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“雙一流”建設(shè)與教育學(xué)一流學(xué)科建設(shè)高端論壇召開
為加快推進(jìn)“雙一流”建設(shè)，落實立德樹人根本任務(wù)，培養(yǎng)一流人才，服務(wù)國家戰(zhàn)略需求，4月9日，“‘雙一流’建設(shè)與教育學(xué)一流學(xué)科建設(shè)高端論壇”以線上線下相結(jié)合的方式在廈門召開。
中國高等教育學(xué)會
2022-04-11
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半導(dǎo)體設(shè)備超潔凈流控系統(tǒng)及其受制約流控零部件
浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)
一、項目分類
關(guān)鍵核心技術(shù)突破
二、技術(shù)分析
如何通過超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險。浙江大學(xué)流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點實驗室啟爾團(tuán)隊所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺核心超潔凈流控零部件實現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國外技術(shù)的封鎖，為我國半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。
浙江大學(xué)
2022-07-22
無泵噴射式制冷機(jī)
本發(fā)明公開了一種無泵噴射式制冷機(jī)，包括：發(fā)生器、第一噴射器、冷凝器、節(jié)流元件、蒸發(fā)器、三通閥、第一儲液罐和第一單向閥，第一噴射器依次與冷凝器、節(jié)流元件、蒸發(fā)器串聯(lián)構(gòu)成回路；三通閥依次與第一儲液罐、單向閥、發(fā)生器串聯(lián)構(gòu)成回路；發(fā)生器與第一噴射器之間設(shè)有連通的管路；冷凝器與三通閥之間設(shè)有連通的管路。本發(fā)明突破傳統(tǒng)思路的束縛，利用三通閥的切換實現(xiàn)了從低壓的冷凝器向高壓的發(fā)生器輸送流體，取代了傳統(tǒng)循環(huán)中的循環(huán)泵，提出一種無泵噴射式制冷機(jī)，另外利用本發(fā)明可用于改進(jìn)各種現(xiàn)有噴射式制冷機(jī)。
浙江大學(xué)
2021-04-11
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一種軸向柱塞式電機(jī)泵
一種軸向柱塞式電機(jī)泵，屬于液壓動力源中的軸向柱塞泵，解 決現(xiàn)有軸向柱塞電機(jī)泵徑向尺寸較大、錐形配流閥工作中產(chǎn)生劇烈振 動和噪聲的問題。本發(fā)明包括殼體、左端蓋、右端蓋、左斜盤、右斜 盤、電機(jī)定子、電機(jī)轉(zhuǎn)子、缸體軸，缸體軸左端、右端分別開有軸向 的吸入孔道和排出孔道，缸體軸軸向開有 N 個沿圓周均勻分布的柱塞 通孔，各柱塞通孔中均裝有柱塞組件，徑向開有 N 個均勻分布的吸入 閥座孔和 N 個均勻分布的壓出閥座孔，各吸入閥座孔中和壓出閥座孔 中分別均裝有吸入閥組件及壓出閥組件，形成 N 個相同的吸入閥和壓 出閥。本發(fā)明結(jié)構(gòu)更加緊湊、輕巧，功率密度高，工作噪聲低，工作介質(zhì)可為油、水或其他液體介質(zhì)，可以提高閥配流柱塞泵的工作轉(zhuǎn)速。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
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乳化液泵數(shù)字監(jiān)護(hù)儀
乳化液泵站是井下綜合采煤工作面支護(hù)設(shè)備的動力源泉，其工作狀態(tài)好壞與安全生產(chǎn)密切相關(guān)。要實現(xiàn)煤礦井下安全作業(yè)，提高采煤工作效率，防止出現(xiàn)重大設(shè)備安全事故，保障乳化液泵站井下安全運(yùn)行是十分必要的一個環(huán)節(jié)。乳化液泵數(shù)字監(jiān)護(hù)儀設(shè)計目標(biāo)就是采用現(xiàn)代高科技的智能機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)， 實現(xiàn)井下乳化液泵站全天候安全運(yùn)行和無人自動監(jiān)測，在異常情況兆頭出現(xiàn)時實時聲光報警，提醒用戶處理，防止出現(xiàn)事故。在出現(xiàn)事故時候能自動保護(hù)如停機(jī)等，以防止事故擴(kuò)大。
