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程鑫課題組主攻微納加工技術(shù)，包括超高精度（亞5納米）表面圖形化技術(shù)、適用于產(chǎn)業(yè)化的大面積低成本納米加工技術(shù)、微納3D打印技術(shù)等。課題組同時(shí)開發(fā)微納加工在半導(dǎo)體器件、納米光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)工程等多個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用。近年來，課題組在微流控芯片領(lǐng)域開展了大量創(chuàng)新性研究工作，并取得了一系列成果。 DNA/RNA測序前文庫構(gòu)建和蛋白質(zhì)的結(jié)構(gòu)大規(guī)模質(zhì)譜檢測等基因組學(xué)和蛋白質(zhì)組學(xué)研究中的關(guān)鍵技術(shù)都涉及到稀

本發(fā)明公開了一種兩級(jí)可調(diào)的水蒸汽等離子體旋流燃燒器，包括第一級(jí)等離子體點(diǎn)火裝置、第二級(jí)等離子體調(diào)節(jié)器和水蒸汽供氣系統(tǒng)。第一級(jí)等離子體點(diǎn)火裝置包括一次風(fēng)管道、內(nèi)燃燒室、濃淡分離器、旋流發(fā)生器、第一級(jí)水蒸汽進(jìn)氣管道、中心風(fēng)管道和第一級(jí)等離子體發(fā)生器；第二級(jí)等離子體調(diào)節(jié)裝置包括第二級(jí)水蒸汽進(jìn)氣管道、第二級(jí)等離子體發(fā)生器、內(nèi)二次風(fēng)進(jìn)氣管道和外二次風(fēng)進(jìn)氣管道。本發(fā)明通過兩級(jí)水蒸汽等離子體發(fā)生器解決燃燒難以穩(wěn)定和NOx污染物排放高的問題。特別適用于貧煤、無煙煤等難以著火點(diǎn)燃、NOx 生成量高的煤種，具有低氮穩(wěn)燃的效果。

浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計(jì)劃和國家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測控、5ppt級(jí)金屬離子測控、20μm級(jí)氣泡測控、50nm級(jí)殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明公開了一種酸性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法。采用酸性烤藍(lán)工藝在軟磁合金粉末表面包覆由尺寸均勻的納米Fe3O4形成的包覆層，經(jīng)粘結(jié)、壓制成型、熱處理工藝，制備新型的軟磁復(fù)合材料。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：采用酸性烤藍(lán)工藝制備Fe3O4方法簡單，并且容易控制Fe3O4層的厚度, 由于該反應(yīng)是原位反應(yīng)，因此制備的絕緣層致密，與磁粉的結(jié)合度高。與傳統(tǒng)的軟磁復(fù)合材料相比，由于絕緣層為亞鐵磁性的Fe3O4，有效減少了磁稀釋現(xiàn)象，從而可以得到具有高飽和磁通密度、高磁導(dǎo)率的軟磁復(fù)合材料。

本發(fā)明公開了一種堿性烤藍(lán)工藝制備高飽和磁通密度軟磁復(fù)合材料的方法。采用堿性烤藍(lán)工藝使磁粉表面氧化生成一層均勻的Fe3O4的絕緣層，然后經(jīng)粘結(jié)、壓制成型、熱處理工藝，制備新型軟磁復(fù)合材料。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：采用堿性烤藍(lán)工藝制備的Fe3O4是在軟磁粉末的表面原位生長，因此絕緣包覆層與磁粉之間結(jié)合度高，并且包覆均勻致密；由于Fe3O4具有較高的電阻率，因此具有較好的絕緣效果；另一方面，用亞鐵磁性的Fe3O4作為絕緣包覆劑，克服了傳統(tǒng)非磁性物質(zhì)作為包覆劑的磁稀釋現(xiàn)象，可以獲得更高的磁導(dǎo)率及磁通密度；堿性烤藍(lán)工藝操作簡單，成本較低，有利于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。

