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本實(shí)用新型公開(kāi)了用于高頻海洋雷達(dá)的雙頻收發(fā)共桿天線系統(tǒng)，該系統(tǒng)將可在雙頻下同時(shí)接收雷達(dá)回波信號(hào)的兩個(gè)水平正交環(huán)天線和可在雙頻下交替用于發(fā)射和接收雷達(dá)信號(hào)的垂直單極子組合在一根支桿上；用于目標(biāo)方向測(cè)定（DF）時(shí)，利用兩個(gè)正交環(huán)接收回波信號(hào)的內(nèi)在本質(zhì)特征直接得到接收天線的理想方向性圖，不需要進(jìn)行天線方向性圖的麻煩的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量；而且同時(shí)采用兩個(gè)頻率工作的雷達(dá)極大地提高了探測(cè)性能。天線支桿組成單極子的一部分，具有很強(qiáng)的剛性，因而使該天線系統(tǒng)固定在混凝土基座上不需要拉繩。

本發(fā)明提供一種在深共晶溶液中電鍍鐵的方法，屬于電鍍科學(xué)領(lǐng)域。由氯化膽堿和乙二醇按照1∶2的摩爾比混合，在溫度為20℃～100℃的油浴中加熱保溫10min～4h，得到深共晶溶液，再加入亞鐵鹽與抗氧化劑，繼續(xù)攪拌至完全溶解，最后將所得溶液放入真空環(huán)境中保持恒溫30～80℃，持續(xù)24h，得到所需的電鍍液。

項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容： 傳統(tǒng)塑料降解性能和生物相容性差，使用后由于不能 生物降解照成嚴(yán)重的 “白色污染 ”。本項(xiàng)目利用自制的低聚乳酸（ OLA ）與 現(xiàn)有的芳香族聚酯聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯（ PET）以及第二組分聚乙二醇 進(jìn)行反應(yīng)性共混， 得到可生物降解脂肪 /芳香共聚酯； 通過(guò)對(duì)原料、 投料比 以及反應(yīng)條件的選擇，使力學(xué)性能、生物降解性以及生產(chǎn)成本最優(yōu)，成膜 透明性能很好。 技術(shù)特點(diǎn) ：與同類普通

本項(xiàng)目將以高分子聚丙烯（PP）為主要原料，添加適量的玄武巖纖維或聚酰胺，利用環(huán)氧樹(shù)脂作粘合劑，采用計(jì)算機(jī)優(yōu)化技術(shù)，探討經(jīng)三元共混、改性，調(diào)整玄武纖維與聚酰胺配方劑量，使其在不同條件下共混的基本原理并掌握其操作技巧，達(dá)到既改進(jìn)PP材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)、又提高了自我科學(xué)研究的動(dòng)手能力，研制出硬度與沖擊強(qiáng)度和韌性梯度都很好的新型PP塑料合金，以滿足日溢增多的汽車工業(yè)中用的保險(xiǎn)杠、儀表板、內(nèi)、外裝飾件、工業(yè)零配件、日用包裝、兵器和航天等領(lǐng)域所需的新型材料。

項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:本實(shí)用新型公開(kāi)了用于高頻海洋雷達(dá)的雙頻收發(fā)共桿天線系統(tǒng)，該系統(tǒng)將可在雙頻下同時(shí)接收雷達(dá)回波信號(hào)的兩個(gè)水平正交環(huán)天線和可在雙頻下交替用于發(fā)射和接收雷達(dá)信號(hào)的垂直單極子組合在一根支桿上；用于目標(biāo)方向測(cè)定（DF）時(shí)，利用兩個(gè)正交環(huán)接收回波信號(hào)的內(nèi)在本質(zhì)特征直接得到接收天線的理想方向性圖，不需要進(jìn)行天線方向性圖的麻煩的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量；而且同時(shí)采用兩個(gè)頻率工作的雷達(dá)極大地提高了探測(cè)性能。天線支桿組成單極

