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浙江大學(xué)聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù) 一、項(xiàng)目分類(lèi) 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、技術(shù)分析 如何通過(guò)超潔凈流控技術(shù)降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體制造裝備研制面臨的重大挑戰(zhàn)，直接關(guān)乎整機(jī)產(chǎn)品的產(chǎn)線應(yīng)用性能與市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。此外，作為各類(lèi)半導(dǎo)體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場(chǎng)被美國(guó)、日本等國(guó)壟斷，使我國(guó)半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)面臨核心零部件“卡脖子”風(fēng)險(xiǎn)。浙江大學(xué)流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室啟爾團(tuán)隊(duì)所承擔(dān)的高端半導(dǎo)體制造裝備核心分系統(tǒng)之一的超潔凈流控系統(tǒng)，自2004年以來(lái)在國(guó)家863計(jì)劃和國(guó)家02專(zhuān)項(xiàng)支持，聚焦超潔凈流控系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、技術(shù)攻關(guān)和產(chǎn)品研發(fā)，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產(chǎn)率的1mk級(jí)溫度測(cè)控、5ppt級(jí)金屬離子測(cè)控、20μm級(jí)氣泡測(cè)控、50nm級(jí)殘留液膜測(cè)控等關(guān)鍵核心技術(shù)，完成了超潔凈流控系統(tǒng)九大組件的研制和集成測(cè)試，為半導(dǎo)體制造設(shè)備掃描速度與產(chǎn)能的提高提供基礎(chǔ)理論與方法依據(jù)，同時(shí)自主研發(fā)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)核心超潔凈流控零部件實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，突破了國(guó)外技術(shù)的封鎖，為我國(guó)半導(dǎo)體制造的發(fā)展與自主創(chuàng)新提供了基礎(chǔ)支撐。

本發(fā)明公開(kāi)一種類(lèi)奔德斯分解的孤島微電網(wǎng)潮流計(jì)算方法，將孤島微電網(wǎng)潮流計(jì)算分解成通過(guò)傳統(tǒng)潮流計(jì)算子問(wèn)題和下垂節(jié)點(diǎn)更新子問(wèn)題，對(duì)下垂節(jié)點(diǎn)進(jìn)行等效后進(jìn)行初始化；基于系統(tǒng)角頻率，更新負(fù)荷和線路阻抗參數(shù)；通過(guò)傳統(tǒng)潮流計(jì)算子問(wèn)題，求解作為平衡節(jié)點(diǎn)的下垂節(jié)點(diǎn)和作為PV節(jié)點(diǎn)的下垂節(jié)點(diǎn)的相關(guān)變量參數(shù)；然后通過(guò)系統(tǒng)前后兩次迭代狀態(tài)變量之差來(lái)判斷算法是否收斂：若收斂，停止迭代獲得最終潮流解；若不收斂，通過(guò)下垂節(jié)點(diǎn)更新子問(wèn)題，修正或求解作為平衡節(jié)點(diǎn)的下垂節(jié)點(diǎn)和作為PV節(jié)點(diǎn)的下垂節(jié)點(diǎn)相關(guān)變更參數(shù)；以此方式交替迭代，獲得最終的

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 北創(chuàng)微信圖書(shū)館 查詢、借閱、豐富的互動(dòng)功能 多元化的查詢功能 可根據(jù)關(guān)鍵字、時(shí)間段來(lái)查詢圖書(shū)、期刊的館藏信息，一鍵登錄查詢讀者的個(gè)人借閱圖書(shū)情況、圖書(shū)館公告信息。 一鍵綁定 輸入讀者賬號(hào)和密碼，可與微信號(hào)一鍵綁定讀者證，生成獨(dú)有二維碼。 豐富的互動(dòng)功能 1.讀者可暢所欲言 2.讀者可按自身喜好給圖書(shū)評(píng)分 3.擁有圖書(shū)推薦功能

