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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺(tái)
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基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實(shí)三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運(yùn)行”軟件對(duì)器件的運(yùn)動(dòng)情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計(jì)方案比較來指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動(dòng)時(shí)的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
南開大學(xué)
2021-04-14
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安徽大學(xué)在氮化鎵功率器件研究領(lǐng)域取得新進(jìn)展
本工作中，基于安徽大學(xué)微納加工平臺(tái)以及香港科技大學(xué)納米系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)制造中心聯(lián)合制造出了兩款氮化鎵功率器件，分別實(shí)現(xiàn)了電壓驅(qū)動(dòng)/電流驅(qū)動(dòng)的柵極結(jié)構(gòu)，為后續(xù)的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)和研發(fā)提供了器件技術(shù)支持；工作中也同時(shí)提出了兩種結(jié)構(gòu)在高溫下的穩(wěn)定性模型，為進(jìn)一步提升氮化鎵器件的性能以及可靠性打下了基礎(chǔ)。
安徽大學(xué)
2022-06-13
基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
項(xiàng)目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評(píng)測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計(jì)過程的重要組成部分；對(duì)設(shè)計(jì)的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對(duì)MEMS而言，還相差甚遠(yuǎn)，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計(jì)周期長、成本高等。特別需要一個(gè)能包括運(yùn)動(dòng)仿真、評(píng)測在內(nèi)的設(shè)計(jì)工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動(dòng)MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
南開大學(xué)
2021-04-14
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一種面向芯片級(jí)器件的焊點(diǎn)制備方法及裝置
本發(fā)明公開了一種面向芯片級(jí)器件的焊點(diǎn)制備裝置，包括：溶液容器，用于提供焊料溶液；流量分配器，其上設(shè)置有陣列布置的多個(gè)噴嘴，其與溶液容器連通，焊料溶液通過噴嘴噴出；器件固定板，其通過一底板固定在噴嘴下方，其上平鋪有待制備焊點(diǎn)的器件，且該器件固定板與噴嘴通過高壓發(fā)生器相連，兩者之間形成高壓電場；還包括管芯模，其包括呈陣列布置的多個(gè)管芯，且各管芯一一對(duì)應(yīng)配合插裝在噴嘴中，在各噴嘴和管芯之間的空隙內(nèi)形成容納焊料溶液的空間，在電場的作用下，焊料溶液通過該噴嘴中的空間進(jìn)行流量分配后噴出形成噴點(diǎn)或噴絲，滴落于器件
華中科技大學(xué)
2021-04-14
安徽大學(xué)在氮化鎵功率器件研究領(lǐng)域取得新進(jìn)展
近日，我校物質(zhì)科學(xué)與信息技術(shù)研究院唐曦教授課題組與電氣工程與自動(dòng)化學(xué)院胡存剛教授、曹文平教授課題組在氮化鎵功率器件領(lǐng)域取得最新研究進(jìn)展，在氮化鎵GaNHEMT方向取得突破。
安徽大學(xué)
2022-06-01
旦大學(xué).jpg){kind=logo}
溝道的刻蝕方法、半導(dǎo)體器件及其制備方法與電子設(shè)備
本發(fā)明提供了一種溝道的刻蝕方法，提供一待刻蝕對(duì)象，對(duì)所述待刻蝕對(duì)象一次刻蝕后，交替進(jìn)行表面處理?二次刻蝕，直至刻蝕掉所有的鰭結(jié)構(gòu)的犧牲層；其中，一次刻蝕用于刻蝕掉所述若干鰭結(jié)構(gòu)中當(dāng)前寬度最小的鰭結(jié)構(gòu)的全部犧牲層以及其它寬度更寬的鰭結(jié)構(gòu)的部分犧牲層；表面處理用于在待刻蝕對(duì)象的溝道層與剩余的犧牲層的暴露在外的表面形成保護(hù)層；所述二次刻蝕用于刻蝕掉當(dāng)前寬度次之的鰭結(jié)構(gòu)的全部的犧牲層，以及所述保護(hù)層。本發(fā)明在傳統(tǒng)的刻蝕工藝中加入氧化步驟，既實(shí)現(xiàn)了對(duì)溝道層的保護(hù)，又實(shí)現(xiàn)了在不同溝道寬度的刻蝕中，減少溝道層的損失量。
復(fù)旦大學(xué)
2021-01-12
高性能系列鈮酸鋰、鉭酸鋰晶體和光電器件
光電晶體及其器件作為激光技術(shù)的關(guān)鍵材料和器件，被諸多國家列為優(yōu)先發(fā)展的技術(shù)領(lǐng)域。本項(xiàng)目在國家 863 計(jì)劃、天津市重大科技攻關(guān)、國防科工局民口配套等項(xiàng)目支持下，瞄準(zhǔn)國家需求，圍繞產(chǎn)品化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，取得了以下主要科技創(chuàng)新：
