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便攜式小型化激光準直儀
本測量儀器適用于對大型工件的各種形狀位置誤差（如直線度、同軸度等）進行測量，也同樣適用于為大型裝配與調整提供測量基準。測量原理為：角錐棱鏡沿被測表面移動時，被測表面的直線度誤差使角錐棱鏡與激光光束之間產生相對移動，從而使光束照射到接收裝置的位置發生變化，通過誤差評定軟件，得到直線度誤差。采用光纖準直和移動靶鏡無電纜連接是本測量儀的顯著特點。
北京交通大學
2021-04-13
基于轉印激光刻蝕石墨烯的耐用可降解柔性應變傳感器
成果介紹一種高性能石墨烯柔性電子皮膚，該電子皮膚結合了一種具備脫水性的商業化妝品膠體以及可編程的激光刻寫石墨烯，在無毒、環保、可大量印刷的制備加工工藝下，具有輕薄、貼合皮膚、可降解、高耐用性的特性，實現了高于500的應變系數、大于75[[[%]]]的拉伸范圍以及穩定的電阻變化能力。該柔性表皮壓阻式傳感器可應用在生命體征監測、人機交互等領域中，目前已經將其初步應用在手勢識別之中，并做出了一系列人機交互應用。技術創新點及參數采用綠色環保的新工藝，解決了傳統激光刻寫石墨烯脆弱的問題，實現了可編程激光刻寫石墨烯的耐摩擦性、耐用性改善，且傳感器可降解回收利用。
東南大學
2021-04-13
【人民網】直擊高博會開幕首日：前沿科技與教育創新的精彩碰撞
第63屆高等教育博覽會在長春開幕。本屆高博會以“融合·創新·引領：服務高等教育強國建設”為主題，吸引了近700家知名企業和1000余所高校參會。
云上高博會
2025-05-23
直聯泵(直聯高速旋片式真空泵)
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
秸稈直燃鍋爐
本產品主要應用于秸稈直燃發電廠。生物質能已成為世界上僅次于煤炭、石油和天然氣的第四大能源。在我國，生物質特別是秸稈發電技術得到了廣泛重視，目前已有30多個生物質發電項目獲核準，到2020年，我國將建成約3000萬千瓦的生物質發電能力。
東南大學
2021-04-10
一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直方法
本發明公開了一種測量激光光束質量的裝置、方法及光路準直 方法，解決了現有激光光束質量測量系統放置激光器后需要花費大量 時間進行手動準直的問題。本發明包括激光器，第一衰減片，第二衰 減片，全反射棱鏡，反射鏡，圖像采集模塊，光束傳輸距離調節模塊， 光束傳輸角度調節模塊，數據處理模塊。本發明通過光束傳輸距離調 節模塊和數據處理模塊測量出不同光束傳輸距離下的光斑中心位置計 算出光束偏離角度，從而通過光束傳輸角度調節模塊對激光
華中科技大學
2021-04-14
壓印法集成電路光刻技術
本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術)生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步
西安交通大學
2021-01-12
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用 于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中 循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩 定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部 回流結構與多級熱交換器相結合，實現對浸液溫度的多級控制，可以 實現浸沒光刻中對浸液穩定的精確穩定的控制，提供溫控效率。
華中科技大學
2021-04-11
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表 征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩 模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網 格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-11
微納米壓印光刻工藝及裝備
微納米結構成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統光學光刻中光學衍射效應的限制，是一種經濟、高效、高分辨的結構成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導自組裝納米成形、電潤濕驅動納米壓印等。 正在探討壓印光刻的應用領域包括：集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、生物微流控、光波導、光或磁存儲、有機光電子、平板顯示等器件的制造。
西安交通大學
2021-04-11