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一種硅通孔互連結(jié)構(gòu)的制備方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種硅通孔互連結(jié)構(gòu)的制備方法，步驟為①將鍵合硅器件晶圓鍵合于硅晶圓基板上；②減薄硅器件晶圓，再刻蝕硅器件晶圓，形成盲孔；③在硅器件晶圓上涂敷一層圖案化介電材料(如聚對(duì)二甲苯)；④刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁；在基板上形成介電質(zhì)孔，使介電質(zhì)孔和盲孔同軸；⑤在介電質(zhì)孔上沉積一層導(dǎo)電材料，作為導(dǎo)電層，形成導(dǎo)電孔；⑥在導(dǎo)電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層；⑦移除基板，在導(dǎo)電層上形成焊料微凸點(diǎn)。本發(fā)明簡(jiǎn)化了工藝步驟，減少工藝時(shí)間并降低了費(fèi)用；降低了寄生電容，提升了互連電性
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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一種新型彈性脹縮式內(nèi)孔夾緊裝置
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型彈性脹縮式內(nèi)孔夾緊裝置，包括貫穿有推桿的氣缸，所述氣缸缸頭設(shè)置 有與推桿配合的伸縮爪，所述氣缸內(nèi)設(shè)置有第一活塞和第二活塞，第一活塞和第二活塞將氣缸內(nèi)腔分為 前腔室，中腔室，后腔室，其中前腔室位于氣缸頭部，所述前腔室和后腔室均與大氣連通;所述推桿前 端沿軸線設(shè)置有多段上小下大的棱臺(tái)狀斜面，中部與第二活塞固定，尾端設(shè)置有與大氣壓連通的第二氣 口，所述第二氣口與中腔室連通;所述述
武漢大學(xué)
2021-04-14
一種單缸雙活塞內(nèi)孔用機(jī)械手
本發(fā)明提供一種單缸雙活塞內(nèi)孔用機(jī)械手，包括氣缸、一級(jí)活塞(21)、二級(jí)活塞(22)和彈簧卡 爪(3)，所述的氣缸包括缸體(11)、設(shè)置在氣缸下端的端蓋(12)和設(shè)置在缸體內(nèi)壁的活塞導(dǎo)向套(13)， 所述的一級(jí)活塞(21)設(shè)置在缸體中部，所述的二級(jí)活塞(22)設(shè)置在缸體(11)下部，二級(jí)活塞(22) 上下端均設(shè)有活塞桿;本發(fā)明的氣缸結(jié)構(gòu)中，將傳統(tǒng)的兩級(jí)氣缸結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化為單缸雙活塞結(jié)構(gòu)，兩個(gè)活塞 將氣缸腔
武漢大學(xué)
2021-04-14
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金屬薄板海量群孔/群坑高效加工技術(shù)
成果簡(jiǎn)介在 21 世紀(jì)的航空航天、 電子、 儀器、 紡織、 印刷、 醫(yī)療器械和汽車(chē)等工業(yè)領(lǐng)域中， 以微小群孔/群坑為關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的零部件使用越來(lái)越廣泛， 例如光纖連接器、 噴絲板、 電子顯微光柵、 微噴嘴、 過(guò)濾網(wǎng)、 冷氣導(dǎo)管、 印刷電路板、 摩擦副表面用于減磨的微細(xì)群坑結(jié)構(gòu)等。 目前， 加工微小群孔的方法主要有： 機(jī)械加工、激光加工、 電火花加工、 掩膜電解加工和電子束加工。 但這些加工方式或多或少均存在著一些問(wèn)題， 機(jī)械加工易產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力和毛刺； 激光加工效率高， 但其加工后的孔壁有再鑄
安徽工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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鋼質(zhì)深孔零件溫 (熱)擠壓工藝及應(yīng)用
技術(shù)原理及特點(diǎn) ：本研究的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)椴牧霞庸すこ蹋貏e是鋼制件 的塑性加工。本研究針對(duì)鑿巖機(jī)產(chǎn)品中同類零件最復(fù)雜的 “轉(zhuǎn)動(dòng)筒套體 ”， 從正、反擠壓 2 方面開(kāi)展了工藝試驗(yàn)與應(yīng)用研究，成功開(kāi)發(fā)了 “轉(zhuǎn)動(dòng)筒套 體”熱擠壓工藝。 本研究設(shè)計(jì)應(yīng)用了一種 “分步脫模 ”機(jī)構(gòu)，解決了經(jīng)典的正擠壓模具結(jié) 構(gòu)存在的制件脫模難這一關(guān)鍵問(wèn)題，正擠壓分步脫模法為國(guó)內(nèi)首創(chuàng)。 本研究在江西省內(nèi)和鑿巖機(jī)行業(yè)同類零件