醫(yī)藥工業(yè)的片劑將更新?lián)Q代為具有緩釋、控釋功能的制劑。為了能夠包衣，需要開(kāi)發(fā)以工業(yè)方法制備的大小均一、圓球度好的球形芯丸。化工行業(yè)的催化劑、分子篩等產(chǎn)品也都需要制備成球形顆粒。球形顆粒的表面積最大，其充填密度最高。顆粒產(chǎn)品取代粉體產(chǎn)品，將改善后續(xù)操作中粉體流動(dòng)性，減少環(huán)境污染，提高利用率。在所有的造粒方法中，球形顆粒的質(zhì)量最好，球形顆粒的商品外觀質(zhì)量也最好。由華東理工大學(xué)發(fā)明的球形微丸造粒機(jī)創(chuàng)造性地應(yīng)用了五種科學(xué)原理：塑性造粒原理、最小勢(shì)能原理、三維隨機(jī)原理、多種力相互作用原理和流化床與機(jī)械法相結(jié)合的原理，采用該設(shè)備制造的產(chǎn)品成品率高，以醫(yī)藥輔料微晶纖維素作為原料造粒為例，成品率可達(dá)90%以上，球粒大小均勻，不需篩選。同時(shí)球形造粒能夠十分快速地進(jìn)行，效率高，一批料只需?分鐘。設(shè)備操作簡(jiǎn)單，無(wú)易損件，設(shè)備使用壽命長(zhǎng)。該設(shè)備獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利。專(zhuān)利號(hào)：ZL99239875.4。2003年3月獲“第十二屆全國(guó)星火杯創(chuàng)造發(fā)明競(jìng)賽一等獎(jiǎng)，2002年10月獲上海市優(yōu)秀發(fā)明一等獎(jiǎng)。2003年3月獲上海市科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

項(xiàng)目簡(jiǎn)介本課題采用可生物降解的海藻酸鈉作為載藥材料，發(fā)明一種載藥緩釋系統(tǒng)，充分發(fā)揮海藻酸鈉自膨脹、緩慢降解特性，維持局部血藥濃度，從而達(dá)到最佳治療效 果。在血管栓塞治療中，與傳統(tǒng)的栓塞劑碘油相比，維持藥效時(shí)間更長(zhǎng)，栓塞確切有效。海藻酸鈉微球具有生物可降解性和組織相容性，其安全、無(wú)毒、降解周期可控、無(wú)長(zhǎng)期異物刺激以及介入部位疼痛輕微或無(wú)疼痛感等特點(diǎn)。該產(chǎn)品的顆粒表面帶有一定的負(fù)電荷，使顆粒之間相斥，在儲(chǔ)存和使用中不凝聚、不堵管，在體內(nèi)膨脹并嵌頓在使用部位，定位性更好。為今后研究開(kāi)發(fā)生物“多功能微球”創(chuàng)造了良好的平臺(tái)。以可生物降解的海藻酸鈉為主要材料包裹臨床一線使用的抗癌藥物多柔比星或柔紅霉素，通過(guò)不同的裝載藥物的方法的對(duì)比，尋找出了最佳方法和條件，制備了具有緩釋功能的多柔比星－海藻酸鈉微球、柔紅霉素－海藻酸鈉微球。粒徑和降解時(shí)間可控可調(diào)，藥物/載體比高于50%，包封率最高達(dá)到 99.5%。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì) 齊憲榮教授現(xiàn)任北京大學(xué)藥學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師、北京市藥學(xué)會(huì)藥劑專(zhuān)業(yè)委員會(huì)委員、中國(guó)藥學(xué)會(huì)藥劑專(zhuān)業(yè)委員會(huì)委員、藥物技術(shù)創(chuàng)新服務(wù)專(zhuān)業(yè)委員會(huì)副主任委員等。齊憲榮教授擔(dān)任國(guó)家“外專(zhuān)千人”和“高端人才”計(jì)劃評(píng)審專(zhuān)家，國(guó)家重點(diǎn)新產(chǎn)品計(jì)劃評(píng)審專(zhuān)家，國(guó)家自然科學(xué)基金、博士后科學(xué)基金、北京市自然科學(xué)基金、北京市中小企業(yè)創(chuàng)新基金、 北京市企業(yè)研究開(kāi)發(fā)項(xiàng)目等評(píng)審專(zhuān)家。 齊憲榮教授主要研究方向?yàn)榘邢蜻f送系統(tǒng)、納米技術(shù)與生物技術(shù)的研究。作為第一完成人，齊憲榮教授獲 2001 年度北京市科技進(jìn)步獎(jiǎng)；作為主要完成人，獲得教育部自然科學(xué)獎(jiǎng)、中國(guó)中西醫(yī)結(jié)合學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)等多項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)。應(yīng)用范圍 本研究以海藻酸鈉微球?yàn)槠脚_(tái)，可通過(guò)介入治療學(xué)方法，治療肝癌、腎癌等實(shí)體腫瘤，也可用于植入給藥或腫瘤瘤周注射等治療惡性腫瘤。項(xiàng)目階段 臨床前研究。知識(shí)產(chǎn)權(quán)已經(jīng)獲得相關(guān)專(zhuān)利授權(quán)。合作方式 技術(shù)轉(zhuǎn)讓。