一、立項(xiàng)背景 繼電保護(hù)是保障電網(wǎng)安全運(yùn)行的第一道防線。自上世紀(jì)80年代微機(jī)保護(hù)應(yīng)用以來(lái)，歷經(jīng)多次更新?lián)Q代，我國(guó)繼電保護(hù)技術(shù)一直處于世界先進(jìn)水平，為保障電網(wǎng)安全做出了突出貢獻(xiàn)。隨著智能電網(wǎng)的發(fā)展、超/特高壓遠(yuǎn)距離輸電大通道的建設(shè)、區(qū)域電網(wǎng)的廣泛互聯(lián)和波動(dòng)性新能源的規(guī)模化接入，我國(guó)已建成世界上規(guī)模最大、結(jié)構(gòu)最復(fù)雜的電網(wǎng)。電網(wǎng)的快速發(fā)展給繼電保護(hù)帶來(lái)了嚴(yán)峻挑戰(zhàn)： 1、后備保護(hù)方面，由于電網(wǎng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，運(yùn)行方式多變，造成后備保護(hù)定值更難整定，保護(hù)選擇性和靈敏性的矛盾更加突出，保護(hù)拒動(dòng)誤動(dòng)風(fēng)險(xiǎn)并存。國(guó)內(nèi)已發(fā)生多起類似“6.18”西安南郊站，因后備保護(hù)靈敏性不足拒動(dòng)，造成變壓器燒毀的重大事故；國(guó)際上屢屢發(fā)生的因潮流轉(zhuǎn)移過(guò)負(fù)荷，后備保護(hù)誤動(dòng)引發(fā)的如美加“8.14”、印度“7.30”等大停電事故，也不斷地對(duì)我國(guó)電網(wǎng)敲響警鐘。 2、主保護(hù)方面，超/特高壓電氣設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、線路距離長(zhǎng)，短路電流變化大，造成主保護(hù)對(duì)變壓器匝間短路、線路高阻接地等輕微故障的反應(yīng)靈敏性下降。“11.22”濟(jì)南特高壓泉城站變壓器爆炸正是由于保護(hù)對(duì)起始發(fā)生的輕微故障未能靈敏切除，引起事故擴(kuò)大，造成了重大人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。 這些問(wèn)題已成為我國(guó)電網(wǎng)安全運(yùn)行的重大隱患！問(wèn)題的癥結(jié)在于傳統(tǒng)保護(hù)僅利用設(shè)備自身的電氣量信息，在復(fù)雜電網(wǎng)環(huán)境下，保護(hù)反應(yīng)的電氣量在故障和非故障間差異變小甚至混疊，依靠定值配合無(wú)法保證保護(hù)可靠正確動(dòng)作。不改變傳統(tǒng)保護(hù)工作模式，僅對(duì)保護(hù)判據(jù)進(jìn)行修正或調(diào)整定值，只能在一定程度上單方面地解決保護(hù)拒動(dòng)或誤動(dòng)的問(wèn)題。 二、發(fā)明思路 突破保護(hù)僅利用設(shè)備自身信息的限制，綜合利用站間保護(hù)關(guān)聯(lián)邏輯量、站域故障全過(guò)程電氣量等信息，對(duì)后備保護(hù)、主保護(hù)、系統(tǒng)構(gòu)成模式進(jìn)行全面創(chuàng)新，構(gòu)建“站域集中-站間分布式”新型保護(hù)系統(tǒng)。   圖1 技術(shù)發(fā)明總體思路 三、發(fā)明方案 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)1：基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù) 傳統(tǒng)后備保護(hù)既存在對(duì)相鄰元件故障反應(yīng)能力不足，保護(hù)拒動(dòng)的問(wèn)題，又存在受過(guò)負(fù)荷和系統(tǒng)振蕩影響，保護(hù)誤動(dòng)的問(wèn)題。針對(duì)上述問(wèn)題，該項(xiàng)目發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法；創(chuàng)造性地將故障的空間分布特征映射為站間的保護(hù)關(guān)聯(lián)邏輯量信息，首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)，攻克了保護(hù)不誤動(dòng)和不拒動(dòng)無(wú)法兼顧的難題。 發(fā)明點(diǎn)1.1：發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法，為保護(hù)可靠利用站間信息奠定了基礎(chǔ)。 快速跟蹤和可靠識(shí)別電網(wǎng)拓?fù)涞淖兓_定保護(hù)的關(guān)聯(lián)關(guān)系，是保護(hù)利用站間信息首先要解決的關(guān)鍵問(wèn)題。