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本發明提出這樣一種陽極鍵合工藝方法：將 MEMS 陀螺儀器件層沉積到臨時高分子襯底上，完成金屬電極沉積和 MEMS 結構刻蝕之后，將臨時高分子襯底用化學機械拋光的方法去除。去除之后，將玻璃基體和玻璃蓋帽分別緊貼 MEMS 結構的兩側，加電加熱后一次完成雙面陽極鍵合。這種工藝方法與傳統的兩次陽極鍵合分兩步進行相比，更加節省成本，而且避免了第二次陽極鍵合對第一次陽極鍵合強度削弱這個固有缺點，使得產品可靠性提高。

本發明公開了一種用于高密度芯片的倒裝鍵合平臺，包括基座、芯片剝離和翻轉單元、XY 向運動單元、多自由度鍵合頭和貼裝臺單元，其中芯片剝離和翻轉單元用于將晶圓盤上的芯片分別執行剝離和翻轉，并將其送至待拾取位置；多自由度鍵合頭以懸臂形式安裝在 XY 向運動單元的支撐導軌上，并具有主動調平和對準功能；貼裝臺單元用于吸附基板并與鍵合頭相配合，由此實現芯片與基板之間的相互定位。此外，為了保證各單元高精度的運動或配合，該倒裝鍵合平臺中還配置有多套視覺定位系統。通過本發明，能夠達到微米級的對準精度，平行調整精度優于

產品詳細介紹型號：HD-I7035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結構：插拔式電腦結構（英特爾協議標準）    一體化電腦結構輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應方式：紅外觸摸感應            技術特性：HID免驅            觸摸點數：六點觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：75KG產品特點：教學應用● 插拔式電腦模塊----謹遵國際標準規范，計算機采用Intel 標準架構的插拔式電腦模塊，支持快捷維護及系統升級● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學的前期準備時間，并以最簡潔高效的方式實現對大屏產品的操作、控制● 全新雙系統應用----全新系統體驗~Windows操作系統和安卓系統一主一備的雙系統設計特點，使得教師在不開啟教學專用計算機，或者此計算機突發故障時，仍舊保證不中斷教學過程，實現對教學課件的圈點、批注；同時，支持海量開源教育應用● 雙側快捷鍵----緊密結合鴻合教學應用軟件，交互大屏產品雙側各15個快捷按鍵，實現“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時間內掌握產品系統功能的基本應用● 前置大功率揚聲器● 強大的鴻合教育云平臺和鴻合備授課系統安全可靠● 智能溫控散熱系統----企業責任心的直觀體現！提供實用、有效的功能設計，長效、實時地監控設備運行溫度，在臨界點進行預判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實用功能的設計，大幅提升產品使用安全，保障教師及學生們的生命安全節能環保● 智能光感控制----自動感應環境照度及亮度，智能調節屏體亮度至教師、學生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

產品詳細介紹型號：HD-I8035E背光類型：LED    顯示比例：16:9    物理解析度：1920*1080    圖像制式/聲音制式：PAL/DK，I    一體化電腦結構：插拔式電腦結構（英特爾協議標準）    一體化電腦結構輸入接口占用：觸控USB*1，HDMI*1    工作電壓：AC 100-240V，50/60Hz    觸摸：  觸摸面材質：普通鋼化玻璃/防眩鋼化玻璃            感應方式：紅外觸摸感應            技術特性：HID免驅            觸摸點數：十點觸控        書寫方式：手指或書寫筆            通訊接口：USB    安裝方式：壁掛/支架    凈重：95KG產品特點：教學應用● 插拔式電腦模塊----謹遵國際標準規范，計算機采用Intel 標準架構的插拔式電腦模塊，支持快捷維護及系統升級● 前置接口和按鍵----保證教師快速、方便接入教學電腦以及外部U盤，大幅壓縮電子教學的前期準備時間，并以最簡潔高效的方式實現對大屏產品的操作、控制● 全新雙系統應用----全新系統體驗~Windows操作系統和安卓系統一主一備的雙系統設計特點，使得教師在不開啟教學專用計算機，或者此計算機突發故障時，仍舊保證不中斷教學過程，實現對教學課件的圈點、批注；同時，支持海量開源教育應用● 雙側快捷鍵----緊密結合鴻合教學應用軟件，交互大屏產品雙側各15個快捷按鍵，實現“軟件硬件化”功能；幫助教師在最短時間內掌握產品系統功能的基本應用● 前置大功率揚聲器● 強大的鴻合教育云平臺和鴻合備授課系統安全可靠● 智能溫控散熱系統----企業責任心的直觀體現！提供實用、有效的功能設計，長效、實時地監控設備運行溫度，在臨界點進行預判斷后，智能選擇開啟告警、斷電等程序，此實用功能的設計，大幅提升產品使用安全，保障教師及學生們的生命安全節能環保● 智能光感控制----自動感應環境照度及亮度，智能調節屏體亮度至教師、學生最適宜觀看的亮度※一體化電腦為選配件。