鼻腔微創(chuàng)支架是劉俊秀教授的科研成果，包括鼻腔支架、鼻前庭支架及后鼻孔支架，是放置于鼻腔，用于鼻術(shù)后鼻腔填塞，用于替代手術(shù)治療鼻堵的保守微創(chuàng)方法。在改善鼻阻塞、治療阻塞性睡眠呼吸暫停低通氣綜合癥方面具有良好的效果。

本課題采用可生物降解的海藻酸鈉作為載藥材料，發(fā)明一種載藥緩釋系統(tǒng)，充分發(fā)揮海藻酸鈉自膨脹、緩慢降解特性，維持局部血藥濃度，從而達(dá)到最佳治療效 果。在血管栓塞治療中，與傳統(tǒng)的栓塞劑碘油相比，維持藥效時(shí)間更長(zhǎng)，栓塞確切有效。 海藻酸鈉微球具有生物可降解性和組織相容性，其安全、無(wú)毒、降解周期可控、無(wú)長(zhǎng)期異物刺激以及介入部位疼痛輕微或無(wú)疼痛感等特點(diǎn)。該產(chǎn)品的顆粒表面帶有一定的負(fù)電荷，使顆粒之間相斥，在儲(chǔ)存和使用中不凝聚、不堵管，在體內(nèi)膨脹并嵌頓在使用部位，定位性更好。為今后研究開(kāi)發(fā)生物“多功能微球”創(chuàng)造了良好的平臺(tái)。 以可生物降解的海藻酸鈉為主要材料包裹臨床一線使用的抗癌藥物多柔比星或柔紅霉素，通過(guò)不同的裝載藥物的方法的對(duì)比，尋找出了最佳方法和條件，制備了具有緩釋功能的多柔比星－海藻酸鈉微球、柔紅霉素－海藻酸鈉微球。粒徑和降解時(shí)間可控可調(diào)，藥物/載體比高于50%，包封率最高達(dá)到99.5%。

此專(zhuān)利產(chǎn)品用于給水或污水處理的混凝（絮凝）工藝，用于在絮凝反應(yīng)區(qū)形成微小 渦流和懸浮泥渣層。微渦流絮凝器為空心球形結(jié)構(gòu)、表面開(kāi)有小孔（孔徑和開(kāi)孔率）、 采用塑料并添加少量調(diào)節(jié)比重和增強(qiáng)吸附性的材料制作、容重略大于水，具有以下特性： 1.無(wú)方向性，直接投入水中使用，不需要固定安裝； 2.工廠化批量生產(chǎn)，改造工程施工期短，便于推廣應(yīng)用； 3.水流過(guò)孔速度變化，加之壁面磨擦阻力，使水流產(chǎn)生微渦旋； 4.材料強(qiáng)度好，無(wú)毒性，耐腐蝕，抗老化，使用壽命長(zhǎng)； 在水流中可浮動(dòng)和旋轉(zhuǎn)，不易被漂浮物堵塞。

成果創(chuàng)新點(diǎn) 1.在光學(xué)微腔器件的晶體腔加工、PPLN 微腔加工、微 腔耦合與封裝、微腔超高 Q 值檢測(cè)方面，分別提出了先進(jìn) 而完善的實(shí)施方案，并申請(qǐng)了相關(guān)發(fā)明專(zhuān)利。現(xiàn)有晶體微 腔 Q 值國(guó)內(nèi)最高水平 106，國(guó)外達(dá)到 109，本項(xiàng)目可優(yōu)于 108， 從而達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，國(guó)際先進(jìn)水平。 2.在光學(xué)微腔器件應(yīng)用方面，研發(fā)例如超窄線寬激光 器（精密測(cè)量、物理量精密傳感）、超窄線寬濾波器（激 光技術(shù)