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本發明公開了一種激光觸發真空開關及其觸發系統裝置。激光 觸發真空開關包括密閉殼體、第一電極主件、第二電極主件。第一電 極主件包括燃弧電極、第一電極法蘭、第一電極平臺、聚焦鏡。第二 電極主件包括燃弧電極、第二電極法蘭、第二電極平臺、靶電極。觸 發系統裝置主要包括計算機、轉換器、開關電路板、激光器和激光觸 發真空開關。激光觸發真空開關的工作電壓高達 30kV，工作電流高達 500kA，不存在以往電脈沖觸發高壓隔離困難、觸發穩定性差、使用壽 命短等問題，能有效降低激光觸發能量，改善開關器件的延時與抖動。觸

本項目研究了超材料的電磁特性、基于超材料的反向切倫科夫輻射、基于納米材料冷陰極的場發射特性以及它們在高效率、高功率和高頻率的真空電子器件中的應用。相關SCI論文共計153篇，SCIE數據庫中的他引次數為1058次，代表性論文被《自然-納米技術》、《物理評論快報》、《先進材料》等國際頂級期刊上發表的SCI論文他引157次。這些學術成果解決了真空電子器件所面臨的核心科學問題，在國際真空電子學領域產生了重大的影響。

本發明公開了一種觸發型多棒極真空觸發開關，包括密閉殼體； 密閉殼體由絕緣外殼及設置在絕緣外殼兩端的陰極法蘭和陽極法蘭構 成；密閉殼體的兩端分別設有陰極和陽極，陰極和陽極結構相同，均 包括電極底柱、電極平臺和設置于電極平臺上的多個棒狀電極，陰極 的棒狀電極與陽極的棒狀電極相向延伸且相互交錯排列，相鄰棒狀電 極的間隙寬度相等，且該間隙寬度與棒狀電極頂端到相對的電極平臺 的間隙寬度相等；陰極和陽極中分別設有陰極觸發結構和陽極觸發結 構。該開關可以保證無論主間隙的電壓為何種極性，都能夠穩定觸發， 能滿足電力

一種微機電系統的圓片級真空封裝方法，屬于微機電系統的封裝方法，解決現有封裝方法存在的問題，使得微型真空腔長時間保持真空，滿足十年以上使用壽命的要求。本發明包括：刻蝕步驟：在蓋板圓片上對應硅基片 MEMS 器件的位置刻蝕相應空間尺寸的凹坑，再環繞凹坑刻蝕環形凹槽；吸氣劑淀積步驟：在所述凹坑和凹槽內淀積吸氣劑薄膜；鍵合步驟：在真空環境下將蓋板圓片和硅基片緊密鍵合。本發明解決了現有封裝方法存在的真空保持時間短、密封質量低、可靠性差、成本高的問題，可以長時間保持微型腔體內的真空度，極大的推動圓片級 MEMS

實驗原理   金屬中存在大量的自由電子，但電子在金屬內部所具有的能量低于在外部所具有的能量，因而電子逸出金屬時需要給電子提供一定的能量，這份能量稱為電子逸出功。研究電子逸出是一項很有意義的工作，很多電子器件都與電子發射有關，因此研究這種材料的物理性質，對提高材料的性能是十分重要的。另外本實驗還可以利用磁控法測量電子荷質比，研究真空中電子能量遵從費米-狄拉克分布。   儀器概述 本實驗裝置的核心部件是一只理想（真空）二極管和套在理想二極管外的通電螺線管線圈。本實驗通過測量金屬鎢的電子逸出功，將鎢絲作為“理想”二極管陰極材料，陽極做成與陰極共軸的圓柱，把陰極發射面限制在溫度均勻的一定長度內而又可以近似的把電極看成是無限長的無邊緣效應的理想狀態。金屬電子逸出功(功函數)的測定實驗，綜合性地應用了里查遜直線測定法、外延測量法、補償測量法和磁控法等基本方法。在數據處理方面有比較好的技巧性訓練。因此，這是一個比較有意義的實驗。   儀器特點 獨立的理想真空二極管座：理想真空二極管插在獨立的管座之上，并且配有透明的亞克力保護罩，既可以直觀的觀察真空二極管的工作狀態，還可以有效地保護玻璃器件。獨立的管座上刻有清晰的實驗原理圖，可以使得學生更好的理解整個實驗原理。   精確的陽極電流測量模塊：陽極電流測量模塊采用微安級電流放大器，采用四位半數顯表，測量范圍可達0.1uA~20mA，可以準確、精細、穩定地測量到微弱的陽極電流。 穩定的陽極電壓輸出模塊：陽極電壓輸出采用線性電源，輸出幅度達到0~160.0V，可以穩定、高效地提供真空二極管的陽極電壓。 便捷的數據采集接口：每個實驗電源都配置模擬數據采集接口，可以連接電壓傳感器和PASCO數據采集軟件，可以實時地采集大量的數據來分析測試結果，方便、快捷、高效地完成實驗內容。   實驗內容及典型數據 實驗一：金屬電子逸出功的測定 表1：在不同陽極電壓和燈絲溫度下的陽極電流及其對數值，作　lgIa～√Ua 圖，得到不同溫度下的截距　lgI 填入表2。     表2: 在不同溫度T時所算得的　lg( I / T2) 和　1/T　的值 根據表2作 lg( I / T2) ～1/T 圖，求直線斜率 m 直線斜率：m = -22802 逸出電勢: φ = 4.53 (V) 逸出功（功函數）eφ = 4.53 eV 與逸出功（功函數）公認值　eφ=4.54eV　相比的相對誤差：Er = 0.33%   實驗二：電子在徑向電場和軸向磁場中的運動（磁控法測量電子荷質比）   實驗三：費米-狄拉克分布的研究     實驗四：理想真空二極管的伏安特性   部件清單 金屬電子逸出功實驗儀   BEM-5715    可調直流 (恒壓恒流) 電源I，12V/1A   BEM-5055    理想真空二極管盒   BEM-5716    螺線管線圈   BC-105236    連接導線，2mm護套香蕉插頭，紅   BC-105238   【2】 連接導線，2mm護套香蕉插頭，黑   BC-105239   【2】 連接導線，4mm香蕉插頭，紅   BC-105084    連接導線，4mm香蕉插頭，黑   BC-105083    連接導線,4mm護套香蕉插頭1m, 紅   BC-105074    連接導線,4mm護套香蕉插頭1m, 黑   BC-105073    電源線   BC-105075    用戶手冊   CD-M-BEX-8510B  