西南交通大學(xué)
2021-04-13
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大型挖泥船泥泵開發(fā)技術(shù)
泥泵是挖泥船的核心設(shè)備之一，長期以來集裝艙、吹岸、艏噴等多種功能的超大型耙吸挖泥船泥泵的生產(chǎn)由少數(shù)發(fā)達(dá)國家所壟斷。本項目瞄準(zhǔn)國際先進(jìn)技術(shù)，針對疏浚市場的迫切需求，中交天津航道局主持、多家單位聯(lián)合技術(shù)攻關(guān)，創(chuàng)建了泥泵現(xiàn)代化的設(shè)計平臺, 攻克了國產(chǎn)泥泵效率低、可靠性差、耐磨材料性能低下、制造難度大和國內(nèi)無超大型耙吸挖泥船泥泵設(shè)計制作標(biāo)準(zhǔn)等諸多難題，自主設(shè)計、制造了國內(nèi)第一臺具有國際先進(jìn)水平的國產(chǎn)超大型耙吸挖泥船泥泵。項目成果獲“中國水運(yùn)建設(shè)行業(yè)協(xié)會科技進(jìn)步一等獎”和“天津市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎”。 本項目
河海大學(xué)
2021-04-14
一種軸向柱塞式電機(jī)泵
一種軸向柱塞式電機(jī)泵，屬于液壓動力源中的軸向柱塞泵，解決現(xiàn)有軸向柱塞電機(jī)泵徑向尺寸較大、錐形配流閥工作中產(chǎn)生劇烈振動和噪聲的問題。本發(fā)明包括殼體、左端蓋、右端蓋、左斜盤、右斜盤、電機(jī)定子、電機(jī)轉(zhuǎn)子、缸體軸，缸體軸左端、右端分別開有軸向的吸入孔道和排出孔道，缸體軸軸向開有 N 個沿圓周均勻分布的柱塞通孔，各柱塞通孔中均裝有柱塞組件，徑向開有 N 個均勻分布的吸入閥座孔和 N 個均勻分布的壓出閥座孔，各吸入閥座孔中和壓出閥座孔中分別均裝有吸入閥組件及壓出閥組件，形成 N 個相同的吸入閥和壓出閥。本發(fā)明結(jié)
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種水潤滑柱塞泵
本發(fā)明公開了一種水潤滑柱塞泵，包括殼體、左端蓋、右端蓋、 凸輪軸、配流閥塊、柱塞滑靴組件、壓縮彈簧和配流閥，殼體上安裝 左端蓋和所述右端蓋；凸輪軸的安裝在左端蓋和右端蓋上；配流閥塊 固定安裝在殼體上，其上設(shè)置有進(jìn)流通道、出流通道和柱塞腔；柱塞 滑靴組件設(shè)置于柱塞腔處并伸入所述殼體內(nèi)，其包括柱塞和滑靴；壓 縮彈簧豎直設(shè)置于配流閥塊內(nèi)；配流閥塊在對應(yīng)于柱塞滑靴組件的位 置設(shè)置配流閥。本發(fā)明可以利用水作為介質(zhì)進(jìn)行動靜壓混合支撐，動 靜壓混合支撐具有回轉(zhuǎn)精度高、速度和載荷范圍廣、摩擦阻力及功耗 小等優(yōu)點，解
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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大型軸流泵的研發(fā)及應(yīng)用
針對軸流泵靜止外殼壁面上的環(huán)狀邊界層、轉(zhuǎn)動葉片表面上的邊界層
西華大學(xué)
2021-04-14
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新型高效無堵塞低濃度紙漿泵
項目簡介 基于泵內(nèi)紙漿懸浮液兩相流模擬計算，結(jié)合國外先進(jìn)泵類產(chǎn)品，面向我國制漿造紙 行業(yè)用泵需求，開發(fā)出新一代新型高效無堵塞低濃度紙漿泵系列產(chǎn)品。結(jié)構(gòu)簡單可靠、 維修方便。 性能指標(biāo) 流量：15～2500m3 /h 揚(yáng)程：6～90m 紙漿濃度：≤6% 工作溫度：≤120°C 效率：達(dá)到國際先進(jìn)水平 適用范圍、市場前景 適用于抽送具有一定粘度、雜質(zhì)，空氣含量小于 20%的介質(zhì)，可應(yīng)用于紙漿造紙，制168 糖淀粉，化工原料、市政污水等領(lǐng)域。 投資概算 投資條件：
江蘇大學(xué)
2021-04-14