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浙江土工儀器制造有限公司是微機(jī)化、數(shù)字化、智能化試驗(yàn)儀器專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)企業(yè)，自1981年公司成立以來(lái)，經(jīng)過(guò)四十載的風(fēng)雨歷練，企業(yè)實(shí)現(xiàn)了跨越式的發(fā)展。公司現(xiàn)占地面積26680平方米（40畝），有現(xiàn)代化的標(biāo)準(zhǔn)廠房14幢，車(chē)、刨、銑、磨、鏜設(shè)備配套齊全，設(shè)計(jì)研發(fā)能力卓越，控制系統(tǒng)能自主研發(fā)，曾多次參加國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)制定，產(chǎn)品在國(guó)家重點(diǎn)工程和世界銀行招標(biāo)中屢屢中標(biāo)，浙江交通兩大工程：杭州灣跨海大橋，舟山連島工程的業(yè)主、監(jiān)理、施工單位以及浙江省交通系統(tǒng)一百多家試驗(yàn)室采用本公司的試驗(yàn)儀器，是試驗(yàn)儀器行業(yè)的隱形冠軍。 我公司是國(guó)家重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)(有效期2018年11月30日—2021年11月30日），中國(guó)儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)理事單位，浙江省儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)單位，浙江省專(zhuān)利示范企業(yè)，浙江省“守合同、重信用”AAA級(jí)單位，浙江省土工試驗(yàn)儀器高新技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心，紹興市出口名牌單位，上虞政府質(zhì)量獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)企業(yè)，上虞試驗(yàn)儀器行業(yè)進(jìn)入上虞納稅大戶(hù)名單的企業(yè)，中華人民共和國(guó)進(jìn)出口企業(yè)，產(chǎn)品出口美國(guó)、英國(guó)、德國(guó)、意大利、澳大利亞、瑞士等100多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，能提供英標(biāo)、法標(biāo)、美標(biāo)產(chǎn)品，為中國(guó)企業(yè)在國(guó)外施工提供過(guò)100多套儀器，為國(guó)內(nèi)交通甲級(jí)試驗(yàn)室提供過(guò)多套試驗(yàn)儀器。企業(yè)通過(guò)ISO9001：2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證，ISO14001:2015環(huán)境管理體系認(rèn)證，職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證，知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理體系認(rèn)證、法國(guó)BV國(guó)際質(zhì)量認(rèn)證、歐盟CE認(rèn)證、瑞士SGS認(rèn)證。六十六只產(chǎn)品獲得制造計(jì)量器具許可證，九十一只產(chǎn)品獲得國(guó)家專(zhuān)利證書(shū)，壓力試驗(yàn)機(jī)、萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)獲得浙江名牌產(chǎn)品稱(chēng)號(hào)、固結(jié)儀、直剪儀、三軸儀獲得紹興名牌產(chǎn)品稱(chēng)號(hào)。我公司的土工試驗(yàn)微機(jī)數(shù)據(jù)采集處理軟件、試驗(yàn)機(jī)微機(jī)數(shù)據(jù)采集處理軟件具有計(jì)算機(jī)軟件著作權(quán)。公司是目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)土工儀器、公路儀器、建材儀器品種齊全的企業(yè)，與全國(guó)多所高校建立了合作關(guān)系。“逾峰”商標(biāo)在多個(gè)國(guó)家和地區(qū)申請(qǐng)注冊(cè)，在國(guó)際上具有較高的知名度和美譽(yù)度。 以服務(wù)塑造形象，用誠(chéng)信鑄就品牌。逾峰人將以超強(qiáng)的研發(fā)能力，可靠的產(chǎn)品質(zhì)量，高效的管理模式，優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)，現(xiàn)代化的設(shè)備和超前的意識(shí)創(chuàng)造行業(yè)奇跡，譜寫(xiě)中國(guó)試驗(yàn)儀器歷史上璀璨的篇章。

青島共享智能制造有限公司是集工業(yè)環(huán)境特種機(jī)器人產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)制造、銷(xiāo)售為一體的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，公司緊密跟蹤機(jī)器人技術(shù)及產(chǎn)品的發(fā)展，在工業(yè)生產(chǎn)自動(dòng)化、智能化解決方案領(lǐng)域展開(kāi)創(chuàng)新性工作，致力于打造成世界領(lǐng)先的解決方案供應(yīng)商。公司主營(yíng)產(chǎn)品有輸電線路巡檢機(jī)器人、鋼制壁面噴砂除銹機(jī)器人、碼垛機(jī)器人及生產(chǎn)線、自動(dòng)包裝系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)、環(huán)保工程、機(jī)器人手爪及全自動(dòng)機(jī)器人碼垛系統(tǒng)、全自動(dòng)化配料生產(chǎn)線等，廣泛應(yīng)用于電力、造船、糧油飼料、化工等眾多行業(yè)。并在此基礎(chǔ)上積極拓展相關(guān)技術(shù)產(chǎn)品領(lǐng)域，不斷推動(dòng)智能機(jī)電系統(tǒng)自動(dòng)化水平的創(chuàng)新與提高。 青島共享智能制造有限公司擁有世界領(lǐng)先的技術(shù)，嚴(yán)格按照現(xiàn)代企業(yè)管理制度運(yùn)作，注重學(xué)習(xí)和借鑒國(guó)內(nèi)外優(yōu)秀企業(yè)的管理模式和經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)采用各種現(xiàn)代化的管理技術(shù)、方法和手段，不斷提高公司的科學(xué)管理能力。青島共享智能制造有限公司將永遠(yuǎn)堅(jiān)持自己的信念，不忘使命，以創(chuàng)新性技術(shù)與營(yíng)銷(xiāo)模式努力成為一家有競(jìng)爭(zhēng)力和吸引力、有社會(huì)責(zé)任感的優(yōu)秀高科技公司。