發(fā)明了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系在線快速跟蹤和可靠性校核方法，關(guān)鍵技術(shù)包括：1）提出了基于虛擬阻抗矩陣的保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系分析方法，創(chuàng)造性地將開(kāi)關(guān)狀態(tài)虛擬為支路阻抗并構(gòu)建節(jié)點(diǎn)虛擬阻抗矩陣，在線微調(diào)矩陣元素即可實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)狀態(tài)的快速跟蹤，跟蹤時(shí)間由秒級(jí)縮短至毫秒級(jí)，為后備保護(hù)快速動(dòng)作提供了可靠保障；2）發(fā)明了電氣量和開(kāi)關(guān)量信息雙重約束的關(guān)聯(lián)關(guān)系可靠性校核方法，首次將電氣量信息引入保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系識(shí)別，通過(guò)開(kāi)關(guān)量信息和電氣量信息實(shí)時(shí)匹配校驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)了保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的可靠在線校核。 發(fā)明點(diǎn)1.2：首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)，攻克了保護(hù)不誤動(dòng)和不拒動(dòng)無(wú)法兼顧的難題。 電流元件、方向元件、阻抗元件等保護(hù)邏輯量信息，蘊(yùn)涵著故障方向、故障范圍等故障直接特征，并且信息交互簡(jiǎn)單、可靠。根據(jù)不同位置保護(hù)邏輯量反應(yīng)故障的差異化特征，發(fā)明了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)。關(guān)鍵技術(shù)包括：1）首次將電網(wǎng)故障的空間分布特征映射為保護(hù)邏輯量信息，按近后備和遠(yuǎn)后備靈敏性要求設(shè)定保護(hù)范圍，實(shí)現(xiàn)了邏輯量信息與故障分布特征的關(guān)聯(lián)和匹配，解決了保護(hù)強(qiáng)依賴定值的問(wèn)題；2）首創(chuàng)了基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)（如圖2所示）。利用邏輯量對(duì)故障反應(yīng)的交叉重疊特征，根據(jù)動(dòng)作一致性原則，既實(shí)現(xiàn)了故障設(shè)備的快速準(zhǔn)確識(shí)別，又從根本上攻克了系統(tǒng)振蕩及過(guò)負(fù)荷造成保護(hù)誤動(dòng)的難題。 基于站間邏輯量信息的后備保護(hù)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)近后備保護(hù)全范圍速動(dòng)，遠(yuǎn)后備保護(hù)延時(shí)由1.5s以上縮短至0.5s以內(nèi)；在原理上保證了對(duì)相鄰元件故障反應(yīng)的靈敏性，避免了后備保護(hù)拒動(dòng)導(dǎo)致的重大事故發(fā)生；不受系統(tǒng)振蕩和過(guò)負(fù)荷影響，避免了保護(hù)誤動(dòng)引發(fā)的連鎖跳閘和系統(tǒng)性事故發(fā)生。   圖2 基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù) 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)2：基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù) 現(xiàn)有電氣設(shè)備主保護(hù)僅反應(yīng)故障外在表現(xiàn)特征，在變壓器匝間短路及線路高阻接地等輕微故障情況下，外部故障與內(nèi)部故障特征差異不明顯，易造成保護(hù)拒動(dòng)。