驟、去除圖像噪聲步驟、條紋細化步驟和 計算斑馬角步驟。本發明檢出率高、檢測速度快、大大降低工人了的 勞動強度，可以滿足浮法玻璃在線檢測斑馬角的實時性要求。
華中科技大學
2021-01-12
波與物質相互作用新形式的發現
以光與物質相互作用為例。在發光過程中，一直以來研究者都認為光源只能夠與其所處環境的電磁場模式的本征態相互作用，光源的出射強度和頻率等輻射特征由光源和這些本征態共同決定。這一觀念隨著對自發輻射的深入理解而逐漸形成。標志性的認識包括1930年V. Weisskopf and E. Wigner提出自發輻射是激發的電子與真空場相互作用引起的。1946年E. M. Purcell進一步指出自發輻射的速率是由光源和其所處環境的電磁場模式的本征態共同決定。對這一觀念的深刻理解使得我們可以通過構建和調控光學模式本征態來控制光與物質相互作用，從而對激光器、單光子源、光子晶體、超構材料等光物理與器件的興起與發展起到了舉足輕重的作用。2012年的諾貝爾物理學獎正是授予了在此基礎上發展起來的對單個粒子的量子調控。
北京大學
2021-04-11