本技術基于物料多樣性的可調控自適應流態化快速熱解制備生物炭技術，提高轉化效率與速率。發明了多相燃料脈動燃燒循環利用供熱的快速熱解技術。我們研發出移動式集成化快速熱解裝備。該裝置以專項作業車為載體，實現了稻殼等水稻廢棄物的就地回收。技術已實現將碳排放量減少 87%，研究成果總體技術達到了國際先進水平。裝置可實現二氧化碳的長期封存，將水稻廢棄物變廢為寶，循環產出高附加值化學品。

一、團隊（專家）簡介高秀峰，男，工學博士、副教授，2000 年 12 月獲西安交通大學工學博士學位并留校任教。曾主持國際合作科研項目 3 項、國家自然科學基金項目 1 項、作為骨干成員參與國家 863 計劃 3 項、主持省部級及企業橫向科研課題 30 余項。參編手冊、專著、教材共 6 部，累計撰寫 100 余萬字。獲陜西省科學技術二等獎兩項（№1、№3）、陜西省高校科學技術二等獎兩項（№4、№5）、中國石油和化學工業聯合會技術發明三等獎一項（№1）。累計發表學術論文近 70 篇，其中SCI 和 EI 收錄 20 余篇，累計獲批發明與實用新型專利 20 余項，獲 CNG 加氣站壓縮機科技成果鑒定一項（№1）。先后從事《過程流體機械》、《過程設備設計》、《密封技術》、《粉體工程》、《過程裝備課程設計》等近 10 門專業主干課程的教學工作。擅長從事工程實踐類研究項目與實際產品的研發，擅長從事科研成果轉化與產業化推廣工作，主持研發的多項產品實現大規模產業化應用和市場推廣。主要研究方向1) 過程流體機械：石油、化工、動力、制冷用各種容積式壓縮機與流體輸送泵，主要專長為往復式壓縮機、渦旋式壓縮機