硅溶膠是一種由納米級的二氧化硅（SiO2?）顆粒均勻分散在水或有機溶劑中形成的膠體溶液。 硅溶膠因其獨特的性能，在多個領域有著廣泛的應用： 耐火材料：硅溶膠具有強大的粘結力和耐高溫特性（可達1500°C至1600°C），是制作耐火材料的理想選擇。它可以用作硅酸鹽耐火纖維、耐火保溫磚和耐酸堿水泥的粘結劑。 涂料工業：在涂料中添加硅溶膠，可以增強涂料的牢固性、抗污性、防塵性、耐老化和防火性能。硅溶膠涂料適用于內外墻、防火涂料以及鋼鐵工業中的絕緣填充涂料。 薄殼精密鑄造：硅溶膠在薄殼精密鑄造中作為造型材料，能夠顯著提高殼型的強度和鑄造光潔度，改善操作條件并降低成本。 催化劑制造：硅溶膠具有較高的比表面積和優良的吸附性能，適合用作石油化工催化劑的載體。 造紙工業：硅溶膠可用作玻璃紙防粘劑、照相用紙前處理劑和水泥袋防滑劑。 紡織工業：硅溶膠可以用作上漿劑，與油劑并用處理羊毛、兔毛等纖維，提高可紡性，減少斷頭，防止飛花。 其他應用：硅溶膠還用于電子工業中的化學機械拋光技術、彩色顯像管制造中的分散劑和粘結劑、矽鋼片處理、地板蠟抗滑劑等領域。此外，硅溶膠還具有良好的吸附性能，可用作米酒、醬油、果汁等的澄清劑。 性能優勢 高分散性和穩定性：硅溶膠中的二氧化硅顆粒非常小，具有良好的分散性和穩定性，不易聚沉。 優良的粘結性：硅溶膠能夠牢固地附著在固體表面，形成堅固的膜層，無需額外固化劑。 耐高溫性：硅溶膠具有很高的耐高溫性能，適合在高溫環境下使用。 環保性：硅溶膠無毒、無味、無污染，符合現代工業對環保材料的要求。

該裝置克服現有太陽能集熱裝置不能實現與建筑物的真正集成和一體化，既無法做到有效的防風、防雷，容易造成安全隱患，更難以提高建筑圍護結構的保溫、隔熱水平。使該裝置不但使其在外觀上實現與建筑一體化，而且在功能上也實現與建筑的一體化，在高效集熱的同時，對建筑具有保溫隔熱作用。所適用的建筑圍護  結構類型可以是外墻面或者屋頂，集熱裝置既可為單個的太陽能集熱模塊，也可為多個太陽能集熱模塊組成的集熱器陣列。 本裝置的優點是： 1.現了集熱器與建筑集成，不但實現了外觀上的一體化，而且實現了功能上的一體化。 2.高建筑圍護結構的冬季保溫水平和夏季的隔熱水平。 3.護建筑表面，建筑圍護結構不與外界環境直接接觸，減少太陽能輻射對墻體的照射以及風雨的侵蝕，建筑外表面的溫度和濕度變化大大減小，可大幅提高建筑構件的使用壽命。 4.高太陽能集熱效率，腔室內空氣溫度在冬季高于環境溫度，集熱裝置熱損失將有所減少，效率有所提高。 本裝置所適用的建筑圍護結構類型既可以是外墻，包括直立或者傾斜墻面、陽臺護欄墻，也可以是屋頂，包括平屋頂或者坡屋頂等；既可以應用于新建建筑中，也可直接應用于既有建筑的墻體或者屋頂節能改造，在添加太陽能熱水系統的同時，完成節能改造。

一種微機電系統的圓片級真空封裝工藝，屬于微機電系統的封裝方法，解決現有基于薄膜淀積真空封裝工藝所存在的淀積薄膜較薄、腔體小，容易損壞，以及封裝器件存在真空泄露、使用壽命降低的問題。本發明順序包括：淀積吸氣劑步驟；淀積薄犧牲層步驟；淀積緩沖腔犧牲層步驟；淀積厚犧牲層步驟；制作封裝蓋步驟；刻蝕釋放孔步驟；去除犧牲層步驟和密封步驟。本發明解決了現有封裝方法存在的真空保持時間短，密封質量低，封裝尺寸大，工藝與標準 IC 工藝不兼容，成本高的問題，從而保證最里面的腔體氣壓；同時成本少于基于圓片鍵合工藝的真空封