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導(dǎo)電區(qū)表面和絕緣區(qū)表面制作摻雜掩膜，以對(duì)導(dǎo)電區(qū)和絕緣區(qū)分別進(jìn)行粒子摻雜，絕緣區(qū)與導(dǎo)電區(qū)摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導(dǎo)電區(qū)表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區(qū)域覆蓋絕緣層。本發(fā)明的方法制造工藝簡(jiǎn)單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對(duì)硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結(jié)構(gòu)的成品率。本發(fā)明還公開(kāi)了一種硅通孔結(jié)構(gòu)。

用于地震計(jì)靜態(tài)標(biāo)定的精密傾斜平臺(tái)裝置，包括底座，臺(tái)面，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，檢測(cè)機(jī)構(gòu)和支撐架；轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主軸，驅(qū)動(dòng)臂和轉(zhuǎn)臺(tái)，及配重塊；主軸固定于左、右支撐架上；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和配重塊分別位于驅(qū)動(dòng)臂兩側(cè)；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括直線電機(jī)，滑臺(tái)，直線導(dǎo)軌及滑塊和光柵尺，光柵尺的讀數(shù)頭與底座固定連接，臺(tái)面水平時(shí)，讀數(shù)頭給出光柵尺的零點(diǎn)信號(hào)；滑臺(tái)抵緊驅(qū)動(dòng)臂，直線電機(jī)正方向運(yùn)動(dòng)時(shí)滑臺(tái)推動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)正轉(zhuǎn)，直線電機(jī)反方向帶動(dòng)滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)由于配重塊的重力作用使轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)反轉(zhuǎn)；檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括激光干涉儀和將激光反射回激光干涉儀以獲取臺(tái)面轉(zhuǎn)動(dòng)角度的反射鏡，反射鏡安裝于臺(tái)面上。本發(fā)明具有定位精度高、傳動(dòng)效率高、應(yīng)用范圍廣的優(yōu)點(diǎn)。

該項(xiàng)目來(lái)源于部級(jí)科研課題，主要以精密傳動(dòng)系統(tǒng)為研究對(duì)象，建立了動(dòng)態(tài)傳動(dòng)精度模型，分析了傳動(dòng)系統(tǒng)中各零件的加工誤差、裝配誤差、間隙及齒輪嚙合剛度、軸承剛度等因素對(duì)傳動(dòng)誤差的影響；開(kāi)發(fā)出傳動(dòng)誤差測(cè)試系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了傳動(dòng)誤差的高精度測(cè)試，其測(cè)試精度為±2角秒，并可分析傳動(dòng)系統(tǒng)單項(xiàng)傳動(dòng)誤差和各次諧波。 該傳動(dòng)誤差測(cè)試系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于各種精密傳動(dòng)系統(tǒng)的誤差測(cè)試與分析中，如齒輪機(jī)床、數(shù)控機(jī)床、精密減速機(jī)、工業(yè)機(jī)器人等的傳動(dòng)系統(tǒng)中。該項(xiàng)目由一支從事多年傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造的高水平科研團(tuán)隊(duì)承擔(dān)，多年一直從事該產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，積累了較豐富的設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)，承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家863課題、國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)課題、省部級(jí)課題等。