中試階段/n項目組年承擔了與本項目直接相關的項目有：國家科技支撐計劃項目“鹽酸分解中低品位磷礦生產工業磷酸及其磷酸鹽工業化示范工程”(項目編號：2007BAB08B08，2007~2010已結題)，湖北省科技攻關項目“鹽酸濕法磷酸生產工業磷酸鹽”(項目編號：2007AA101C23，(項目編號：2007AA101C23，2007~2010已結題)，作為技術負責人參與了湖北省重大科技專項“電子級磷酸制備工藝研究及示范”(項目編號：2007DA108，2007~2010已結題)。間接相關的項目有：國家科技支撐計劃項目子課題“低品位膠磷礦浮選工藝技術研究與工程示范”(項目編號：2011BAB08B01，2011~2016已結題)，國家科技支撐計劃項目子課題“中低品位難選膠磷礦高效綠色選礦技術研究及示范”(項目編號：2013BAB07B01，2013~2015已結題)。完成了自選項目“磷尾礦綜合利用研究”(吳漢軍：碩士畢業論文，2015年已結題)。與湖北鄂中生態科技有限公司合作完成了“磷尾礦處理生產粗磷酸鹽”項目（2016年完成），發表與項目直接相關研究論文，“間接硫酸法高鎂磷尾礦中磷并制備硫酸鎂的方法”獲得國家授權專利（專利號：ZL 201410143917.7）。為該項目的產業化奠定了基礎。。本項目開展了相應工藝研究的實驗室工作。研究了鹽酸分解磷尾礦的工藝。在分解溫度為60度條件下，鈣、鎂、磷的分解回收率均為95%以上，成功地分離出氯磷酸鈣產品。研究了利用硫酸銨分離分解母液中鈣元素俺的工藝條件，獲得了結晶程度好硫酸鈣產品，二水磷酸鈣的含量達到99%，溶液中鈣的除去率達到99.9%，較好地實現了鈣與磷鎂的分離。研究了磷、鎂、銨溶液中分別沉淀磷酸鎂銨和碳酸鎂的方法，獲得了純度較高的磷酸鎂銨和碳酸銨產品。研究了石膏轉化為輕質碳酸鈣的工藝技術，碳酸鎂達到工業指標要求。石膏的轉化率達到99.9%，硫酸銨溶液部分循環利用，部分結晶硫酸銨產品。硫酸銨產品達到工業級質量指標。研究了氯化銨溶液濃縮結晶工藝技術，蒸出液用于氨水配制，結晶氯化銨母液循環利用，氯化銨產品達到優級品指標。并對整過磷礦處理工程進行了水平衡實驗，整過過程無廢水排放，CO2氣體回收利用，無廢氣排放。只有少量的硅渣排放，由于硅渣呈中性，可以用于生產水泥或路基材料。所形成的成果正在申報專利。基本完成了實驗室研究。目前正處于中試階段。。本項目截止目前為止，已投入資金60萬元，投入人力10人，進行了1年半的研究。成果應用正在與相關磷化工企業聯系，準備推廣實施。。支持額度：。300。萬元。承接單位：。湖北省。項目進展：。項目組年承擔了與本項目直接相關的項目有：國家科技支撐計劃項目“鹽酸分解中低品位磷礦生產工業磷酸及其磷酸鹽工業化示范工程”(項目編號：2007BAB08B08，2007~2010已結題)，湖北省科技攻關項目“鹽酸濕法磷酸生產工業磷酸鹽”(項目編號：2007AA101C23，(項目編號：2007AA101C23，2007~2010已結題)，作為技術負責人參與了湖北省重大科技專項“電子級磷酸制備工藝研究及示范”(項目編號：2007DA108，2007~2010已結題)。間接相關的項目有：國家科技支撐計劃項目子課題“低品位膠磷礦浮選工藝技術研究與工程示范”(項目編號：2011BAB08B01，2011~2016已結題)，國家科技支撐計劃項目子課題“中低品位難選膠磷礦高效綠色選礦技術研究及示范”(項目編號：2013BAB07B01，2013~2015已結題)。完成了自選項目“磷尾礦綜合利用研究”(吳漢軍：碩士畢業論文，2015年已結題)。與湖北鄂中生態科技有限公司合作完成了“磷尾礦處理生產粗磷酸鹽”項目（2016年完成），發表與項目直接相關研究論文，“間接硫酸法高鎂磷尾礦中磷并制備硫酸鎂的方法”獲得國家授權專利（專利號：ZL 201410143917.7）。為該項目的產業化奠定了基礎。。項目基本內容：。本項目開展了相應工藝研究的實驗室工作。研究了鹽酸分解磷尾礦的工藝。在分解溫度為60度條件下，鈣、鎂、磷的分解回收率均為95%以上，成功地分離出氯磷酸鈣產品。研究了利用硫酸銨分離分解母液中鈣元素俺的工藝條件，獲得了結晶程度好硫酸鈣產品，二水磷酸鈣的含量達到99%，溶液中鈣的除去率達到99.9%，較好地實現了鈣與磷鎂的分離。研究了磷、鎂、銨溶液中分別沉淀磷酸鎂銨和碳酸鎂的方法，獲得了純度較高的磷酸鎂銨和碳酸銨產品。研究了石膏轉化為輕質碳酸鈣的工藝技術，碳酸鎂達到工業指標要求。石膏的轉化率達到99.9%，硫酸銨溶液部分循環利用，部分結晶硫酸銨產品。硫酸銨產品達到工業級質量指標。研究了氯化銨溶液濃縮結晶工藝技術，蒸出液用于氨水配制，結晶氯化銨母液循環利用，氯化銨產品達到優級品指標。并對整過磷礦處理工程進行了水平衡實驗，整過過程無廢水排放，CO2氣體回收利用，無廢氣排放。只有少量的硅渣排放，由于硅渣呈中性，可以用于生產水泥或路基材料。所形成的成果正在申報專利。基本完成了實驗室研究。目前正處于中試階段。

鎂化學性質活潑，目前鎂屑的回收利用不僅燒損嚴重，而且存在極大的安全隱患。本項目開發了一種安全回收利用鎂屑的技術方法，并可以進一步提高鎂合金材料的品質。該項技術已經獲得授權國家發明專利 2 項。產品性能、指標采用本項目技術回收利用的鎂屑，金屬鎂的收得率達到 90%以上，回收過程安全、可靠，回收得到的鎂合金材料力學性能不低于同類合金材料。適用范圍、市場前景適用于生產各種鎂合金錠材或零部件的企業，如作為壓鑄鎂合金錠，或者做成手機外殼、汽車方向盤等。

項目研究內容 ：本項目對蜂膠中黃酮類化合物的分離提取進行了較詳 細地研究，確定了 8 種黃酮類化合物，對提取工藝進行了優化，工藝技術 先進，可有效地提取、保護和利用蜂膠中黃酮類化合物活性成分，以及易 揮發、易氧化變質組分，保留蜂膠特有的香脂味，很好地解決蜂膠制品的 水溶性問題。同時以早大米為微膠囊的壁材，進行了有效的精制與除鉛工 藝，可消除蜂膠潛在的安全隱患；蜂膠微膠囊化小試研究和中試探索，蜂 膠的包埋率達到 95%

成果創新點 通過大量的各類實驗對地下巖層的地熱梯度、地熱儲 量、巖石強度、滲流特性進行綜合數據分析，建立開發前 的完備地熱數據資料系統，劃分地熱系統的成因類型、確 定補給源、估算熱儲溫度、計算地熱水年齡、研究地熱水 與其它天然水之間的相互關系、研究與地熱水成份的形成 與演化有關的水熱化學作用、研究熱源與開發點間的熱能 對流效應，為后期的產能評價、保溫輸送、地下水回灌、 產能優化、智能開采、