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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

超高純氨是LED行業(yè)、微電子行業(yè)中重要的原料氣體，主要應(yīng)用于金屬有機(jī)化學(xué)淀積法(MOCVD)制造外延芯片或氮化硅薄膜。過(guò)量的水分會(huì)嚴(yán)重影響工藝產(chǎn)率和產(chǎn)品質(zhì)量。氨氣中痕量水分析是氣體分析領(lǐng)域的難點(diǎn)之一，目前國(guó)內(nèi)外可以穩(wěn)定、準(zhǔn)確測(cè)量超高純氨氣中痕量水的方法只有光腔衰蕩法、紅外光譜吸收法和熱分解露點(diǎn)法。國(guó)標(biāo)中已將熱分解露點(diǎn)法列為檢測(cè)高純氨氣中痕量水分的方法，但國(guó)內(nèi)目前采用該種測(cè)定方法的單位為零，而且對(duì)熱分解露點(diǎn)法的研究也鮮有報(bào)道。本技術(shù)主要通過(guò)改進(jìn)熱分解露點(diǎn)法可以穩(wěn)定、準(zhǔn)確、快速的測(cè)量超高純氨氣中痕量水分。本技術(shù)主要設(shè)計(jì)、制作出氣密性良好的超高純氨進(jìn)樣器、氨分解反應(yīng)槽、熱分解露點(diǎn)裝置。制作了氨分解催化劑d并考察了分解槽溫度、氣體流速對(duì)所選用的四種氨分解催化劑在測(cè)試中的水分基線的影響及分解槽溫度、氣體流量對(duì)氨分解率的影響，篩選出最適合的氨分解催化劑d用以測(cè)量超高純氨中痕量水。采用熱分解露點(diǎn)裝置分析高純氮?dú)庵泻哿克⒊呒儼睔庵泻哿克⒂门溆泻るx子放電檢測(cè)器的氣相色譜檢測(cè)超高純氨中的痕量氧，折算出超高純氨中痕量水。與光腔衰蕩法、紅外吸收光譜法測(cè)試結(jié)果的比對(duì)分析證明熱分解露點(diǎn)法測(cè)試值準(zhǔn)確度較高，成本低，可用以分析超高純氨氣中痕量水分，最低檢測(cè)限約80ppb。考查了氨分解溫度、氣體流量對(duì)高純氨中痕量水分析的影響，從而確定熱分解露點(diǎn)裝置最佳工作條件。考查了變壓置換、變流置換對(duì)縮短測(cè)試時(shí)間的影響，采用新的置換方式的測(cè)試時(shí)間是只平速吹掃所用時(shí)間的一半。比對(duì)了不同冷源的精密露點(diǎn)儀通過(guò)熱分解露點(diǎn)裝置測(cè)試高純氮?dú)狻⒏呒儦錃狻⒊呒儼睔獾臋z測(cè)限，制冷機(jī)為冷源的精密露點(diǎn)儀檢測(cè)限最低。

目前啶蟲(chóng)脒常用劑型是乳油和可濕性粉劑，3%啶蟲(chóng)脒微乳劑克服了乳油和可濕性粉劑各自存在的缺點(diǎn)，具有微乳劑的一系列特點(diǎn)，節(jié)省溶劑、降低生產(chǎn)成本、加工方便，是一種新型制劑品種，（2001年底前）國(guó)內(nèi)外尚未見(jiàn)報(bào)道。啶蟲(chóng)脒原藥的合成技術(shù)近1~2年國(guó)外知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)期將到，該微乳劑和水乳劑品種很快即可推出。

本發(fā)明公開(kāi)了一種先導(dǎo)型水液壓數(shù)字比例方向閥，包括主閥和先導(dǎo)閥，所述先導(dǎo)閥為兩個(gè)，分別位于主閥左右兩側(cè)，并通過(guò)端面配合安裝在主閥上，其中，所述先導(dǎo)閥包括可變液阻和與其串聯(lián)的固定液阻，與主閥閥芯端面連通的控制口位于兩者之間，通過(guò)改變所述可變液阻阻值，改變控制口壓力，從而對(duì)主閥閥芯進(jìn)行控制，實(shí)現(xiàn)液流方向和流量的控制。本發(fā)明的比例方向閥采用 PCM 先導(dǎo)控制，控制簡(jiǎn)單可靠，精度高，頻率高，壽命長(zhǎng)，且主閥流量大。先導(dǎo)閥由開(kāi)關(guān)閥和阻尼孔組成，泄露小，抗污染能力和抗干擾能力強(qiáng)，可用于含固體雜質(zhì)較多的海洋環(huán)境。本發(fā)

