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用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉(zhuǎn)化
二、成果簡介
現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產(chǎn)過程中，薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規(guī)技術路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無法實現(xiàn)的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術難以制造。
為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發(fā)明技術有助于新材料的研發(fā)和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發(fā)展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內(nèi)腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內(nèi)注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅(qū)使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發(fā)明還公開一種實 現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內(nèi)，將噴嘴內(nèi)腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質(zhì)量分數(shù)的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經(jīng)羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發(fā)明制備方法實現(xiàn)了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現(xiàn)工業(yè)化。制得的薄膜光譜調(diào)節(jié)范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環(huán)壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
PT100型號薄膜鉑電阻低溫溫度計PI封裝
北京錦正茂科技有限公司
2022-03-26
PT100型號薄膜鉑電阻低溫溫度計低溫實驗
北京錦正茂科技有限公司
2022-06-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發(fā)明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質(zhì)層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
斜生纖孔菌鯊烯合酶基因及其編碼的蛋白質(zhì)和應用
本發(fā)明公開了一種斜生纖孔菌鯊烯合酶基因及其編碼的蛋白質(zhì)與用途，本發(fā)明所提供的鯊烯合酶基因具有SEQ ID NO.1所示的核苷酸序列或者添加、取代、插入或缺失一個或多個核苷酸的同源序列或其等位基因及其衍生的核苷酸序列。所示基因編碼的蛋白質(zhì)具有SEQ ID NO.2所示的氨基酸序列或者添加、取代、插入或缺失一個或多個氨基酸的同源序列。本發(fā)明提供的鯊烯合酶基因可以通過基因工程技術提高斜生纖孔菌中樺褐孔菌醇的含量，可用于利用轉(zhuǎn)基因技術來提高斜生纖孔菌中樺褐孔菌醇含量的研究和產(chǎn)業(yè)化中。而這些次生代謝產(chǎn)物在臨床上具有抗腫瘤、防治艾滋病等潛在的應用價值，對保護人民的健康生長有所幫助。因而本發(fā)明具有很大的應用前景。
江蘇師范大學
2021-04-11
用于測量雙柱水平開合隔離開關觸指夾緊力的測力觸頭
本實用新型公開了一種用于測量雙柱水平開合隔離開關觸指夾緊力的測力觸頭。現(xiàn)有的檢測裝置都是檢測觸頭在完全閉合時的夾緊力，無法檢測到開合閘過程中觸頭觸指壓力的變化情況。本實用新型采用的技術方案為：基座上開有至少一個用于將其安裝在觸頭主體上的安裝孔，基座的內(nèi)部設有一可左右移動的力傳感器；所述基座的兩側(cè)各設有一過渡座，該過渡座的外側(cè)壁上固定連接一接觸頭，所述力傳感器的左、右側(cè)分別與兩個過渡座固定連接，過渡座與基座之間存在使過渡座可左右移動的間隙。本實用新型的測力觸頭可以替換原來的導電觸頭，且能夠讀出在開合閘過程中力的變化，而不僅僅是測量合閘后的夾緊力。
浙江大學
2021-04-13
一種倒裝鍵合設備中用于各向異性導電膠的熱壓裝置
本發(fā)明公開了一種倒裝鍵合設備中用于各向異性導電膠的熱壓裝置，用于倒裝鍵合設備中對導電膠進行熱壓，其特征在于，該熱壓裝置包括：壓頭組件（2），用于對導向膠進行熱壓；導向組件（1），其設置在一支撐基座（4）上，所述壓頭組件（2）設置在該導向組件（1）上，所述壓頭組件（2）通過該導向組件（1）進行導向移動以完成熱壓；驅(qū)動組件（5），其設置在所述導向組件（1）一側(cè)，用于驅(qū)動所述導向組件（1）直線移動，以實現(xiàn)其對壓頭組件（2）的導向移動。本發(fā)明的裝置能夠方便的實現(xiàn)熱壓工藝中的熱壓過程，并且具備壓力穩(wěn)定性和精度
華中科技大學
2021-04-14