（1）自主設(shè)計(jì)基于經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)庫的智能計(jì)算機(jī)晶體生長自動(dòng)控制系統(tǒng)，并開發(fā)了晶體生長成套裝備，應(yīng)用于多種晶體生長，得到批量推廣應(yīng)用。
（2）發(fā)展了兩種非固液同成分共熔配比晶體的制備方法，實(shí)現(xiàn)了 SLN 晶體和 SLT 晶體的批量、廉價(jià)制備。
（3）開發(fā)了寬溫度范圍工作鈮酸鋰電光調(diào) Q 晶體及電光調(diào) Q 開關(guān)，在-55℃～70℃溫度區(qū)間穩(wěn)定工作，大幅提高了軍用激光系統(tǒng)的溫度穩(wěn)定性。（4）以高溫度穩(wěn)定性電光調(diào) Q 開關(guān)為核心技術(shù)自主研發(fā)的系列高溫度穩(wěn)定性鈮酸鋰電光調(diào) Q 激光系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)和應(yīng)用。
（5）開發(fā)了滿足激光雷達(dá)等長期在線工作的低內(nèi)電場鈮酸鋰電光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q 開關(guān)。
（6）開發(fā)了高抗光損傷閾值的鉭酸鋰電光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q開關(guān)，典型 1064nm 波段的激光損傷閾值比鈮酸鋰晶體提高兩個(gè)數(shù)量級(jí)以上，且能夠滿足軍工寬溫度范圍要求。
南開大學(xué)
2021-04-13
（北京）.jpg){kind=logo}
基于克?；舴蚍e分法的繞射波場分離方法
本成果提供了一種通過克?；舴蚱戚敵鰞A角道集,利用在傾角域中繞射波和反射波的明顯區(qū)別來發(fā)據(jù)隱藏在反射背景下的繞射源,從而對(duì)地下的地質(zhì)突變點(diǎn)進(jìn)行精細(xì)成像,為復(fù)雜碳酸鹽巖儲(chǔ)層提供一種全新的預(yù)測技術(shù)。該專利在計(jì)算效率上具有明顯優(yōu)勢,使繞射波分離方法的大范圍工業(yè)推廣變?yōu)榭赡?顯著提高了溶洞、斷層等繞射目標(biāo)的成像精度,提升了復(fù)雜儲(chǔ)屋的識(shí)別能力,對(duì)于尋找有效儲(chǔ)集空間、準(zhǔn)確評(píng)估油氣儲(chǔ)量、提高油氣采收率均具有重要指導(dǎo)意義。
中國石油大學(xué)（北京）
2021-02-01
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高靈敏度有機(jī)污染檢測用聲表面波傳感器
團(tuán)隊(duì)長期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究，在長期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上，與我國XX工程結(jié)合，開展高功率固體激光裝置運(yùn)行環(huán)境污染檢測方法研究，基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達(dá)pg/mm2（10 12g/mm2）量級(jí)，實(shí)現(xiàn)了高精密測試，并且針對(duì)裝置運(yùn)行環(huán)境中不同有機(jī)污染物的復(fù)雜情況，實(shí)現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測量，達(dá)到了國際領(lǐng)先水平。已通過在線測試并在XX工程中應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)訂貨。 同時(shí)在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上，團(tuán)隊(duì)在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜，如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復(fù)合薄膜，實(shí)現(xiàn)了對(duì)環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng)，特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料，同時(shí)對(duì)其化學(xué)修飾，以實(shí)現(xiàn)化學(xué)、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測，目前正在和中電集團(tuán)進(jìn)行相關(guān)的聯(lián)合工作。 該傳感器可用于定量檢測/監(jiān)測各種真空、實(shí)驗(yàn)室、大氣環(huán)境中的微量有機(jī)污染物、化學(xué)毒劑和生物毒劑。
電子科技大學(xué)
2021-04-10
高靈敏度有機(jī)污染檢測用聲表面波傳感器
團(tuán)隊(duì)長期從事納米材料及納米結(jié)構(gòu)研究，在長期納米結(jié)構(gòu)的制備及性能研究基礎(chǔ)上，與我國XX工程結(jié)合，開展高功率固體激光裝置運(yùn)行環(huán)境污染檢測方法研究，基于各種納米結(jié)構(gòu)制作的聲表面波傳感器檢測靈敏度高達(dá)pg/mm2（10?12g/mm2）量級(jí)，實(shí)現(xiàn)了高精密測試，并且針對(duì)裝置運(yùn)行環(huán)境中不同有機(jī)污染物的復(fù)雜情況，實(shí)現(xiàn)了高選擇性、高靈敏度測量，達(dá)到了國際領(lǐng)先水平。已通過在線測試并在XX工程中應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)訂貨。同時(shí)在高靈敏度聲表面波傳感器的研究基礎(chǔ)上，團(tuán)隊(duì)在聲表面波傳感器的敏感芯片區(qū)建立了不同的敏感薄膜，如氧化硅薄膜、氧化鋅薄膜、SiO2/ZnO復(fù)合薄膜，實(shí)現(xiàn)了對(duì)環(huán)境污染氣體的高靈敏度響應(yīng)，特別是在聲表面波傳感器芯片上建立了三維納米結(jié)構(gòu)敏感材料，同時(shí)對(duì)其化學(xué)修飾，以實(shí)現(xiàn)化學(xué)、生物毒劑的高靈敏度監(jiān)測，目前正在和中電集團(tuán)進(jìn)行相關(guān)的聯(lián)合工作。
電子科技大學(xué)
2021-04-10