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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

東南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院青年教師陳旭漫博士在國(guó)際頂級(jí)期刊《Angewandte Chemie（德國(guó)應(yīng)用化學(xué)）》上發(fā)表題為“Efficient Near-Infrared Emissive Artificial Supramolecular Light-Harvesting System for Imaging in Golgi Apparatus”的學(xué)術(shù)論文。光捕獲過(guò)程作為將自然光進(jìn)行捕獲、能量轉(zhuǎn)化并利用的步驟，是植物光合作用中第一個(gè)也是十分重要的過(guò)程。構(gòu)筑人工光捕獲體系對(duì)于光能的利用具有重要意義，但目前構(gòu)筑具有高效人工光捕獲體系仍存在很大挑戰(zhàn)。東南大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)利用“杯芳烴誘導(dǎo)聚集”策略，設(shè)計(jì)合成兩親磺化杯芳烴和陽(yáng)離子型萘基吡啶衍生物作為熒光給體在水溶液中自組裝，并引入尼羅藍(lán)作為熒光受體分子，成功構(gòu)筑了近紅外發(fā)射的超分子人工光捕獲體系。

低碳排放的核能被認(rèn)為是解決世界日益增長(zhǎng)的清潔能源需求最有希望的方案之一。鈾是生產(chǎn)核能的重要原料，其分離和提純引起了研究者們的廣泛興趣。溶劑萃取是目前最成熟的鈾分離和提純技術(shù)。然而傳統(tǒng)的萃取流程步驟較多，需要進(jìn)行反萃和進(jìn)一步濃縮等后續(xù)處理才能達(dá)到最終分離富集目標(biāo)金屬離子的目的。由此帶來(lái)一個(gè)棘手的問(wèn)題，即傳統(tǒng)的萃取往往伴隨著大量的有機(jī)廢液甚至放射性廢液產(chǎn)生，這些廢物如不能得到妥善處理和處置，將給環(huán)境帶來(lái)巨大的潛在威脅。 宏觀超分子自組裝（Macroscopic supramolecular assembly, MSA）是超分子化學(xué)的研究前沿。要實(shí)現(xiàn)宏觀尺度的超分子自組裝，有兩個(gè)必須滿足的條件：第一，組裝模塊之間要有分子間相互作用力；第二，要有持續(xù)的驅(qū)動(dòng)力推動(dòng)這些組裝模塊相互靠近，使他們的距離達(dá)到納米尺度以下，讓大量的分子間相互作用力能夠發(fā)生，從而實(shí)現(xiàn)宏觀自組裝。馬朗戈尼效應(yīng)(Marangoni effect)是實(shí)現(xiàn)宏觀尺度超分子自組裝的一種理想的驅(qū)動(dòng)力。然而，表面張力梯度引起的馬朗戈尼效應(yīng)通常持續(xù)時(shí)間較短，導(dǎo)致組裝效率較低。

進(jìn)行美容除了要減緩皮膚細(xì)胞的水分蒸發(fā)外，還要供給皮膚細(xì)胞充分的營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)。但人體皮膚的表面有一層由角蛋白和類脂構(gòu)成的角質(zhì)層，有很強(qiáng)的屏障能力，使給予皮膚的營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)難以滲透到皮膚內(nèi)部，從而不能有效地起到滋潤(rùn)細(xì)胞和美化皮膚的功效。九十年代發(fā)展起來(lái)的透皮技術(shù)可以使小分子營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)能容易地透過(guò)角質(zhì)層，但大分子營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)仍難以的通過(guò)角質(zhì)層的屏障進(jìn)入皮膚內(nèi)部。為此我們發(fā)展了超聲促透美容技術(shù)，對(duì)皮膚施以特定波長(zhǎng)的超聲波，改變角質(zhì)層的類脂排列方式，使特定的營(yíng)養(yǎng)物質(zhì)和治療物質(zhì)有效地滲透到皮膚內(nèi)部，起到針對(duì)性地美容和治療作用，同時(shí)它還能促進(jìn)局部血液循環(huán)和對(duì)皮膚細(xì)胞進(jìn)行按摩。因此超聲促透美容技術(shù)具有針對(duì)性強(qiáng)、見(jiàn)效快和療效確切的特點(diǎn)。 超聲促透美容技術(shù)由兩部分組成，一是提供超聲振動(dòng)的超聲美容儀，主要由電子元件構(gòu)成，通過(guò)機(jī)械加工和電子元件的組合組裝完成；二是由超聲耦合介質(zhì)和皮膚營(yíng)養(yǎng)成分組成的美容劑，通過(guò)化學(xué)物質(zhì)按一定的方式混合配制完成。目前該項(xiàng)目已完成了超聲美容儀和美容劑—美容系列、祛雀斑系列和祛皺系列的樣品研制工作，并取得了很好的試驗(yàn)效果。 應(yīng)用范圍：皮膚美容、祛除雀斑和臉部皺紋。