循環(huán)水中緩蝕阻垢劑的加藥量由以下公式?jīng)Q定： 投加量（kg/h）=投加濃度×總補(bǔ)充水量（m3/天）/ K（濃縮倍數(shù)）×1000。根據(jù)這個(gè)原理，對(duì)數(shù)據(jù)采集量電導(dǎo)率、補(bǔ)水流量和總磷等參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化決策，調(diào)整到適合的加藥量，使系統(tǒng)中的藥劑濃度在控制范圍內(nèi)。這種控制效果，在同類控制系統(tǒng)中是比較先進(jìn)的。在PH5-9的范圍內(nèi)，電導(dǎo)率和總?cè)芄毯看笾鲁删€性關(guān)系。根據(jù)已確定的濃縮倍數(shù)，設(shè)定電導(dǎo)率的控制范圍。在循環(huán)冷卻水運(yùn)行過(guò)程中，通過(guò)控制排污和補(bǔ)水，實(shí)現(xiàn)濃縮倍數(shù)基本保持不變，保證循環(huán)水系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定。正確選擇pH測(cè)量點(diǎn)和投加點(diǎn)，采用先進(jìn)的PID控制算法，達(dá)到循環(huán)水系統(tǒng)中的PH值自動(dòng)控制。NJHL- A型循環(huán)冷卻水自動(dòng)加藥控制系統(tǒng)是以智能儀表和計(jì)算機(jī)為核心，不僅操作方便，而且智能化程度大大提高。NJHL-B型循環(huán)冷卻水自動(dòng)加藥控制系統(tǒng)是以PLC可編程控制器和計(jì)算機(jī)為核心，性能和可靠性較高，價(jià)格略貴。 NJHL-A型和NJHL-B型能夠適合于不同的場(chǎng)合以及不同用戶的要求，在控制循環(huán)水腐蝕、結(jié)垢和菌藻的條件下，實(shí)現(xiàn)節(jié)省用水和用藥的目的。計(jì)算機(jī)用于自動(dòng)加藥控制系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集和管理。采用大型數(shù)據(jù)庫(kù)軟件軟件，運(yùn)行于Windows2000/Windows NT 操作系統(tǒng)，應(yīng)用軟件主要窗口有測(cè)量參數(shù)顯示面、控制系統(tǒng)流程顯示面、實(shí)時(shí)和歷史曲線顯示面、數(shù)據(jù)記錄顯示面、報(bào)警記錄顯示、水質(zhì)數(shù)據(jù)人工輸入顯示面、報(bào)表和曲線打印面等，能夠?qū)崿F(xiàn)企業(yè)連網(wǎng)。

項(xiàng)目簡(jiǎn)介 各種工業(yè)領(lǐng)域的冷卻水目前大都循環(huán)利用，最終通過(guò)涼水池、涼水塔將熱量散發(fā)到 大氣之中。但是，冷卻水在循環(huán)過(guò)程中會(huì)有蒸發(fā)損失，必須不斷地補(bǔ)充新水，排出部分 舊水，以維持水量和鹽分的平衡；此外，在夏季炎熱潮濕天氣下，涼水設(shè)施的散熱作用 大打折扣，回用冷卻水往往不能降低到工藝要求的溫度，從而嚴(yán)重影響正常生產(chǎn)。本技 術(shù)將空調(diào)制冷技術(shù)與蒸發(fā)散熱技術(shù)相結(jié)合，用于冷卻水的輔助降溫，通過(guò)消耗少量的能 源，減少新水消耗和污水排放，保證設(shè)備壽命，提高產(chǎn)品產(chǎn)量、收益率和質(zhì)量=。 性能

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種中水回收利用裝置，尤其是一種家庭盥浴中水收集利用裝置。本實(shí)用新型提供了一種利用盥浴中水沖廁的家庭盥浴中水收集利用裝置，包括集水箱、排水管、沐浴中水排水管、沐浴單向閥、中水給水管、給水單向閥和給微型射流泵，所述集水箱的側(cè)壁靠近頂部處設(shè)置有溢水孔，所述集水箱的頂部設(shè)置有進(jìn)水口，所述排水管與溢水孔連通；所述沐浴中水排水管的出口與集水箱相連通，并且沐浴中水排水管的進(jìn)口高度高于出口高度，所述沐浴單向閥設(shè)置在沐浴中水排水管上并且其流向?yàn)槌蚣洌凰鲋兴o水管的進(jìn)水口與集水箱相連通，所述給水單向閥設(shè)置在中水給水管上并且其流向?yàn)楸诚蚣洌鼋o微型射流泵安裝在中水給水管上。

主導(dǎo)水暗柱之間靠?jī)啥酥苯?L 形搭接面緊密搭接，側(cè)向?qū)抵⒇Q向?qū)抵c主導(dǎo)水暗柱之間靠弧形面搭接并由連接桿連接。主導(dǎo)水暗柱、側(cè)向?qū)抵拓Q向?qū)抵Y(jié)構(gòu)為碎石混凝土筒并由親水型泡沫混凝土填充而成。

本發(fā)明公開(kāi)了一種水潤(rùn)滑柱塞泵，包括殼體、左端蓋、右端蓋、 凸輪軸、配流閥塊、柱塞滑靴組件、壓縮彈簧和配流閥，殼體上安裝 左端蓋和所述右端蓋；凸輪軸的安裝在左端蓋和右端蓋上；配流閥塊 固定安裝在殼體上，其上設(shè)置有進(jìn)流通道、出流通道和柱塞腔；柱塞 滑靴組件設(shè)置于柱塞腔處并伸入所述殼體內(nèi)，其包括柱塞和滑靴；壓 縮彈簧豎直設(shè)置于配流閥塊內(nèi)；配流閥塊在對(duì)應(yīng)于柱塞滑靴組件的位 置設(shè)置配流閥。本發(fā)明可以利用水作為介質(zhì)進(jìn)行動(dòng)靜壓混合支撐，動(dòng) 靜壓混合支撐具有回轉(zhuǎn)精度高、速度和載荷范圍廣、摩擦阻力及功耗 小等優(yōu)點(diǎn)，解