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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類(lèi) 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類(lèi)半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種板砌體墻體組合梁托換加固結(jié)構(gòu)，涉及砌體結(jié)構(gòu)墻體加固技術(shù)領(lǐng)域，緊貼在需要托換加固的砌體墻體表面上的加固鋼板；若干間隔設(shè)置在所述加固鋼板上的用于將所述加固鋼板緊固在需要托換加固的砌體墻體上的對(duì)拉螺栓；本實(shí)用新型的鋼板磚砌體組合梁托換加固結(jié)構(gòu)有效地增大原砌體結(jié)構(gòu)墻體托換成組合梁后的強(qiáng)度和整體剛度以及承載能力；本實(shí)用新型的加固鋼板、槽鋼和對(duì)拉螺栓組件采用工廠化制作，現(xiàn)場(chǎng)安裝，機(jī)械施工程度高，施工簡(jiǎn)便，造價(jià)低；利用結(jié)構(gòu)膠填充需要加固的砌體結(jié)構(gòu)墻體與加固鋼板之間形成的空隙，不但改善了墻體的受

本發(fā)明涉及用于箱形主梁斜拉橋顫振控制的檢修軌道結(jié)構(gòu)，其特征在于：在主梁的 斜腹板下緣設(shè)置檢修軌道結(jié)構(gòu)，該檢修軌道結(jié)構(gòu)由軌道和軌道支撐塊構(gòu)成。本發(fā)明的斜 腹板下側(cè)設(shè)置檢修軌道的控制措施不但能將顫振臨界風(fēng)速提升 10.8％，顯著提高了箱形 主梁斜拉橋結(jié)構(gòu)的顫振穩(wěn)定性能，而且經(jīng)濟(jì)性能最佳，幾乎不需要增加工程造價(jià)，同時(shí) 滿足了主梁上檢修車(chē)移動(dòng)檢修的要求。本發(fā)明的斜拉橋顫振控制檢修軌道結(jié)構(gòu)是一種有 效的顫振控制措施。 

成果描述：本發(fā)明公開(kāi)了一種用于盾構(gòu)隧道施工的十二邊形管片，十二邊形管片的橫向兩端的邊緣為兩個(gè)共同呈“八”字形的長(zhǎng)斜邊，十二邊形管片的縱向兩側(cè)邊緣中橫向長(zhǎng)度較長(zhǎng)的邊緣的一端向另一端依次形成長(zhǎng)橫邊、短斜邊、內(nèi)凹橫邊、短斜邊、長(zhǎng)橫邊，十二邊形管片的縱向兩側(cè)邊緣中橫向長(zhǎng)度較短的邊緣的一端向另一端依次形成短橫邊、短斜邊、內(nèi)凹橫邊、短斜邊、短橫邊。本發(fā)明還公開(kāi)了一種采用十二邊形管片組裝的管片襯砌結(jié)構(gòu)，相鄰的十二邊形管片之間相互嵌入限位。本發(fā)明采用特定形狀的十二邊形管片，其自身形狀具有安裝導(dǎo)向的功能，管片的定位很容易；本發(fā)明采用十二邊形管片襯砌結(jié)構(gòu)，能進(jìn)行連續(xù)掘進(jìn)和拼裝，顯著提高了施工效率和襯砌整體剛度。市場(chǎng)前景分析：軌道交通基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)領(lǐng)域。與同類(lèi)成果相比的優(yōu)勢(shì)分析：技術(shù)先進(jìn)，性價(jià)比較高。

本發(fā)明涉及一種用于瀝青混凝土施工質(zhì)量的智能質(zhì)量管理方法，包括以下步驟：采集施工過(guò)程中施工材料的實(shí)時(shí)溫度；根據(jù)所述施工材料的溫度隨時(shí)間的降幅，建立溫度變化模型；利用所述溫度變化模型指導(dǎo)施工現(xiàn)場(chǎng)的調(diào)度。