高精密微小幾何特征零件在航空航天、國(guó)防、醫(yī)療等領(lǐng)域的產(chǎn)值已超過(guò)千億美元。目前，我國(guó)主要用傳統(tǒng)設(shè)備對(duì)這些零件進(jìn)行微細(xì)銑削，存在著精度低、耗能高、占地空間大等突出問(wèn)題。另外，超精密微細(xì)銑削設(shè)備依賴(lài)進(jìn)口，價(jià)格昂貴，且高端超精密微細(xì)銑削設(shè)備還對(duì)我國(guó)禁運(yùn)，嚴(yán)重阻礙了我國(guó)高精密微小幾何特征零件的精密加工與相關(guān)應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展。通過(guò)本項(xiàng)目高精密微細(xì)銑削加工關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用，解決了以上突出問(wèn)題，取得了高精密微細(xì)銑削加工關(guān)鍵技術(shù)與裝備的重大突破，打破了國(guó)外技術(shù)封鎖。創(chuàng)新研究成果如下： 1.發(fā)明了系列超精密微細(xì)銑削機(jī)床，提出了小型超精密微細(xì)銑削機(jī)床創(chuàng)成式精準(zhǔn)設(shè)計(jì)方法，解決了超精密微細(xì)銑削機(jī)床的創(chuàng)新研發(fā)問(wèn)題。與國(guó)內(nèi)目前用于微細(xì)銑削的主要加工機(jī)床相比，精度提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)、節(jié)約了70%的能源和75%以上的占地空間。 2.發(fā)明了系列微細(xì)球頭銑刀，切削部旋轉(zhuǎn)包絡(luò)球面直徑為50μm～1000μm，前刀面與后刀面均為直紋面，從原理上保證了切削刃輪廓制備誤差≤±2μm。提出了微細(xì)銑刀的直紋面組合設(shè)計(jì)方法，研發(fā)出了其制造關(guān)鍵技術(shù)，解決了超硬微細(xì)銑刀的創(chuàng)新研發(fā)問(wèn)題。 3.發(fā)明了微細(xì)銑削用工件姿態(tài)微調(diào)整裝置，工件上表面調(diào)整精度達(dá)1.7μm，減少了超精密微細(xì)銑削時(shí)40%的工件調(diào)整時(shí)間。提出了微細(xì)銑削工件姿態(tài)微調(diào)整夾具設(shè)計(jì)方法與技術(shù)，解決了工件姿態(tài)微調(diào)整夾具裝置的剛度與阻尼優(yōu)化匹配的問(wèn)題。 4.提出了微細(xì)銑削的微觀關(guān)系模型與微細(xì)銑削臨界工藝參數(shù)分析優(yōu)化方法，解決了塑性材料微細(xì)銑削尺度效應(yīng)所對(duì)應(yīng)臨界條件的判定、硬脆性材料塑性切削判定準(zhǔn)則不統(tǒng)一的問(wèn)題，為超精密微細(xì)銑削裝備研發(fā)與應(yīng)用提供了關(guān)鍵支撐理論與技術(shù)。 本項(xiàng)目研究成果通過(guò)了山東省教育廳組織的鑒定，鑒定委員會(huì)認(rèn)為，該研究整體技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，所研發(fā)的微細(xì)球頭銑刀達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。 取得自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利23項(xiàng)，實(shí)用新型專(zhuān)利5項(xiàng)，發(fā)表論文67篇，其中被SCI/EI收錄47篇。所自主研發(fā)的關(guān)鍵技術(shù)，市場(chǎng)需求度高，不但能夠替代進(jìn)口產(chǎn)品，而且具有國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的優(yōu)勢(shì)，社會(huì)效益顯著。 本項(xiàng)目成果附加值高，已在多家企業(yè)推廣應(yīng)用，近3年，新增產(chǎn)值149590.2萬(wàn)元，新增利潤(rùn)21520.6萬(wàn)元，經(jīng)濟(jì)效益重大。

?  成果簡(jiǎn)介：具有車(chē)、銑、車(chē)銑、鉆、鏜、絞、螺紋等多種加工功能，適合加工各種材料如鋼件、鋁及銅質(zhì)零部件和各種復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)件。帶有自主開(kāi)發(fā)的國(guó)際市場(chǎng)上最高轉(zhuǎn)速、最小刀具適配器的自動(dòng)換刀電主軸，可配備32把刀具的國(guó)際上最小的刀庫(kù)；可實(shí)現(xiàn)精密微小型復(fù)雜結(jié)構(gòu)件一次裝夾完成全部或大部分工序的完整性加工。機(jī)床行程：X向320mm；Y向60mm；Z向270mm；車(chē)削主軸轉(zhuǎn)速：0-8000rpm，銑削主軸轉(zhuǎn)速：0-60000rpm，加工精度IT6級(jí)；車(chē)銑最低粗糙度Ra為0.3mm；重復(fù)定位精度

?  成果簡(jiǎn)介：精密內(nèi)孔加工特別是硬淬材料和高粘性材料的內(nèi)孔加工，砂輪的損耗十分嚴(yán)重，而內(nèi)孔加工精度和表面質(zhì)量對(duì)砂輪幾何形貌及磨削性能的變化十分敏感，因此，需要采用高耐磨的具有良好保持性的超硬砂輪及其磨削技術(shù)，本項(xiàng)目可針對(duì)不同材料的內(nèi)孔磨削要求，提供高效的砂輪設(shè)計(jì)與制造及其應(yīng)用技術(shù)。該技術(shù)主要應(yīng)用于強(qiáng)化鑄鐵、軸承鋼、不銹鋼、陶瓷等材料的精密內(nèi)孔加工。比普通砂輪提高耐用度10倍以上，磨削粗糙度Ra≤0.4。?  項(xiàng)目來(lái)源：自行開(kāi)發(fā)?&