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高頓財稅學院服務體系 匯聚財務領域核心資源，滿足企業多層次、多角度的培訓需求 為財務人學習護航

本實用新型涉及一種變頻控制的振動磨，特別是一種能產生高振強的多波變正弦曲線變頻控制振動磨， 屬于振動利用工程技術領域。由電源、變頻器、振動磨、傳感器、記錄分析儀組成，變頻器接線一端與電 源相連接，變頻器接線另一端與振動磨的驅動電機相連接；變頻器上可以進行多點頻率的變化輸入，以使 電機的輸入頻率按照設定的規律變化，從而驅動振動磨系統工作；傳感器依靠磁力置于振動磨磨筒上，傳 感器搭配積分電荷放大器使用，可將檢測的加速度信號及二次積分即振幅信號，傳輸給記錄分析儀，進而可以確定振動磨的振強、振幅變化曲線，便于調整變頻器的變化規律，進行控制程序編制，對振動磨機實 施變頻控制。

研究了中心控制和優化軟件。結合用戶的需求和比較現有軟件，開發了燈組定義、相位定義、相位序列定義、相位配時模塊。信號機直接以以太網連網，通訊模塊負責接收信號機的各項參數，并發送指定的相應數據。進行了配時優化研究。在優化時采用固定周期的方法，相位的綠信比作為優化變量進行優化。

https://www.shjcedu.com  上海計呈教學設備13636618907                                                GC-6600D型 中央空調控制/監控實訓考核裝置 一，產品概述：   GC-6600D型 中央空調控制/監控實訓考核裝置適合高等職業院校、中等職業學校及本科院校的機電設備安裝與維修、機電技術應用、電氣運行與控制、電氣技術應用、電機與電器、制冷和空調設備運用與維修等專業的《制冷空調機器設備》、《制冷空調裝置的安裝操作與維修》、《制冷空調自動化及機電一體化》、《空氣調節技術與運用》等課程的教學與實訓。                               二，特 點 1，中央空調系統實訓平臺 是根據目前國內建筑電氣，樓宇智能化精心設計的綜合實驗裝置，本裝置結合當前安防領域的先進技術，從教學實驗的要求的角度出發，以工程化的設計理念完整的實現了中央空調全空氣調節系統的工作過程。       綜合性；采用國內先進的二次回風系統，在同一臺實驗臺上完整的完成                                                          不同制冷系統工況 工程化；整套控制系統大部分采用工業現場實際應用部件 開放性；裝置采用透明化，開放性設計，學生能夠清晰的了解整個系統工    作原理 安全保護；裝置設有強電漏電系統裝置 2，實用性強 控制器采用一臺三菱PLCFX3U－48M及相關繼電器、控制開關、指示燈、標準通信接口可編程控制器，上位機軟件實時顯示系統運行狀態及數據。 3，直觀性強 實訓裝置直觀展示了中央空調的系統結構、工作原理，可清楚的看到制冷循環系統結構及主要部件的實物，系統還配置有系統完整流程圖、交流電壓表、交流電流表、真空壓力表、信號指示燈使整個系統的實時工作狀態一目了然；便于教學演示講解及學生對課本知識的理解掌握。此外，管路中設有視液鏡可觀察制冷劑狀態；高壓管路為紅色部分，低壓管路為藍色部分。 4，綜合性強 整套實訓裝置集制冷系統、電氣控制系統、故障模擬系統于一體，滿足對實訓的要求。 5，中央空調制冷、制熱循環輸送管路：用最新型色鋁塑管以及銅件連接,并標有明顯的走向標志。輸送管路經電磁閥、風機盤管輸送給模擬房間或模擬風管、根據所需調節風速開關或風量。 6，帶電腦串行接口,組成智能化測試裝置：系統的控制軟件采用全漢化菜單式操作。測溫器是高精度的熱電鍋,自A/D摸數轉換器轉換成數字信號,經Rs232電腦接口輸出,在電腦安置相關程序之后,屏上清楚記錄、采樣、通過打印機輸出進行理論分析。 