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智能加工技術(shù)可以提高傳統(tǒng)機械加工設(shè)備的適用壽命、加工效率和產(chǎn)品質(zhì)量。為此，本項目為了保     證機械加工零件的加工精度和零件機械性能，利用壓電驅(qū)動技術(shù)和柔性鉸鏈技術(shù)設(shè)計三自由度的智能柔     度可控精密工作臺，通過主動在線監(jiān)測切削  / 磨削力調(diào)整工作臺三個自由度方向的柔度，補償加工工藝系統(tǒng)因彈性變形導(dǎo)致的加工誤差；利用多傳感器信息融合對加工過程進行智能監(jiān)控，快速判別加工異常  狀態(tài)，保證加工過程平穩(wěn)運行和提高機床使用壽命；利用阻尼減振技術(shù)提高切削加工系統(tǒng)抗振性能，降  低動態(tài)切削力以保證零件加工表面質(zhì)量；建立數(shù)字化加工車間質(zhì)量及加工設(shè)備運行狀態(tài)網(wǎng)絡(luò)智能監(jiān)控系 統(tǒng)，實現(xiàn)設(shè)備狀態(tài)和產(chǎn)品質(zhì)量信息的有效融合，保證設(shè)備使用率和產(chǎn)品質(zhì)量。

拋光是一種常見的表面加工技術(shù)，主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層，最終獲得光滑且無損傷的高質(zhì)量表面。無論是日常生活中的消費用品還是制造技術(shù)高度集成的半導(dǎo)體芯片，拋光加工都是保證表面質(zhì)量不可或缺的技術(shù)手段。近年來，在金屬材料超精密加工領(lǐng)域，具有復(fù)雜外形和內(nèi)腔的金屬零件的拋光一直是工業(yè)界所面臨的技術(shù)難題。傳統(tǒng)的諸如化學(xué)機械拋光、激光拋光以及磁流變拋光

1) 管材內(nèi)表面激光強化處理系統(tǒng) 該系統(tǒng)采用YAG固體激光器，采用光纖導(dǎo)光，由于金屬材料對YAG激光的吸收率約為50～60%，所以泵筒不需要進行黑化處理，可直接進行激光淬火。采用管道機器人作為淬火執(zhí)行裝置，用工控機控制系統(tǒng)的運行，使系統(tǒng)具有很好的靈活性和實用性，而且造價低，使用方便，不受管長的限制。該系統(tǒng)獲國家科技進步三等獎。

“高速精密臥式加工中心”是先進制造業(yè)的關(guān)鍵裝備，可實現(xiàn)工件一次裝夾五面加工。工信部“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備”科技重大專項——列有“高速、精密臥式加工中心”課題予以重點支持，其精密主軸結(jié)構(gòu)設(shè)計、精密回轉(zhuǎn)工作臺結(jié)構(gòu)設(shè)計，精密拖動機構(gòu)設(shè)計技術(shù)，整機結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計是本課題的關(guān)鍵技術(shù)。本項目首臺樣機，參展了第 11 屆上海國際機床展。項目通過了上海市經(jīng)濟和信息化委主持的專家組驗收。一項創(chuàng)新技術(shù)“臥式加工中心的靜剛度測試法”獲國家知識產(chǎn)權(quán)局授予的發(fā)明專利。 

團隊利用單點超精密五軸金剛石車床(Nanotech 350FG)開展相關(guān)研究，解 決了高精度大尺寸光學(xué)元件的加工問題，提出了刀具補償技術(shù)、大口徑鏡片去應(yīng) 力技術(shù)和高精度自由曲面加工技術(shù)。基于這三項技術(shù)，團隊開發(fā)的自由曲面反射 鏡和魚眼透鏡，已經(jīng)為深圳與宜興的光學(xué)公司制備短焦投影儀用核心元器件，面 型精度均優(yōu)于 0.5 微米以下，粗糙度優(yōu)于 8 納米。自由曲面反射鏡和魚眼透鏡的 配合，在保證圖像質(zhì)量的同時，實現(xiàn)了短焦距和高投射比。團隊研發(fā)的自由曲面 反射鏡，雙自由曲面反射鏡，窄邊平面反射鏡及凸面反射鏡

XK-L650數(shù)控銑床是高精度、高剛度、高可靠性的新一代生產(chǎn)型數(shù)控機床，由我公司與機床公司合作生產(chǎn)，主機結(jié)構(gòu)合理可靠，制作精良。 能自動進行各種鉆、銑、鏜、鉸、攻絲等工序加工，支持CAD/CAM功能，完成復(fù)雜板類、箱體類零件、特別是模具的加工。

MCV380-5加工中心是高精度、高剛度、高可靠性、高性能價格比的新一代生產(chǎn)型數(shù)控機床，由我公司與機床公司合作生產(chǎn)，主機結(jié)構(gòu)合理可靠，制作精良。 能自動進行各種鉆、銑、鏜、鉸、攻絲等工序加工，支持CAD/CAM功能，完成復(fù)雜板類、箱體類零件、特別是模具的加工。