隨著我國(guó)國(guó)家經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，人民生活水平的改善，對(duì)建筑物功能的要求 正逐步提高。平面尺寸超長(zhǎng)、超寬的建筑物迅速涌現(xiàn)，且多用于大型公共建筑、 工業(yè)廠房、商業(yè)中心、機(jī)場(chǎng)停機(jī)及跑道等工程。鑒于建筑與結(jié)構(gòu)的整體性、使 用功能和建設(shè)工期的要求，此類(lèi)建筑的地面（或樓面）大多要求不設(shè)伸縮縫和 后澆帶，或伸縮縫間距超過(guò)現(xiàn)行規(guī)范要求。超大面積混凝土地面無(wú)縫施工技術(shù), 是將超大面積混凝土地面按一定尺寸分為若干小塊體，相鄰塊體間隔施工， 過(guò)短期應(yīng)力釋放，先澆筑混凝土經(jīng)過(guò)收縮變形后，再將地面連接澆筑成一個(gè)整體, 依靠混凝土抗拉強(qiáng)度抵抗后期澆筑混凝土收縮、溫度應(yīng)力的施工技術(shù)。

成果的背景及主要用途： 高效大跨度結(jié)構(gòu)體系不僅關(guān)系到資源節(jié)約、施工便捷和效果美觀,更是一個(gè) 國(guó)家建筑技術(shù)水平的重要標(biāo)志。傳統(tǒng)的梁板式結(jié)構(gòu)用鋼量大效能低、單層網(wǎng)殼穩(wěn) 定性差支座水平推力大、單一網(wǎng)格結(jié)構(gòu)難以實(shí)現(xiàn)輕盈美觀,研發(fā)新型大跨體系成 為建筑結(jié)構(gòu)技術(shù)發(fā)展的迫切需要。課題組在較早開(kāi)展張拉整體體系研究的基礎(chǔ)上, 從 1998 年開(kāi)始對(duì)張弦結(jié)構(gòu)大跨度建筑結(jié)構(gòu)體系進(jìn)行系統(tǒng)研究,形成了張弦結(jié)構(gòu)分 析設(shè)計(jì)理論和施工成套技術(shù),解決了張弦結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)理論匱乏、分析方法欠缺和在 工程應(yīng)用中受到結(jié)構(gòu)選型、節(jié)點(diǎn)構(gòu)造、施工方法和監(jiān)測(cè)技術(shù)等多方面問(wèn)題制約的 技術(shù)難題,為張弦結(jié)構(gòu)的推廣應(yīng)用和健康發(fā)展提供了重要的科學(xué)依據(jù)和關(guān)鍵技術(shù) 支撐。 技術(shù)原理與工藝流程簡(jiǎn)介： 1、系統(tǒng)研究基于張拉整體思想的張弦結(jié)構(gòu)體系，提出了發(fā)明專利-弦支筒殼 和弦支混凝土樓蓋等新型張弦結(jié)構(gòu)形式，建立了平面、空間等張弦結(jié)構(gòu)分類(lèi)體系， 研發(fā)自制設(shè)備空氣加熱索膨脹系數(shù)測(cè)定儀和水域加熱索膨脹系數(shù)測(cè)定儀，測(cè)定了 張弦結(jié)構(gòu)核心構(gòu)件-拉索的膨脹系數(shù)，為張弦結(jié)構(gòu)分析設(shè)計(jì)理論的建立奠定了基 礎(chǔ)。 2、確定了平面和平面組合型張弦結(jié)構(gòu)的最優(yōu)構(gòu)成規(guī)律，揭示了平面和平面 組合型張弦結(jié)構(gòu)靜動(dòng)力特性和抗風(fēng)性能，研發(fā)出專利技術(shù)—自平衡加載反力架并 試驗(yàn)驗(yàn)證了所提出的插板式拉索節(jié)點(diǎn)的安全性和便捷性，解決了平面及平面組合 型張弦結(jié)構(gòu)分析計(jì)算和拉索連接節(jié)點(diǎn)方面的技術(shù)難題。 3、提出兩種弦支穹頂分類(lèi)方法和預(yù)應(yīng)力二階段分析方法，創(chuàng)建連續(xù)折線索 單元分析技術(shù)，建立了弦支穹頂從找形、預(yù)應(yīng)力設(shè)定到結(jié)構(gòu)性能分析的設(shè)計(jì)方法， 基于模型和實(shí)物試驗(yàn)及理論分析揭示了弦支穹頂結(jié)構(gòu)靜動(dòng)力性能和穩(wěn)定特性，研 發(fā)了空間張弦結(jié)構(gòu)的節(jié)點(diǎn)專利技術(shù)—預(yù)應(yīng)力鋼結(jié)構(gòu)滾動(dòng)式張拉索節(jié)點(diǎn)，形成弦支 穹頂分析設(shè)計(jì)理論體系，解決了弦支穹頂應(yīng)用中分析設(shè)計(jì)和節(jié)點(diǎn)構(gòu)造的技術(shù)難題。 