7.在原來的系統中加裝了教師端動畫/控制/監控主機系統, 遠程程獨立監控:在系統能獨立監控中央空調機觸摸屏對系統的工作狀態，方便老師遠程監控學生在實訓時的情況。操作方法是否正常，正確。 8、實驗臺控制智能模塊 本模塊可控制整機工作環境，確定 系統的工作穩定，可保護學生的實訓時的穩定和安全，關鍵時可切斷總電源。： 1)、智能模塊模塊可檢測、監控裝置系統的交流電源的電壓，在測量過壓時，設備過載保護、能夠采集被監控設備交流電源的電流值，在測量過流值時，設備過載保護、能夠采集被監控設備交流用功功率溫度、在測量過溫時，設備過載保護 2）、軟件平臺： 電流、電壓溫度、并通過CAN /GSM通訊上傳到監控主機或監控云平臺，監控主機或云平臺可以判斷被監控電源的運行狀態，如電壓，電流，電流和溫度。 3）、工作電源 額定電壓AC220V、功耗  正常監視狀態≤2W 報警狀態≤2.5W、 4）監控報警過壓（115%）、欠壓（80%）過流、電流（50~1000mA）。 5）、溫度：50-120度、漏電報警：50-1000MA連續可調、漏電報警通道：1路、溫度報警：4路。 6）電流檢測通道：1路、電壓檢測通道：3路。 7）報警方式：APP遠程報警觸點容量AC 220V/3A ，DC 30V/3A、 8）通訊接口   通訊/GPRS通訊(選配)有效通訊距離≤1km. 9)、通過手機可下載APP軟件控制系統，或者電腦通過軟件監控， 10)、傳感器:電流互感器及電流互感器：使用2000:1。如果實際使用互感器和產品配,置不同，多咯溫度傳感器使用的是100K特性的熱敏電阻. 11）功能顯示：可顯示電壓、電流、功率 12）、界軟件面   13）、無線傳感器:電壓：3.6V。待機電流：20MA.報警電流產250MA、低壓報警：30天、通信方式：GSM、接收靈敏度：-129dBm、無線標準    14）、內置無線網絡信號發射，可連接4G網絡，不再需要另外增加通信成本 現場需對功能逐一演示，提供有效、權威的證明文件，證實該產品的可靠、安全、先進性。 *10、投標至少要提安監部門供檢測報告文件以下幾條內容 1）提供可供現場查詢檢測報告編號： 2）提供防觸電保護，檢測報告頁面圖 3）提供接地保護措施測試電流 (A):1.5倍額定電流，但不小于25A，檢測報告頁面圖 4）提供電氣強度和絕緣電阻，檢測報告頁面圖 5）提供機械強度，檢測報告頁面圖 6、提供耐熱、耐燃和耐漏電起痕，檢測報告頁面圖     三，技術參數 電源：三相五線 AC 380 V±10%  50Hz； 滿量程供冷量：7.5kW； 滿量程輸入總功率：6.5kW； 制冷額定功率：7.5.kW； 滿量程堵轉電流：50A； 制熱額定功率：2.0kW； 額定輸入電流：7A； 循環風量：700m3/h； 制冷劑：R22； 漏電動作電流：≤30mA； 噪聲：35－40dB（A）； 安全保護措施：具有過壓、過流、過載、漏電、接地四種保護措施，符合國家相關標準。 四 裝置的配置 1、控制器系統配置： 控制系統由可編程控制器、數據采集、力控組態軟件等組成。控制器采用三菱PLC FX3U－48M可編程控制器，并加有1個壓力擴展模塊和兩個模擬量采集模塊。系統具有手動和自動兩種控制方法控制，并且可通過上位機力控軟件監測系統運行工況，即系統中制冷狀態、制熱狀態、溫度大小、設備運行狀態等情況。通過PLC模擬量模塊采集溫度等相關系統參數對整個系統進行自控。通過對PLC程序編輯，可改變系統的控制過程。組態軟件借助于Windows 2000/XP多任務環境，是本系統的管理與調度的中心，實現對整個系統的集中管理、以及對整個樓宇的被控設備進行監測、調度、管理，實現設備的聯動控制。在不接對象時，還能完成中央空調電氣系統排故實訓。 2，控制柜： 鐵質雙層亞光密紋噴塑結構，結構堅固。前門采用透明設計，可觀察到中央控制器、接觸器、熱保護器等控制元件。