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一種高量子效率的微結構碳化硅紫外光電探測器及其制備方法
一種高量子效率的微結構碳化硅紫外光電探測器及其制備方法，屬于紫外光電探測技術領域。該探測器采用自下而上的結構設計，包括碳化硅高摻雜n+型襯底、n型緩沖層、低摻雜n?型吸收層、低摻雜p?型吸收層（內含微結構）、環形高摻雜p+型歐姆接觸層及鈍化隔離層。通過在p+型歐姆接觸電極施加反向偏壓，形成耗盡電場，微結構促使p??i?n結構電場相互連接耦合，提高光生載流子耗盡效率，增強器件響應度和外量子效率。同時，微結構使短波紫外信號直接穿透p?型吸收層進入內部吸收層，避免p+型歐姆接觸層表面缺陷導致的光生載流子復合，提高光生載流子收集的效率，實現紫外全波段探測。
廈門大學
2021-01-12
一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法
本發明公開了一種高靈敏的ZnO/AlN核鞘納米棒陣列紫外光探測器的制備方法，包括如下步驟：在藍寶石襯底上生長ZnO納米棒陣列；采用磁控濺射法在ZnO納米棒上濺射不同厚度的AlN鞘層薄膜；采用濺射法或者電子束蒸鍍分別在ZnO/AlN核鞘納米棒陣列兩端制備具有歐姆接觸的金屬電極，構成完整的器件。本發明通過簡單的磁控濺射方法，控制濺射時間，在ZnO納米棒上生長不同厚度、表面光滑均一的AlN鞘層薄膜，制備的ZnO/AlN核鞘光探測器件不僅具有更好的紫外光響應，在360nm紫外光照射下，電壓為5V時，明暗電流比為5.5×103，提高了一個數量級，同時具有更快速的響應和恢復時間，分別是0.883和0.956s。
東南大學
2021-04-11
安徽大學謝峰老師課題組在寬禁帶半導體紫外探測和激光器研制方面取得新進展
近期，信息材料與智能感知安徽省實驗室謝峰老師課題組在寬禁帶半導體日盲紫外探測器和白光激光器研究方面取得新進展，相關研究成果相繼發表在國際知名期刊Opt.Express和IEEETrans.ElectronDevices上，三篇論文均以安徽大學信息材料與智能感知安徽省實驗室為第一單位，謝峰老師為論文第一作者。
安徽大學
2022-08-26