VMC300小型五軸數(shù)控加工中心 顯著特點 1、 使用220伏電壓，占地小，耗電少，采用全封閉安全設(shè)計結(jié)構(gòu)，提高觀摩安全性的同時又保障機器的結(jié)構(gòu)穩(wěn)固性美觀； 2、高強度樹脂砂鑄件，功能加大，5軸聯(lián)動，配置YORNEW M5五軸聯(lián)動數(shù)控系統(tǒng)，適用國際通用程序，故障自動檢測報警功能、斷電記憶功能； 3、配置精密高速主軸單元100-24000rpm，變頻G指令控制主軸轉(zhuǎn)速，主軸電機功率1.5Kw； 4、配置10工位斗笠式刀庫，使用氣壓0.6 Mpa，可極大提高復(fù)雜產(chǎn)品的加工效率及加工精度； 5、采用C3級精密雙螺母滾珠絲桿,經(jīng)中周波熱處理及精密研磨，各軸施以預(yù)拉減少熱變形，定位及重覆精度高； 6、XYZAC軸采用伺服電機，最快移動速度8000mm/min； 7、機器采用雷尼紹激光干涉儀精確檢測，確保各軸精度背隙,保證定位精度； 8、帶工冷冷卻系統(tǒng)，配有5軸電子手脈三檔可調(diào)極大地方便操作和對刀，機器配置有自動間歇潤滑系統(tǒng)； 9、配有移動腳輪和水平腳墊，方便設(shè)備的移動與定位；   適用行業(yè)：小零件加工、模具廠、印刷機械廠、機械配件廠、首飾加工廠、職業(yè)數(shù)控教學(xué)、科研開發(fā)等。   技術(shù)參數(shù) 重復(fù)定位精度：0.02mm 系統(tǒng)分辨率：0.001mm 錐孔跳動精度：2um 最大鉆孔直徑：13mm 最大銑削直徑：13mm 工作臺：450×160mm X\Y\Z軸行程：300\175\270mm A軸行程：+30~-120度 C軸行程：360度 刀庫：斗笠式10工位 軸聯(lián)動性：5軸聯(lián)動 數(shù)控系統(tǒng)：YORNEW M5五軸數(shù)控系統(tǒng)(可選配華中數(shù)控系統(tǒng)) 最快移動速度：8000mm/min 最快切削進給：1-4000mm/min 電子手脈：5軸三檔可調(diào) 主軸端部至工作臺面距離：320mm 工作臺面距地面高度：780mm 工作臺 T 型槽尺寸 ：12 mm 工作臺 T 型槽個數(shù)：3 主軸轉(zhuǎn)速：100-24000 轉(zhuǎn)/分鐘 主軸電機功率：1.5 KW 指令編程格式：全面兼容國際標(biāo)準(zhǔn)G代碼和多種CAM軟件（MasterCAM，UG等） 使用氣壓：0.6Mpa 工件冷卻方式：水冷循環(huán) 潤滑系統(tǒng)：自動潤滑系統(tǒng) 使用電源：AC220V/50Hz 外形尺寸：1360× 990 ×1800 mm 重量：500 kg

超高純氨是LED行業(yè)、微電子行業(yè)中重要的原料氣體，主要應(yīng)用于金屬有機化學(xué)淀積法(MOCVD)制造外延芯片或氮化硅薄膜。過量的水分會嚴(yán)重影響工藝產(chǎn)率和產(chǎn)品質(zhì)量。氨氣中痕量水分析是氣體分析領(lǐng)域的難點之一，目前國內(nèi)外可以穩(wěn)定、準(zhǔn)確測量超高純氨氣中痕量水的方法只有光腔衰蕩法、紅外光譜吸收法和熱分解露點法。國標(biāo)中已將熱分解露點法列為檢測高純氨氣中痕量水分的方法，但國內(nèi)目前采用該種測定方法的單位為零，而且對熱分解露點法的研究也鮮有報道。本技術(shù)主要通過改進熱分解露點法可以穩(wěn)定、準(zhǔn)確、快速的測量超高純氨氣中痕量水分。本技術(shù)主要設(shè)計、制作出氣密性良好的超高純氨進樣器、氨分解反應(yīng)槽、熱分解露點裝置。制作了氨分解催化劑d并考察了分解槽溫度、氣體流速對所選用的四種氨分解催化劑在測試中的水分基線的影響及分解槽溫度、氣體流量對氨分解率的影響，篩選出最適合的氨分解催化劑d用以測量超高純氨中痕量水。采用熱分解露點裝置分析高純氮氣中痕量水、超高純氨氣中痕量水，并用配有氦離子放電檢測器的氣相色譜檢測超高純氨中的痕量氧，折算出超高純氨中痕量水。與光腔衰蕩法、紅外吸收光譜法測試結(jié)果的比對分析證明熱分解露點法測試值準(zhǔn)確度較高，成本低，可用以分析超高純氨氣中痕量水分，最低檢測限約80ppb。考查了氨分解溫度、氣體流量對高純氨中痕量水分析的影響，從而確定熱分解露點裝置最佳工作條件。考查了變壓置換、變流置換對縮短測試時間的影響，采用新的置換方式的測試時間是只平速吹掃所用時間的一半。比對了不同冷源的精密露點儀通過熱分解露點裝置測試高純氮氣、高純氫氣、超高純氨氣的檢測限，制冷機為冷源的精密露點儀檢測限最低。