面板上面有控制開關旋鈕、工作狀態指示燈、系統流程圖及PLC主機單元及測試點。 3，交流電源控制單元： 三相四線制AC 380V電源供電，并設有漏電保護器控制控制屏總電源。 4， 模擬故障： 模擬故障設置與軟件結合完成，學生根據工藝分析故障可能產生的原因，確定故障發生的范圍，并進行排故。 5，測量儀表 1）電源電壓指示單元：提供1只交流電壓表和1只交流電流表，用于測量系統電網電壓與測量壓縮機、冷卻水泵、冷凍水泵工作電流。制冷系統壓力檢測單元： 2）提供2只真空壓力表和1只雙組壓力控制器，測量范圍分別為-0.1～1.5MPa、-0.1～3.5MPa,可顯示系統壓縮機低壓側和高壓側的壓力變化，對壓縮機起到保護作用。 6，該裝置可實現手動控制和計算機控制兩種控制方式： A手動控制按鈕在控制柜的門上，這些控制按鈕接入到PLC各個相應的輸入變量上，可直接對整個中央空調進行控制； B計算機控制則采用組態技術建立計算機與PLC之間的穩定通訊，從而控制整個中央空調，并實現對空調運行數據的顯示、分析等各種功能，同時也可通過網絡升級建立遠程計算機與現場計算機的通訊，實現對中央空調的遠程控制 7、系統原理圖： 為了能更 好的掌握中央空調的控制和系統原理，控制面板上畫有制冷系統流程圖，并配有對對應的相關器件工作指示燈，開啟或關閉對應的部件時，相應的狀態指示燈亮或關閉 8.控制面板上在對應的元器件上噴繪有標識，字體，流程圖 *9、老師端：動畫/控制/監控主機系統”，以FLASH動畫的形式來仿真中央空調各個工作流程（包括正常工作流程和故障工作流程）、故障產生過程現象、故障排除過程現象。中央空調動畫/控制/監控主機系統中主要有三部分組成： （1）、系統主要部件說明組成：如壓縮機、卻水泵、冷卻風機、風機盤管、分水器、集水器、表冷器等。 （2）、是系統動畫演示：如壓縮機系統、制冷系統、制熱系統、風系統、集中送風系統、半集中送風系統的原理過程。 （3），系統故障運行演示：在配置有實物中央空調實訓考核裝置時，在軟件演示故障時系統動畫與實物實時故障同步，讓學生更好地撐握空調原理、操作方法，如壓縮機系統、制冷系統、制熱系統、風系統、集中送風系統、半集中送風系統的原理過程。 (4),遠程獨立監控:系統能獨立監控中央空調機觸摸屏對系統的工作狀態，方便老師遠程監控學生在實訓時的情況。操作方法是否正常，正確。 控制柜配置表 編號 名稱 單位 數量   1 配電控制柜，網絡式機柜 套 1 1800*700*700MM,采用藍色框架結構，白色為搭配色，前后開門，方便實訓操作，前門采用玻璃裝飾，美觀大方(面板：鐵質面板，激光雕刻，彩色噴繪) 2 三相4P帶漏電開關 只   32A 3 三相保險 臺 1 32A 4 450V電流表，30A電流表 個 1 6L2 5 按鈕 套 8   6 開關電源:為控制系統提供電源 套 1 Q60.:提供+24V.+5V 7 中間繼電器 套 8 24V 8 交流接觸器 套 13 220V 9 12位接線端子 套 4   10 3位接線端子 只 14   11 7寸彩色觸摸屏 只   昆侖動態 12 通信線 只 1   13 制熱水泵 個 1   14 中央空調控制實訓軟件 套 1   15 實驗操作指導書 套 1   16 PT100傳感器 只 6   17 PLC，FX3U-48M 臺 1   18 數據采集系統 溫度采集模塊，FX2N-4AD-PT 套 2   19 壓力采集模塊，FX2N-2AD 塊 1   20 壓力變送器，0-10V 只 2   22 可移動式學生終端計算機臺架 套 1 （鋼木結構≥ 材500×550×900 mm） 23 系統 流程圖 套 1   24 電腦上位機軟件 套 1 控制/監控   通信模塊 套 1   8，中央空調實訓考核裝置采用3匹水冷機組： 為整機系統提供冷源，采用一套分水器對冷量進行分配調節，整個中央空調采用PLC作為主控機，由計算機通過通信線與PLC進行通信，從而控制整個空調的運行，也可通過網絡實現遠程控制。