4、研發(fā)出張弦結(jié)構(gòu)施工工藝仿真系統(tǒng)，提出了預(yù)應(yīng)力施加方法和摩擦損失 補(bǔ)償方法，開(kāi)發(fā)了張弦結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，解決了張弦結(jié)構(gòu)施工過(guò)程中的全過(guò)程 控制、監(jiān)測(cè)、安全和預(yù)應(yīng)力損失等方面的技術(shù)難題。提出了“地面整體拼裝、一 次張拉外斜索成形”的施工方法，突破了大跨度索穹頂結(jié)構(gòu)張拉成形的技術(shù)瓶頸。 技術(shù)水平及專利與獲獎(jiǎng)情況：天津大學(xué)科技成果選編 172 該項(xiàng)科研成果發(fā)表學(xué)術(shù)論文 72 篇（其中 SCI 檢索 9 篇、EI 檢索 27 篇）， 獲發(fā)明專利 7 項(xiàng)，實(shí)用新型專利 8 項(xiàng)，獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng) 1 項(xiàng)，天津和 北京市科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)3項(xiàng)，省部級(jí)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)4項(xiàng)，達(dá)到了國(guó)際領(lǐng)先水平。 應(yīng)用前景分析及效益預(yù)測(cè)： 本項(xiàng)目關(guān)鍵創(chuàng)新成果代表了現(xiàn)代大跨度結(jié)構(gòu)技術(shù)的水平,引領(lǐng)了世界空間結(jié) 構(gòu)技術(shù)的發(fā)展,提升了中國(guó)大跨度技術(shù)在世界工程領(lǐng)域的地位，增強(qiáng)了國(guó)際競(jìng)爭(zhēng) 力，可應(yīng)用于體育場(chǎng)館、會(huì)展中心、交通樞紐站房等國(guó)家重要基礎(chǔ)設(shè)施工程中。 項(xiàng)目發(fā)表論文 72 篇(9 篇 SCI、27 篇 EI),獲發(fā)明專利 7 項(xiàng),成果編入 10 本 著作和 6 本規(guī)程,推動(dòng)了土木工程學(xué)科發(fā)展, 培養(yǎng)了一批高素質(zhì)的結(jié)構(gòu)工程科技 人才，對(duì)現(xiàn)代大跨結(jié)構(gòu)的技術(shù)進(jìn)步以及推動(dòng)中國(guó)空間結(jié)構(gòu)從大國(guó)向強(qiáng)國(guó)邁進(jìn)都具 有重要的意義。 應(yīng)用領(lǐng)域： 該項(xiàng)目科研成果已應(yīng)用于包括奧運(yùn)會(huì)場(chǎng)館在內(nèi)的近百項(xiàng)大跨度結(jié)構(gòu)工程中， 可廣泛應(yīng)用于大型體育場(chǎng)館、會(huì)展文化中心、重大交通樞紐、大型廠房等基礎(chǔ)設(shè) 施工程中，可推廣應(yīng)用程度高，取得了巨大的經(jīng)濟(jì)效益，工程節(jié)支總額超過(guò)二億 元，對(duì)我國(guó)大跨結(jié)構(gòu)技術(shù)的發(fā)展具有顯著推動(dòng)作用。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種可快速調(diào)平的預(yù)制拼裝橋墩結(jié)構(gòu)及其施工方法，所述橋墩結(jié)構(gòu)包括帶有“［”型凹槽的預(yù)制混凝土墩柱、套在預(yù)制混凝土墩柱節(jié)段下部的雙壁鋼底座、套在預(yù)制混凝土墩柱節(jié)段上部的雙壁鋼套筒、用于連接預(yù)制混凝土墩柱上、下相鄰節(jié)段的連接鋼筋及鋼筋連接器、安裝在“［”型凹槽內(nèi)部的千斤頂、焊接在“［”型凹槽外部的鋼護(hù)罩。利用節(jié)段間預(yù)留的“［”型凹槽放置快速調(diào)平用的千斤頂，調(diào)平準(zhǔn)確后用鋼筋連接器鎖定連接鋼筋，撤出千斤頂，在“［”型凹槽內(nèi)灌注超延遲性無(wú)收縮砂漿保護(hù)連接的連接鋼筋。使用本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)預(yù)制混凝土墩柱節(jié)段的可靠、精準(zhǔn)拼接，同時(shí)還可以快速調(diào)平、定位，達(dá)到加快施工速度，節(jié)省施工工期的目的。