為解決上述問(wèn)題，該項(xiàng)目基于故障的物理本質(zhì)特征，揭示了故障導(dǎo)致電氣設(shè)備模型參數(shù)變化的機(jī)理，利用故障全過(guò)程電氣量信息，構(gòu)建了可靈敏反應(yīng)設(shè)備參數(shù)變化的故障模型，發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù)，顯著提升了對(duì)輕微故障的反應(yīng)能力。 發(fā)明點(diǎn)2.1：首創(chuàng)了可反應(yīng)變電站電氣設(shè)備參數(shù)變化的故障模型，從物理本質(zhì)上消除了非故障因素對(duì)主保護(hù)靈敏性的影響。 突破主保護(hù)僅反應(yīng)故障外在表現(xiàn)特征的局限，利用設(shè)備故障全過(guò)程全相電氣量信息，建立了對(duì)故障高靈敏而對(duì)非故障不敏感的模型。關(guān)鍵技術(shù)包括：1）發(fā)明了基于線路壓降-阻抗聯(lián)合分布的故障網(wǎng)絡(luò)模型，建立了線路阻抗、過(guò)渡電阻及分布電容壓降之間的幅值、相位關(guān)聯(lián)關(guān)系，創(chuàng)建了僅保留線路阻抗壓降分布情況的故障網(wǎng)絡(luò)模型（如圖3所示）；2）發(fā)明了基于電壓磁鏈方程的變壓器故障模型，建立了變壓器高、中、低壓各側(cè)繞組電壓與主磁鏈、漏磁鏈的等值平衡關(guān)系，消除主磁鏈的非線性成分，建立了僅反應(yīng)漏磁鏈變化的變壓器故障模型（如圖4所示），從原理上擺脫了分布電容電流、負(fù)荷電流、勵(lì)磁涌流等非故障因素的影響。 發(fā)明點(diǎn)2.2：發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了保護(hù)對(duì)輕微故障反應(yīng)能力的大幅提升。 利用站域故障全過(guò)程電氣量信息，反應(yīng)故障前后模型參數(shù)的變化情況以及三相不一致程度，發(fā)明了基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù)。關(guān)鍵技術(shù)包括：1) 發(fā)明了基于阻抗壓降變化特征的線路主保護(hù)技術(shù)，構(gòu)建了線路壓降-阻抗參數(shù)關(guān)聯(lián)矩陣，通過(guò)實(shí)時(shí)追蹤矩陣中各元素的變化量以及元素間的差異，準(zhǔn)確識(shí)別故障線路及故障位置（如圖5所示）；2) 計(jì)及CT誤差、變壓器有載調(diào)壓對(duì)保護(hù)的影響，實(shí)時(shí)計(jì)算各相等效漏感參數(shù)的突變量及不一致程度，發(fā)明了基于等效漏感參數(shù)變化特征的變壓器主保護(hù)技術(shù)（如圖6所示），顯著提升了保護(hù)對(duì)變壓器輕微匝間短路識(shí)別的靈敏性。 基于故障全過(guò)程電氣量信息的主保護(hù)技術(shù)可以做到變壓器匝間短路識(shí)別死區(qū)由5%降至2%，500kV線路接地故障過(guò)渡電阻反應(yīng)能力由300Ω提升至1000Ω，故障定位誤差由5%下降至1.3%。實(shí)現(xiàn)了對(duì)電氣設(shè)備輕微故障的靈敏切除，可有效避免事故擴(kuò)大造成的重大人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。 技術(shù)發(fā)明點(diǎn)3：站域集中-站間分布式新型保護(hù)系統(tǒng) 構(gòu)建基于故障全過(guò)程邏輯量、電氣量信息的新型保護(hù)系統(tǒng)是對(duì)百年歷史繼電保護(hù)模式的重大變革，除滿足復(fù)雜電網(wǎng)對(duì)繼電保護(hù)的要求外，還需要考慮工程實(shí)現(xiàn)的可行性、應(yīng)用場(chǎng)景的適用性和運(yùn)行維護(hù)的便利性等重大工程應(yīng)用問(wèn)題。該項(xiàng)目首創(chuàng)了站域集中-站間分布式的新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式，實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)保護(hù)的有機(jī)銜接，可靈活組態(tài)適用各種電網(wǎng)應(yīng)用場(chǎng)景；發(fā)明了基于時(shí)間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù)、基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù)，為新型保護(hù)系統(tǒng)信息交互提供了可靠保障。 