本發(fā)明公開了一種基于磁真空泄漏原理的漏磁檢測方法及其裝置。該方法為①將待檢測導(dǎo)磁構(gòu)件磁化；②在上述被磁化的導(dǎo)磁構(gòu)件外圍，剔除已有背景磁場，形成磁真空區(qū)域；③采用磁敏元件布置于磁真空區(qū)域，拾取無磁壓縮效應(yīng)的缺陷漏磁場并轉(zhuǎn)化為電壓信號(hào)，如果電壓信號(hào)中存在突變，則說明待檢測導(dǎo)磁構(gòu)件中存在缺陷，否則無缺陷。裝置采用穿過式線圈對(duì)被檢測導(dǎo)磁構(gòu)件實(shí)施局部磁化，以便激發(fā)出該磁化區(qū)域內(nèi)導(dǎo)磁構(gòu)件上缺陷的漏磁場；在其內(nèi)腔布置永磁體對(duì)，產(chǎn)生反向磁場與原背景磁場疊加抵消，形成磁真空區(qū)域以供缺陷的漏磁場泄漏擴(kuò)散進(jìn)來，同時(shí)消除由

本發(fā)明公開了一種基于超磁致伸縮薄膜驅(qū)動(dòng)器的平面線圈驅(qū)動(dòng)式微閥，包括下閥體 （1）、依次壓疊在下閥體（1）上的基片（3）、上閥體（4）和平面螺旋線圈（6），下閥 體的底部沿徑向方向分別設(shè)有進(jìn)液流道（2）和出液流道（11），下閥體的上部設(shè)有液體腔 （13），進(jìn)液流道（2）設(shè)有垂直向上的與液體腔連通的流道口，出液流道（11）與所述液 體腔連通；基片（3）上表面鍍有具有逆磁致伸縮效應(yīng)薄膜（7），下表面鍍有具有正磁致伸 縮效應(yīng)薄膜（9）；平面螺旋線圈（6）通電后，磁致伸縮薄膜驅(qū)動(dòng)器在激勵(lì)磁場的作用下發(fā) 生形變向上彎曲，使得工作流體通道打開，實(shí)現(xiàn)液壓系統(tǒng)回路的通斷。本發(fā)明具有體積小、 易于微型化、響應(yīng)速度快、可控性強(qiáng)等特點(diǎn)。

一、 項(xiàng)目簡介磁致伸縮材料具有磁致伸縮大、能量密度高、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，在功率換能器、精密控制系統(tǒng)、傳感器等方面得到廣泛應(yīng)用。針對(duì)磁致伸縮材料存在的制備工藝復(fù)雜、難于制備復(fù)雜形狀及高頻特性差等問題，提出一種方法來制備磁致伸縮材料。應(yīng)用制備的材料研制了換能器與傳感器等，在企業(yè)和大專院校得到應(yīng)用。二、 項(xiàng)目技術(shù)成熟程度已完成實(shí)驗(yàn)工作，進(jìn)入中試階段，部分產(chǎn)品得到應(yīng)用。三、 技術(shù)指標(biāo)取向Tb-Dy-Fe合金樣品在40 kA/m磁場下的磁致伸縮為1000×10-6。粘結(jié)Sm-Dy-Fe合金樣品在低磁場下具有較高的磁致伸縮數(shù)值，當(dāng)磁場為100 kA/m時(shí),磁致伸縮可達(dá)265×10-6。Fe-Ga合金樣品在10 kA/m磁場下的磁致伸縮為260×10-6。獲得實(shí)用新型專利，已申報(bào)發(fā)明專利。四、 市場前景材料在功率換能器、精密控制系統(tǒng)、有源消振及傳感器等方面得到廣泛應(yīng)用，市場前景廣闊。五、 規(guī)模與投資需求根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模確定。六、 生產(chǎn)設(shè)備真空熔煉爐、模具、壓機(jī)等。七、 效益分析按每年生產(chǎn)4噸計(jì)算，可獲利約1500-2000萬，八、 合作方式面談。九、 項(xiàng)目具體聯(lián)系人及聯(lián)系方式王博文， 翁玲： 電話：022-60204363；E-mail: bwwang@hebut.edu.cn

