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一種深硅刻蝕方法
本發明公開了一種深硅刻蝕方法，包括如下步驟：（1）在硅片表面制備圖形化的光刻膠掩膜；（2）對硅片進行深感應耦合等離子體干法刻蝕，包括多個刻蝕階段，每個刻蝕階段均在感應耦合等離子體機內，通過鈍化、轟擊和刻蝕三個步驟交替循環加工完成，隨著刻蝕深度的增加，各刻蝕階段中轟擊步驟的轟擊強度逐漸增強。本發明有效解決了現有技術中側壁垂直度及粗糙度難以控制以及大刻蝕深度難以實現的問題，在提高刻蝕效率的同時，提高了對光刻膠的選擇比，刻蝕槽側壁垂直度高，粗糙度小，刻蝕深度大。
華中科技大學
2021-04-14
低硼硅藥用玻璃管
主要生產藥用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液體瓶等產品。現擁有14條國際先進的拉管生產線，70余臺國際先進的制瓶機，年產各類安瓿/管制瓶32億支，藥用玻管（精品7.0）30000噸。
山東力諾特種玻璃股份有限公司
2021-08-27
硅通孔結構及其制造方法
本發明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區表面和絕緣區表面制作摻雜掩膜，以對導電區和絕緣區分別進行粒子摻雜，絕緣區與導電區摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區域覆蓋絕緣層。本發明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發明還公開了一種硅通孔結構。
華中科技大學
2021-04-11
液基TCT病理全自動制片機24通道
1、微電腦控制，中文界面，彩色液晶顯示，觸摸屏操作，簡捷、直觀、方便。2、全程電腦自動控制，無需人工干預。自動梯度離心濃縮標本，自動抽取標本瓶廢液，自動轉移標本，自動制片，自動滴染色（含鹽酸酒精分化）。3、每份標本獨立離心濃縮，獨立抽取廢液，獨立轉移并沉降制片，獨立滴染色、獨立傾倒廢液，標本與耗材（離心管、一次性移液針筒、沉降倉等）一一對應，不交叉使用，不重復使用，保證單獨制片染色，無標本間交叉污染4、一次性移液針筒抽取染色液、鹽酸酒精，因此，無堵塞管道風險，無染色液浪費。5、有效細胞單層、均勻地平鋪到載玻片圓形區域上，制成細胞成分豐富、背景清晰、顏色鮮艷、形態完整、平鋪均勻的細胞學涂片。6、上皮細胞、化生細胞、頸管細胞及微生物等清晰，既可直接查癌及癌前病變，也可查炎癥，HPV感染、滴蟲、霉菌等微生物。7、配有凈化排氣裝置，環保密封罩活性炭過濾，吸附有害氣體，保證儀器內外空氣潔凈，保護操作者健康。8、單次制片染色1-24任意數值只標本。9、婦科、非婦科兩種工作模式；巴氏、HE兩種染色方式。
孝感奧華醫療科技有限公司
2025-01-21
TiC顆粒增強鋼基及鐵基復合材料
TiC顆粒增強鋼基及鐵基復合材料適用于在苛刻條件和環境（如：強負荷下的強磨損，高溫下的磨料磨損，強腐蝕氣氛中的沖蝕等）工作的設備零部件。這種新材料以合金鋼為基體，以TiC為增強體，具有常規的金屬材料難以比擬的一系列特征：1.耐磨損：在各種試驗條件下，它的耐磨損性能遠優于與其成分相似但不含TiC的合金鋼；2.工藝性能好：尤其是它的熱加工（包括鍛、軋和熱擠壓等）性能，優于一般的高合金鋼；3.性能的可調性：可以根據使用要求，調整成分，形成不同性能（強度、硬度、塑性及耐磨損性能）配合的材料； 4. 熱膨脹系數小：尺寸穩定性好；5.強度高：特別是它的高溫強度和抗蠕變性能高于與其成分相似，但不含TiC的合金鋼；6.成本低：新材料采用原位合成法應工藝制備。這種工藝方法先進，流程合理，易于實現工業化生產。