發(fā)明點(diǎn)3.1：首創(chuàng)了站域集中-站間分布式的新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式，奠定了新型保護(hù)系統(tǒng)在不同電壓等級(jí)電網(wǎng)推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。 該項(xiàng)目創(chuàng)建了“站域集中-站間分布式”的新型保護(hù)系統(tǒng)（如圖7所示），實(shí)現(xiàn)了發(fā)明點(diǎn)1和2技術(shù)的工程推廣應(yīng)用。關(guān)鍵技術(shù)包括：1）發(fā)明了以間隔為基本單元的站域集中-站間分布式保護(hù)構(gòu)成模式。間隔單元做到“即插即用”，擴(kuò)展性強(qiáng)，可靈活組態(tài)適用各種電網(wǎng)應(yīng)用場(chǎng)景；站域主機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)站內(nèi)信息的融合與優(yōu)化利用；相鄰站域主機(jī)虛擬為變電站間隔單元，實(shí)現(xiàn)站間分布對(duì)等交互信息。該模式通信鏈路清晰簡(jiǎn)捷，易于工程實(shí)現(xiàn)；2）發(fā)明了新型保護(hù)系統(tǒng)與傳統(tǒng)保護(hù)的集成與自適應(yīng)轉(zhuǎn)化技術(shù)。新型保護(hù)系統(tǒng)在傳統(tǒng)保護(hù)基礎(chǔ)上集成故障全過(guò)程信息進(jìn)化形成，在故障信息缺失的極端情況下仍具備傳統(tǒng)保護(hù)功能。新型保護(hù)系統(tǒng)可充分傳承傳統(tǒng)保護(hù)成熟的運(yùn)維經(jīng)驗(yàn)，實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)保護(hù)之間的有機(jī)銜接。   發(fā)明點(diǎn)3.2：發(fā)明了基于時(shí)間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù)、基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù)，保證了新型保護(hù)系統(tǒng)的可靠性。 基于新型保護(hù)系統(tǒng)構(gòu)成模式，發(fā)明了站域、站間信息交互可靠性保障技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了異常數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)校核與缺失數(shù)據(jù)的自適應(yīng)替代。關(guān)鍵技術(shù)包括：1）發(fā)明了基于時(shí)間序列特征和電氣量物理約束的數(shù)據(jù)校核技術(shù)，在線修正異常采樣數(shù)據(jù)，解決了電氣量在采樣或傳輸中出現(xiàn)畸變而影響保護(hù)動(dòng)作性能的難題；2）發(fā)明了基于保護(hù)關(guān)聯(lián)關(guān)系的數(shù)據(jù)自適應(yīng)替代技術(shù)，在間隔單元CT斷線、PT斷線等信息源丟失情況下，通過(guò)數(shù)據(jù)互補(bǔ)重構(gòu)實(shí)現(xiàn)缺失數(shù)據(jù)的自適應(yīng)替代，保證了保護(hù)功能的完整性，有效提升了保護(hù)的可靠 四、創(chuàng)新性成果 該項(xiàng)目攻克了傳統(tǒng)保護(hù)不誤動(dòng)、不拒動(dòng)無(wú)法兼顧的難題，取得了以下關(guān)鍵技術(shù)突破： 1、基于站間邏輯量信息一致性特征的后備保護(hù)技術(shù)，保護(hù)最長(zhǎng)動(dòng)作時(shí)間縮短至500ms以內(nèi)，徹底解決了遠(yuǎn)后備保護(hù)拒動(dòng)，以及受系統(tǒng)振蕩和過(guò)負(fù)荷影響誤動(dòng)的問(wèn)題； 2、基于故障模型參數(shù)異變特征的主保護(hù)技術(shù)，顯著提升了保護(hù)對(duì)輕微故障的反應(yīng)能力； 3、站域集中-站間分布式新型保護(hù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了保護(hù)技術(shù)在不同電網(wǎng)場(chǎng)景下的廣泛應(yīng)用。