成果簡介：隨著老齡化和疾病譜的變化，腦健康已經(jīng)成為國家重大需求。根據(jù)科 技部發(fā)布的“重大慢性非傳染性疾病防控研究”重點(diǎn)專項(xiàng)的指南，抑郁障礙、神 經(jīng)退行性疾病等防控研究紛紛被列入十三五計(jì)劃。深部經(jīng)顱磁刺激技術(shù)是自動(dòng)化 學(xué)院橫向課題成果，聯(lián)合了中科院、首都醫(yī)科大學(xué)及其附屬醫(yī)院、中日友好醫(yī)院、 加拿大阿拉伯塔大學(xué)等，在基礎(chǔ)研究與臨床研究中均取得了突破性的進(jìn)展，有望 在睡眠、抑郁癥、阿爾茨海默病、卒中后功能障礙等腦疾病的防治中發(fā)揮重要作 用。 成果水平： 國際領(lǐng)先。 應(yīng)用范圍： 1、失眠的治療：我國睡眠障礙的比例高達(dá) 38.2%，尚沒有非常好的解決方案。2、抑郁癥的治療：被認(rèn)為有望改變精神疾病治療領(lǐng)域的游戲規(guī)則。 3、卒中后功能障礙的康復(fù)。 4、阿爾茨海默病和帕金森病等神經(jīng)退行性疾病的防治。 以上四個(gè)領(lǐng)域，除失眠的治療以外，其他三項(xiàng)均列入了十三五重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃指南， 都是尚未很好滿足的重大需求。深部腦磁刺激儀通過全腦神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)連接特性和神 經(jīng)可塑性的改善，有望在這些領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。 市場分析及前景：我國 38.2%的成年人有睡眠障礙，6000 萬的抑郁癥患者，超過 一千萬的阿爾茨海默病患者，都需要更好的治療。 隨著老齡化加速，如果不去預(yù)防，20 年后的阿爾茨海默病患者數(shù)量將達(dá)到 2600 萬人，2050 年的經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)將達(dá)到 5 萬億。 我們采取“按使用付費(fèi)”的模式，“每天 10 元，呵護(hù)全家人的腦健康”作為 我們的營銷策略，將為每一個(gè)家庭提供腦健康服務(wù)。市場巨大。 我們采取分步走戰(zhàn)略，從睡眠改善開始，逐步獲取治療失眠、治療抑郁癥、 治療卒中后功能障礙、治療阿爾茨海默病為適應(yīng)癥的醫(yī)療器械注冊(cè)。 如果投入及時(shí)，將取得快速發(fā)展，三年實(shí)現(xiàn)利潤 1 個(gè)億。 主要技術(shù)指標(biāo)：弱強(qiáng)度磁場強(qiáng)度，峰值磁場強(qiáng)度只有 20Gs,十分安全。 高頻單波（1000hz）和組合節(jié)律，帶來意想不到的療效。 均勻分布的磁場，有效的磁刺激可作用到大腦深部。 提升腦源性神經(jīng)營養(yǎng)因子含量，促進(jìn)海馬體神經(jīng)細(xì)胞新生和發(fā)育，在臨床試驗(yàn)中 發(fā)現(xiàn)治療抑郁癥 6 周內(nèi)的臨床痊愈率高達(dá) 50%，治療阿爾茨海默病的效果與主流 抗癡呆藥物相當(dāng)，聯(lián)合使用還能夠增效。 投資規(guī)模：首期融資 2000 萬人民幣，可以分期到位。 2018 年，2000 萬美元，用于美國的臨床。 2021 年，完成美國臨床和 FDA 認(rèn)證。PRE-IPO 融資。 2022-2023，獲得美國 FDA 認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)資本市場上市。 合作方式：技術(shù)入股