空調的運行參數由傳感器及變送器進行采集，并通過A/D模塊轉換后送入PLC中，再由PLC送到計算機中進行實時顯示監控。 冷水機配置表 編號 名稱 單位 數量   1 壓縮機（3P） 臺 1 渦旋壓縮機，在同等功率下渦旋壓縮機能提供更大的制冷壓縮比 2 蒸發器，干式3P 只 1 304不銹鋼，內部采用19MM不銹鋼管作為蒸發器，克服了個別地區水的酸堿比重較高，容易損壞蒸發器（銅一般3年就損壞） 3 模擬鍋爐 臺 1 40L 4 儲液器2P 個 1   5 水冷凝器 套 1 304不銹鋼，內部采用19MM不銹鋼管作為蒸發器，克服了個別地區水的酸堿比重較高，容易損壞蒸發器（銅一般3年就損壞） 6 3T冷卻水塔 套 1   7 冷卻風機 個 1 軸流FN吸風式－220/300MM 8 熱力膨脹閥 只 1 丹佛斯進口 9         10 手閥 只 4 包含：，1只加液閥，1個截止閥，2只高低壓傳感器截止閥 11 角閥   2 2只制冷劑回收閥 12 高低壓表 只 2   13 冷卻閥門 個 4 采用黃銅升降閘閥，結構：多圈手輪式 14 冷卻水泵 只 2 一個作為主泵，一個當成備用制冷水泵使用，當主泵損壞時，可啟動備用水泵 9、冷凍水系統 和制冷系統 ： 水系統是中央空調的神經末端系統 ，為終端用戶提供冷媒水和熱媒水，系統配置2臺冷卻水泵（其中1臺備用）、2臺冷凍水泵，1臺制熱水泵，，采用一套分水器對冷量進行分配調節，整個中央空調采用PLC作為主控機，由計算機通過通信線與PLC進行通信，從而控制整個空調的運行，也可通過網絡實現遠程控制。空調的運行參數由傳感器及變送器進行采集，并通過A/D模塊轉換后送入PLC中，再由PLC送到計算機中進行實時顯示監控。 冷水和制熱機配置表 編號 名稱 單位 數量   1 分水器 套 1 一進4出：采用304不銹鋼制作，設計有排水口，設備停止使用時可排出設備內的水 2 分水器配套閥門 個 5 采用黃銅升降閘閥，結構：多圈手輪式 2 集水器 套 1 一進4出：采用304不銹鋼制作，設計有排水口，設備停止使用時可排出設備內的水 3 集水器配套閥門 個 5 采用黃銅升降閘閥，結構：多圈手輪式 2 不銹鋼補水水箱400*300*350 套 1 不銹鋼補水水箱400*300*350 5 制冷水泵 只 2 一個作為主泵，一個當成備用制冷水泵使用，當主泵損壞時，可啟動備用水泵 6 制冷閥門 個 5 采用黃銅升降閘閥，結構：多圈手輪式 7 制冷水泵 只 2 一個作為主泵，一個當成備用制冷水泵使用，當主泵損壞時，可啟動備用水泵 8 制熱閥門 個 2 采用黃銅升降閘閥，結構：多圈手輪式 9 制熱水泵 只 1   10 管路     采用新型鋁塑管結構，：管子為雙層塑料中間采用0.1MM形鋁方式，耐用耐壓，可重復折裝 11 黃銅接頭 只 80 接頭使用6分黃銅接頭，可重復拆裝不損壞。 10、中央空調末端系統： 由一個模擬房間，和一個組合式風柜組成。模擬房間采用30*30工業標準鋁型材和雙面烤漆木板結構，內部裝有和真實空調末端同樣的風機盤管，三級調速，由調整開關用戶自由調。組合式風柜系統由回風口，新空氣混合風口，送風機，中央空調蒸發器，管道，電磁閥組成。 