南昌大學(xué)
2021-04-14
一種單楔式內(nèi)孔抓緊機(jī)械手
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單楔式內(nèi)孔抓緊機(jī)械手，包括氣缸和卡爪，氣缸內(nèi)設(shè)有第一活塞和第二活塞 將氣缸內(nèi)分為前腔室、中腔室和后腔室三個(gè)腔室，前腔室、中腔室和后腔室分別設(shè)有可通氣的第一氣口、 第二氣口和第三氣口，第一活塞和第二活塞之間的氣缸內(nèi)壁上設(shè)有限位塊，第一活塞上設(shè)有可從氣缸頂 部開(kāi)口伸出的卡爪，第二活塞上設(shè)有可自由穿過(guò)第一活塞且從卡爪內(nèi)伸出的活塞桿，活塞桿頂部設(shè)有棱 臺(tái)，卡爪頂部設(shè)有彈性爪，彈性爪和棱
武漢大學(xué)
2021-04-14
不銹鋼玻璃儀器氣流烘干器30孔
產(chǎn)品詳細(xì)介紹玻璃儀器氣流烘干器是使用玻璃儀器的各類實(shí)驗(yàn)室、化驗(yàn)室干燥玻璃儀器的適用設(shè)備。填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，它具有快速、節(jié)能、無(wú)水漬、使用方便、維修簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn).該烘干器分B、C型二種型號(hào)。B型為改進(jìn)新型，有調(diào)溫自動(dòng)控制裝置(可調(diào)溫40-120℃)，C型為全不銹鋼調(diào)溫型。 規(guī)格： (1)12孔 20孔 30孔可依需要任意選擇。 (2)標(biāo)準(zhǔn)管、異形管，粗細(xì)長(zhǎng)度不等，還可根據(jù)需要另訂制作。 序號(hào) NO. 規(guī)格 型號(hào) Type 實(shí)用范圍 Range 風(fēng)管尺寸 Air duct Dementions 調(diào)整范圍 Adjustable range 機(jī)型尺寸 Machine Dimension (mm) 重量 Weight Kg 功率 Power 工作電源 Working Pressure 長(zhǎng)度 Length 數(shù)量 溫度 Temp. 精度 Precision W V/HZ (mm) Q ℃ ℃ 1 B 800 ～220/50 170/200 12 20 30 40/120 ±5 400×40 7 8 2 C
鞏義市科華儀器有限公司
2021-08-23
一種整體葉輪粗加工周向定切寬走刀路徑的規(guī)劃方法
本發(fā)明公開(kāi)了一種整體葉輪粗加工周向定切寬走刀路徑的規(guī)劃 方法，包括步驟:生成軸向切削刀路的刀路源文件，并解析各刀位點(diǎn) 的位置坐標(biāo)和刀軸矢量;根據(jù)軸向切寬δ等分軸向切削刀路;在軸向 切削刀路上對(duì)應(yīng)的等分刀位點(diǎn)之間插補(bǔ)周向切削刀路;計(jì)算各周向切 削刀路的刀位點(diǎn)前傾角趨勢(shì)，并以此確定進(jìn)刀點(diǎn)和退刀點(diǎn);插入各周向切削刀路的下刀點(diǎn)和抬刀點(diǎn);在各相鄰周向切削刀路之間插補(bǔ)連接 刀路;按切削順序連接軸向切削刀路和各周向切削刀路，獲得完整的 走刀路徑。采用本發(fā)明的規(guī)劃方法獲得的整體葉輪粗加工走刀路徑， 避免了刀路冗余現(xiàn)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種基于定焦數(shù)碼相機(jī)的旋轉(zhuǎn)全景攝影測(cè)量方法和裝置
本發(fā)明提出了一種基于定焦數(shù)碼相機(jī)的旋轉(zhuǎn)全景攝影測(cè)量方法和裝置，當(dāng)難以在被測(cè)物體上或周?chē)荚O(shè) 控制點(diǎn)，但可以在其它位置或被測(cè)物對(duì)面布設(shè)控制點(diǎn)的情況下，利用少量控制點(diǎn)，可解算被測(cè)點(diǎn)的物方坐標(biāo)， 是解決現(xiàn)實(shí)場(chǎng)景中相機(jī)視場(chǎng)角小、控制點(diǎn)稀少難題的技術(shù)方案，是在困難場(chǎng)景進(jìn)行近景攝影測(cè)量的一種有效 的手段；本發(fā)明設(shè)備簡(jiǎn)單、成本較低，能夠解決實(shí)際工作中控制點(diǎn)稀少時(shí)的攝影測(cè)量問(wèn)題。
武漢大學(xué)
2021-04-14
人才需求：對(duì)高分子化學(xué)有一定的理論基礎(chǔ)
對(duì)高分子化學(xué)有一定的理論基礎(chǔ)
煙臺(tái)永盛金屬涂印有限公司
2021-08-31