開(kāi)發(fā)的新型絲綢的高效促染劑，可使活性染料在絲綢上染色時(shí)的上染率和固色率達(dá)到90%以上，并無(wú)需 添加鹽進(jìn)行促染。添加劑濃度低到0.2%左右,與傳統(tǒng)促染劑硫酸鈉的2-16%的用量以及30-70%的上染率和 固色率相比，該促染劑非常高效。 該染色技術(shù)無(wú)需改變?cè)腥旧に嚕瑹o(wú)需大量投入。提高了染料的利用率，大幅度降低了印染廢水的色 度和處理負(fù)荷。

        技術(shù)成熟度：技術(shù)突破         目前的潮流能發(fā)電機(jī)組以直驅(qū)液壓變槳及帶變速箱的液壓變槳為主，其發(fā)電機(jī)和變速箱均采取機(jī)械動(dòng)密封方式進(jìn)行密封防水處理，海洋環(huán)境下，機(jī)械動(dòng)密封的可靠性和運(yùn)行效率往往沖突，密封層級(jí)多運(yùn)行阻力大，效率低，密封層級(jí)少，密封可靠性差，機(jī)組的運(yùn)行可靠性大大降低。光伏、波浪、海流一體化集成發(fā)電，波浪能與海流能水輪機(jī)對(duì)轉(zhuǎn)并通過(guò)磁力耦合驅(qū)動(dòng)發(fā)電機(jī)增速，具有多能互補(bǔ)、高效獲能、轉(zhuǎn)換效率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行可靠等特點(diǎn)，為規(guī)模化海洋能開(kāi)發(fā)提供創(chuàng)新型設(shè)計(jì)。         意向開(kāi)展成果轉(zhuǎn)化的前提條件：中試放大及產(chǎn)業(yè)化工藝開(kāi)發(fā)資金支持

利用修飾有線粒體靶向肽的氧化鐵磁納米粒子與修飾有β-環(huán)糊精的透明質(zhì)酸構(gòu)筑了一種超分子納米纖維。該超分子納米纖維可以經(jīng)由光照或磁場(chǎng)（甚至包括很弱的地磁場(chǎng)）調(diào)控其形貌轉(zhuǎn)換。無(wú)論是體內(nèi)還是體外條件下，由于透明質(zhì)酸受體在腫瘤細(xì)胞表面過(guò)表達(dá)，該超分子納米纖維可以高效靶向腫瘤細(xì)胞，并且經(jīng)過(guò)地磁場(chǎng)的導(dǎo)向聚集，誘導(dǎo)腫瘤細(xì)胞線粒體功能障礙和細(xì)胞間聚集，從而特異性抑制體內(nèi)腫瘤細(xì)胞的侵襲和遷移。該超分子納米纖維可以作為一種方便的工具，不僅可以加深對(duì)動(dòng)態(tài)或刺激響應(yīng)性生物事件的理解，而且可以促進(jìn)用于腫瘤治療的生物材料的設(shè)計(jì)和發(fā)展。

利用超分子凝膠網(wǎng)絡(luò)溶脹吸收多種熒光小分子而不互相干擾，成功實(shí)現(xiàn)了凝膠材料熒光的多色調(diào)制，為構(gòu)筑熒光可調(diào)制軟材料提供了一種新的方法。他們首先設(shè)計(jì)合成了如下圖所示具有良好溶脹性能的水凝膠，這種水凝膠含有兩種互不干擾的鍵合位點(diǎn)（金剛烷基團(tuán)和磺化杯[4]芳香烴基團(tuán)，圖2），其中磺化杯[4]芳香烴對(duì)水凝膠的高度溶脹起到關(guān)鍵性的作用，并且這種高度溶脹性能提升了熒光分子進(jìn)入水凝膠的擴(kuò)散速率。這兩個(gè)鍵合位點(diǎn)可以分別鍵合染料分子四苯乙烯修飾的β環(huán)糊精（TPECD，藍(lán)色熒光）和4-[4-（二甲基氨基）苯乙烯基]-1-甲基吡啶鎓碘化物（DASPI，橙色熒光）而不互相干擾，并且鍵合作用可以大幅度增強(qiáng)染料的熒光發(fā)射強(qiáng)度。他們還通過(guò)調(diào)節(jié)凝膠溶脹過(guò)程中外液TPECD和DASPI的濃度比例，成功構(gòu)筑了可以發(fā)出藍(lán)色、黃色，特別是白色熒光的超分子水凝膠。與已知的用于構(gòu)筑發(fā)光凝膠的方法相比，先構(gòu)筑凝膠、后引入熒光基團(tuán)制備可調(diào)節(jié)熒光水凝膠的方法非常簡(jiǎn)便，為水凝膠在可調(diào)控有機(jī)發(fā)光顯示器或光學(xué)器件中的應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。