中央空調末端系統置表 編號 名稱 單位 數量   1 模擬客房 套 1 2000*900*800，鋁木結構裝有四個輪子，方便移動，門使用有機玻璃，提高實用性 2 房間風機盤管 套 1 F34   功能：三檔風速度調節 3 風速調整開關     86型 4 回風口 套 1   5 空氣混合風口 套 1 帶有調節功能 6 送風管道 套 1 PVC 7 組合式風柜 套   采用PV板材制作，保溫效果好，不會結露， 8 送風機 個 1 300MM,風量2800/S 9 中央空調專業冷排 個 1 20平方 五，實訓內容 1認識中央空調的結構及設備的實訓； 2中央空調啟動和停止的實訓； 3中央空調的運行、調節操作實訓； 4對中央空調的運行工況及各運行參數進行檢測實訓； 5對可編程控制器PLC進行高級編程及PLC的安裝接線調試進行實訓； 6配套壓力、溫度傳感器和相應的A/D轉換功能模塊，可對整個中央空調的運行進行采集、實時監控等實訓； 7組態技術應用實訓：采用組態技術實現對中央空調運行進行動畫顯示，運行數據顯示、實時監控、組態等功能； 8遠程控制實訓； 9網絡的安裝及設置實訓；

高級心肺復蘇模擬人（計算機控制） 執行標準：美國心臟學會(AHA)2025國際心肺復蘇(CPR)＆心血管急救(ECC)指南標準系統.系統主要功能：（該款模擬人在培訓時間內可利用現有的資源辦公電腦進行軟件安裝即可進行培訓，退出操作程序就可以進行其他日常操作）■ 人工呼吸與胸外按壓時：模擬心臟搏動顯示、模擬心電圖顯示；■ 模擬標準氣道開放；■ 人工手位胸外按壓時：1、動態條碼指示燈顯示按壓深度；2、計數顯示；詳細記錄按壓正確和錯誤的次數，并區分錯誤的原因；3、語言提示：中文語音提示，詳細提示按壓錯誤的具體原因，以便訓練者及時改正；4、實時操作波形圖顯示按壓操作的過程；5、實時矩形圖顯示按壓深度（通過紅色、綠色、黃色、灰色直觀體現操作過程）；■ 人工口對口呼吸(吹氣)時：1、動態條碼指示燈顯示吹氣量大??；2、計數顯示；詳細記錄人工呼吸正確和錯誤的次數，并區分錯誤的原因；3、語言提示：中文語音提示，詳細提示人工呼吸錯誤的具體原因，以便訓練者及時改正；4、實時操作波形圖顯示人工呼吸操作的過程；5、實時矩形圖顯示人工呼吸量大?。ㄍㄟ^紅色、綠色、黃色、灰色直觀體現操作過程）；■ 實時操作頻率控制功能；■ 操作時間：可自由設定時間；■ 操作方式：訓練、普及考核；自定義考核；■ 語言設定：可進行語言提示設定及提示音量調節設定；或關閉語言提示設定；■ 可打印成績單；■ 可進行多媒體教學，也可進行與投影儀連接播放教學；■ 學員管理：可自由編輯學員名稱、編號、存檔；■ 操作過程可存檔、回放等功能；■ 檢查瞳孔反應：考核操作前和考核程序操作完成后模擬瞳孔由散大、縮小的自動動態變化過程的真實體現。■ 檢查頸動脈反應：用手觸摸檢查，模擬按壓操作過程中的頸動脈自動搏動反應；以及考核程序操作完成后頸動脈自動搏動反應的真實體現。 材料特點：面皮膚、頸皮膚、胸皮膚、頭發，采用進口熱塑彈性體混合膠材料，由不銹鋼摸具、經注塑機高溫注壓而成，具有解剖標志準確、手感真實、膚色統一、形態逼真、外形美觀、經久耐用、消毒清洗不變形、拆裝更換方便等特點，其材料達到國外同等水平。■  使用壽命：材料長時間不老化變質，允許操作次數為50萬次。 標準配置：高級復蘇全身人體模型             一具豪華手拉推式人體硬塑箱         一只計算機（用戶自配或選配）     一臺CPR安裝軟件                             一套復蘇操作墊                                  一條屏障面膜(50張/盒)                      一盒可換肺囊裝置                              四套可換面皮                                      兩張新操作指南光盤                      一盤新教材書                                  一本使用說明書                                  一本保修卡、合格證                          一套