本技術(shù)采用自主開(kāi)發(fā)的流場(chǎng)結(jié)構(gòu)化新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器，通過(guò)特殊的內(nèi)構(gòu)件設(shè)計(jì)與 組合，實(shí)現(xiàn)反應(yīng)器內(nèi)氣 (醇) 液 (酸) 呈現(xiàn)鼓泡式逆向流動(dòng)，反應(yīng)器內(nèi)局部與整體混合狀況均良 好，溫度分布、停留時(shí)間及壓降等操作條件可控，有效的耦合了聚酯多元醇或增塑劑生產(chǎn)過(guò)程 中酯化反應(yīng)過(guò)程和移走副產(chǎn)物小分子的精餾過(guò)程，強(qiáng)化了小分子副產(chǎn)物的分離效率，實(shí)現(xiàn)了傳 質(zhì)傳熱和反應(yīng)過(guò)程的耦合強(qiáng)化，使過(guò)程效率大幅提高。以PEA為例，生產(chǎn)周期可從傳統(tǒng)的20多 小時(shí)縮短至6個(gè)小時(shí)，酸值等即可達(dá)到指標(biāo)要求。該技術(shù)不但節(jié)能降耗，提高產(chǎn)品品質(zhì)，還可 滿足柔性化生產(chǎn)要求。其主要技術(shù)特點(diǎn)： 1. 流場(chǎng)結(jié)構(gòu)化新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器中氣液呈鼓泡式逆向流動(dòng)，反應(yīng)器內(nèi)局部和整體流 型可調(diào)控，無(wú)死區(qū)。 2. 新型立式鼓泡塔式反應(yīng)器采用多段組合的連接方式，拆裝方便，反應(yīng)器內(nèi)物料停留時(shí) 間、溫度分布等可調(diào)控，自動(dòng)化程度高。 3. 連續(xù)化技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，酸值低，水含量低。 4. 該連續(xù)化生產(chǎn)技術(shù)可大幅縮短生產(chǎn)周期，大大減少能耗等。 5. 該連續(xù)化生產(chǎn)技術(shù)適應(yīng)性強(qiáng)，操作彈性大，適合多種聚酯多元醇和增塑劑的柔性化生 產(chǎn)。

"本發(fā)明公開(kāi)了一種多元鈣鈦礦材料及其制備與應(yīng)用，其中該多元鈣鈦礦材料為多元全無(wú)機(jī)金屬非鉛鹵鹽，并且具有鈣鈦礦結(jié)構(gòu)；所述 多 元 鈣 鈦 礦 材 料 的 化 學(xué) 式 滿 足 ： <imgfile=""DDA0001316404480000011.GIF"" wi=""496"" he=""88""/>其中，0≤ x ≤ 1 ， 0 ≤ y ≤ 1 ， A 為 Cs⁺ ， B<sup&

一種用于預(yù)測(cè)多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測(cè)方法 一、項(xiàng)目分類 顯著效益成果轉(zhuǎn)化 二、成果簡(jiǎn)介 現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產(chǎn)過(guò)程中，薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預(yù)期獲得納微復(fù)雜結(jié)構(gòu)的復(fù)合薄膜，按照常規(guī)技術(shù)路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。同時(shí)，采用合金靶材制備某些多元薄膜時(shí)，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術(shù)難以制造。 為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預(yù)測(cè)多元拼合靶材制備的薄膜成分的預(yù)測(cè)方法，利用本發(fā)明技術(shù)有助于新材料的研發(fā)和促進(jìn)半導(dǎo)體器件、切削刀具涂層等高新技術(shù)的發(fā)展。