東南大學
2021-04-10
多晶硅鑄錠爐的隔熱塊及包括該隔熱塊的多晶硅鑄錠爐
本發明公開了一種用于多晶硅鑄錠爐的隔熱塊，設置在多晶硅鑄錠爐的坩堝底部外周，用于坩堝加熱或冷卻多晶硅過程中的隔熱保溫，該隔熱塊為中空方形筒體結構，筒體筒壁為中空夾層結構，其中內壁用于包覆設置在坩堝底部的熱交換塊外周壁面，且該內壁與所述熱交換塊外周壁面具有間隙，所述外壁用于與設置在坩堝外圍的豎直隔熱板固定接觸，所述坩堝中心線、熱交換塊中心線以及隔熱塊中心線重合，且所述隔熱塊頂部低于熱交換塊頂部。本發明還公開了具有
華中科技大學
2021-04-14
GaN?基高壓?LED
可以量產/n高壓LED是多個LED單元的芯片級串聯，互連比多個小功率管芯打線互連更為可靠；且LED單元之間間距很小，光線集中，便于光學設計，可用于高光密度照明，路燈、廣場照明和舞臺聚光照明等。幾個高壓LED串聯后可直接達到市電電壓水平，變壓能耗小，驅動設計簡單，可用于各種市電照明場合，例如室內照明、園區和工作場所照明等；高壓LED能減小驅動電路、光學設計和散熱部分的體積，因此 可采用多種燈具形式和適用多種安裝場合。
中國科學院大學
2021-01-12
PbTe基熱電材料
PbTe材料體系作為p型熱電材料有著優異的性能，不但呈現出較高的熱電優值ZT=2.3@923K（Energy Environ. Sci., 2015, 8, 2056），并且在室溫到900K的溫度范圍擁有較高的平均熱電優值ZTave=1.56，因而其理論發電效率可達20.7%（Nat. Commun. 2014, 5, 4515）。這兩篇論文從不同的方法和機制出發，在n型PbTe研究上實現了重大突破，極大地平衡了n型PbTe相較于p型材料性能的劣勢。 第一篇論文中，該團隊研究發現：通過InSb的復合及實驗條件的控制，有效地在PbTe基體材料中引入多相納米結構，可同時優化該材料體系的熱、電輸運性能。一方面，納米相和基體之間的能量勢壘（勢阱）可以通過能量過濾效應提高Seebeck系數，進而增強功率因子；另一方面，多重納米相的引入增強了界面處的聲子散射可降低晶格熱導率。最終，在n型PbTe-4％InSb復合材料中，獲得極高的熱電優值ZT=1.83（773 K），是目前n型PbTe材料體系中的最高值。
南方科技大學
2021-04-13
新型漿基燃料
新型漿基燃料是將具有一定粒徑分布的固體燃料以特殊工藝分散在液體中制成的一種經濟的、潔凈的、具有良好流動性和穩定性的可代替石油和天然氣的液體燃料。南京大學應用在固/液、液/液等多相體系研究方面上的最新研究成果，開發成功了以固體燃料（如煤、石油焦、瀝青等）為分散相、以水、油類（如煤焦油、重油、煤焦油等）或醇類（如甲醇等）液體為連續相的漿基燃料以滿足不同用戶的需求，解決了實現該類燃料穩定分散的助劑開發和制備工程化難題，現已研制成功了具有我國自主知識產權的高效漿基燃料專用助劑等系列產品和節能高
南京大學
2021-04-14
紙基RFID標簽
基于導電油墨、紙基襯底和高精度印刷工藝等多個方面進行研究，通過印刷可實現在紙基上制備RFID電子標簽。首先，RFID電子標簽采用印刷電子技術“增材”方式，一方面增材制造本身減少了原材料浪費，減少了因腐蝕而形成的污染排放；另一方面，印刷工藝大多沒有高溫制備環節，節省了能源，減少了碳排放。其次，印刷電子技術可以大面積與批量化制造，傳統印刷技術已經可以在數米寬的材料表面通過高速連續卷對卷方式印刷報紙或印染布匹，同樣方法也適用于印刷RFID天線，因此降低單個RFID標簽的成本。最后，RFID電子標簽基材是紙
哈爾濱工業大學
2021-04-14