成果描述：紫薯(Solanum tuberdsm)又叫黑薯，紫甘薯是根、莖和心葉都是紫色的一類甘薯品種的總稱，因為含有豐富的花青素而呈現紫色。甘薯已被世界公認為抗癌保健食品之首位，并且紫薯的營養成分含量高于普通的紅薯，其銅、賴氨酸、鉀、錳、鋅的含量高于一般紅薯的3~8倍，長期食用具有降壓、益氣、補血、養顏、潤肺之功效，在日本被譽為“太空保健食品”。紫薯具有抗氧化作用及清除自由基作用、抗腫瘤和抗突變、改善肝功能、抗高血糖作用、減肥等保健功能。由于紫薯約含65%的水分，不易保藏，紫薯采挖后進行加工利用，對提高其保藏性能具有重要意義。目前市場上有天然紫色甘薯棗、紫甘薯漿、子甘薯全粉、甘薯脯等產品的研制和產業化已受到極大地重視。本研究考慮產品使用的方便性和廣泛性，基于紫薯營養成分與大米營養成分的互補性，我們設計并開發一種速煮紫薯丁，不但能提高紫薯的保藏性能，還可以增加紫薯的商品附加值。以該工藝進行加工，得到水分含量較低 、復水前具有較好的色澤、外型、花青素保留率和復水后具有較好的色澤、外型、咀嚼性的速煮紫薯丁。該速煮紫薯丁食用方便，可用于煮湯，也可與大米混配做紫薯飯。粗糧與精糧搭配，有利于飲食營養結構的完善。市場前景分析：食品市場。與同類成果相比的優勢分析：該速煮紫薯丁食用方便，可用于煮湯，也可與大米混配做紫薯飯。粗糧與精糧搭配，有利于飲食營養結構產品質量：符合國家相關標準和衛生標準；的完善。

成果簡介：高聚物速凝注漿技術是用于土木、水利、交通、 建筑等領域的一種快速加固、養護維修技術。其主要功能包括： 對路面裂縫、脫空、結構松散、翻漿進行非開挖基層、面層一 體修復；對路基沉降及橋頭跳車、機場道面破損進行補強抬升、 修復裂縫等；對隧道、堤壩、礦山裂縫滲漏水、圍巖松散進行 快速黏結、補強、防滲。該技術需要將動力系統、壓力系統、 發泡系統組合成一個整體，開發出方便、耐用的高聚物

成果簡介（1） 運用動力學中凱恩(KANE) 動力學方程結合牛頓一歐拉算法， 對含有閉鏈結構的機器人動力學進行了分析和研究， 導出了一種新的、 計算量少的基于 KANE 方程的機器人動力學算法， 該算法是一種通用算法， 很易于計算機實現， 不僅能處理開鏈結構的機器人動力學， 還可不經拆鏈就可方便地解決含有閉鏈結構的機器人動力學；（2） 利用分布參數法結合拉格朗日方程， 提出了一種機器人彈性動力學分析方法， 導出了含有彈性構件的機器人廣義運動微分方程， 該廣義運動方程具有通

本發明屬于汽車相關技術領域，其公開了一種差速運動的電動 雙扇內擺門系統，其包括左扇門、右扇門、車門擺動機構及傳動機構。 所述車門擺動機構包括兩個門軸、設置在門框上的滑道及兩個分別與 所述左扇門及所述右扇門相連接的滾輪支架總成，所述左扇門及所述 右扇門分別連接于兩個所述門軸;所述滾輪支架總成沿所述滑道滑動。 所述傳動機構包括電機、連接于所述電機的差速器、分別連接于所述 差速器的上輸出輪及下輸出輪、兩個分別連接于兩個所述門軸的大帶 輪、由所述大帶輪驅動的雙面同步帶及由所述下輸出輪驅動的單面同步帶，兩個所

MS-450高真空多靶磁控濺射鍍膜機 真空腔室：直徑450?H400mm，1Cr18Ni9Ti優質不銹鋼材質，氬弧焊接，前開門結構； 真空系統：機械泵+分子泵（進口和國產可選）； 極限真空：優于5?10-5Pa（經烘烤除氣后）； 真空抽速：大氣～8?10-4Pa≤30min； 升降基片臺：2～6英寸基片臺，靶基距60～120mm連續在線自動可調，旋轉0～20r/min可調，可加熱至500℃（可選水冷功能），可選配偏壓清洗功能； 磁控靶：直徑3英寸2～4只（可升級成直徑4英寸靶2～3只），兼容直流和射頻，可以濺射磁性材料的靶材； 濺射電源：直流脈沖濺射電源、全自動匹配的射頻濺射電源可任選； 質量流量計：2～3路工藝氣體，可根據工藝要求增加； 膜厚監控儀：可選配國產或進口單水冷探頭膜厚儀； 控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。