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高等教育領(lǐng)域數(shù)字化綜合服務(wù)平臺
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基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
“虛擬工藝”軟件可由標(biāo)準(zhǔn)工藝流程文件和掩膜版圖文件，模擬出所要加工的MEMS器件的真實(shí)三維結(jié)構(gòu)，具有良好的通用性和精度。下圖為自主開發(fā)的“虛擬工藝”軟件生成的微夾鉗三維結(jié)構(gòu)。 “虛擬運(yùn)行”軟件對器件的運(yùn)動情況進(jìn)行仿真，并與最初設(shè)計方案比較來指導(dǎo)和修正實(shí)際加工。下圖顯示了微夾鉗的虛擬運(yùn)行結(jié)果，圖中的器件顏色表示了器件運(yùn)動時的劇烈程度，紅色表示變形最劇烈的部分，淡藍(lán)色表示變形較小的部分。
南開大學(xué)
2021-04-14
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安徽大學(xué)在氮化鎵功率器件研究領(lǐng)域取得新進(jìn)展
本工作中，基于安徽大學(xué)微納加工平臺以及香港科技大學(xué)納米系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)制造中心聯(lián)合制造出了兩款氮化鎵功率器件，分別實(shí)現(xiàn)了電壓驅(qū)動/電流驅(qū)動的柵極結(jié)構(gòu)，為后續(xù)的驅(qū)動設(shè)計和研發(fā)提供了器件技術(shù)支持；工作中也同時提出了兩種結(jié)構(gòu)在高溫下的穩(wěn)定性模型，為進(jìn)一步提升氮化鎵器件的性能以及可靠性打下了基礎(chǔ)。
安徽大學(xué)
2022-06-13
基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗(yàn)證工具
項(xiàng)目的背景及目的 迄今為止，集成電路的模擬、仿真直至評測已有了非常完善的工具軟件；并已成為設(shè)計過程的重要組成部分；對設(shè)計的成功、可靠、高效都已起到?jīng)Q定性作用。而對MEMS而言，還相差甚遠(yuǎn)，這和MEMS發(fā)展的成熟程度有著直接關(guān)系。當(dāng)然，這并不意味著MEMS不需要這樣的工具和系統(tǒng)。相反，由于MEMS的功能多樣、加工復(fù)雜、分析困難、設(shè)計周期長、成本高等。特別需要一個能包括運(yùn)動仿真、評測在內(nèi)的設(shè)計工具和系統(tǒng)。這是當(dāng)前推動MEMS發(fā)展的當(dāng)務(wù)之急。
南開大學(xué)
2021-04-14
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一種面向芯片級器件的焊點(diǎn)制備方法及裝置
本發(fā)明公開了一種面向芯片級器件的焊點(diǎn)制備裝置，包括：溶液容器，用于提供焊料溶液；流量分配器，其上設(shè)置有陣列布置的多個噴嘴，其與溶液容器連通，焊料溶液通過噴嘴噴出；器件固定板，其通過一底板固定在噴嘴下方，其上平鋪有待制備焊點(diǎn)的器件，且該器件固定板與噴嘴通過高壓發(fā)生器相連，兩者之間形成高壓電場；還包括管芯模，其包括呈陣列布置的多個管芯，且各管芯一一對應(yīng)配合插裝在噴嘴中，在各噴嘴和管芯之間的空隙內(nèi)形成容納焊料溶液的空間，在電場的作用下，焊料溶液通過該噴嘴中的空間進(jìn)行流量分配后噴出形成噴點(diǎn)或噴絲，滴落于器件
華中科技大學(xué)
2021-04-14
安徽大學(xué)在氮化鎵功率器件研究領(lǐng)域取得新進(jìn)展
近日，我校物質(zhì)科學(xué)與信息技術(shù)研究院唐曦教授課題組與電氣工程與自動化學(xué)院胡存剛教授、曹文平教授課題組在氮化鎵功率器件領(lǐng)域取得最新研究進(jìn)展，在氮化鎵GaNHEMT方向取得突破。
安徽大學(xué)
2022-06-01
高性能系列鈮酸鋰、鉭酸鋰晶體和光電器件
光電晶體及其器件作為激光技術(shù)的關(guān)鍵材料和器件，被諸多國家 列為優(yōu)先發(fā)展的技術(shù)領(lǐng)域。本項(xiàng)目在國家 863 計劃、天津市重大科技 攻關(guān)、國防科工局民口配套等項(xiàng)目支持下，瞄準(zhǔn)國家需求，圍繞產(chǎn)品 化關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，取得了以下主要科技創(chuàng)新： （1）自主設(shè)計基于經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)庫的智能計算機(jī)晶體生長自動控制 系統(tǒng)，并開發(fā)了晶體生長成套裝備，應(yīng)用于多種晶體生長，得到批量 推廣應(yīng)用。 （2）發(fā)展了兩種非固液同成分共熔配比晶體的制備方法，實(shí)現(xiàn) 了 SLN 晶體和 SLT 晶體的批量、廉價制備。 （3）開發(fā)了寬溫度范圍工作鈮酸鋰電光調(diào) Q 晶體及電光調(diào) Q 開 關(guān)，在-55℃～70℃溫度區(qū)間穩(wěn)定工作，大幅提高了軍用激光系統(tǒng)的溫 度穩(wěn)定性。（4）以高溫度穩(wěn)定性電光調(diào) Q 開關(guān)為核心技術(shù)自主研發(fā)的系列 高溫度穩(wěn)定性鈮酸鋰電光調(diào) Q 激光系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)和應(yīng)用。 （5）開發(fā)了滿足激光雷達(dá)等長期在線工作的低內(nèi)電場鈮酸鋰電 光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q 開關(guān)。 （6）開發(fā)了高抗光損傷閾值的鉭酸鋰電光調(diào) Q 晶體和電光調(diào) Q 開關(guān)，典型 1064nm 波段的激光損傷閾值比鈮酸鋰晶體提高兩個數(shù)量 級以上，且能夠滿足軍工寬溫度范圍要求。
南開大學(xué)
2021-04-13
一種五自由度的白光干涉原子力探針位姿調(diào)整機(jī)構(gòu)
本發(fā)明公開了一種原子力探針位姿調(diào)整機(jī)構(gòu)。包括探針座，調(diào) 節(jié)機(jī)構(gòu)和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定;調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) 包括由下至上的第一調(diào)節(jié)部件、第二調(diào)節(jié)部件、第三調(diào)節(jié)部件以及第 四調(diào)節(jié)部件，分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左右水平和上下 旋轉(zhuǎn)、上下俯仰以及上下豎直位姿調(diào)節(jié);連接頭用于與顯微物鏡相連。 本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)原子力探針姿態(tài)在五個自由度上的細(xì)微調(diào)節(jié)，各個調(diào) 節(jié)動作相互獨(dú)立，彼此不發(fā)生干涉，互不影響，提高了探針姿態(tài)的調(diào) 節(jié)精度;且能夠?qū)φ{(diào)節(jié)后的位姿進(jìn)行鎖定，使其保持穩(wěn)定。
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種白光干涉原子力探針系統(tǒng)的成像自動調(diào)整裝置及其控制方 法
本發(fā)明公開了一種基于白光干涉原子力探針掃描顯微鏡探針系 統(tǒng)的成像自動調(diào)整裝置自動及其控制方法，該裝置主要包括計算機(jī)， 夾持機(jī)構(gòu)及鉸鏈機(jī)構(gòu)，原子力探針及其探針組件，白光干涉顯微系統(tǒng)， 面 CCD 光路連接筒。在白光干涉原子力探針顯微鏡連接完成的情況 下，根據(jù)面 CCD 上探針的成像與面 CCD 坐標(biāo)系的水平夾角，通過計算機(jī)來控制舵機(jī)偏轉(zhuǎn)一定的角度，使得原子力探針在面 CCD 中的成像 與面 CCD 坐標(biāo)系中的夾角在誤差范圍內(nèi)，從而得到測量的結(jié)果有較小 的測量誤差。本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)探針在面 CCD 中的成
華中科技大學(xué)
2021-04-14
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面向物聯(lián)網(wǎng)的砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件
本發(fā)明提供的一種面向物聯(lián)網(wǎng)的砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件，主要包括MESFET和熱電偶。MESFET選擇半絕緣的GaAs作為襯底，通過GaAs工藝和MEMS表面微機(jī)械加工實(shí)現(xiàn)具有能量轉(zhuǎn)換功能的MESFET。在源漏柵的金層四周制作一層二氧化硅，化學(xué)機(jī)械拋光后，制作熱電偶的金屬Au型熱電臂和砷化鎵型熱電臂，蒸金連接兩種熱電偶臂，將源漏柵的熱電偶電極進(jìn)行金屬連線，留下兩個熱電偶電極作為塞貝克電壓的輸出極。該砷化鎵基具有熱電轉(zhuǎn)換功能的MESFET器件根據(jù)塞貝克效應(yīng)，可以將器件工作產(chǎn)生的熱能轉(zhuǎn)換為電能，實(shí)現(xiàn)能量收集的同時緩解了散熱問題。通過檢測輸出塞貝克電壓的大小來實(shí)現(xiàn)對熱耗散功率大小的檢測。
東南大學(xué)
2021-04-11
一種基于有源和無源器件的小型力觸覺再現(xiàn)方法
本發(fā)明公開了一種基于有源和無源器件的小型力觸覺再現(xiàn)方法，步驟如下：首先進(jìn)行磁流變阻尼器和直流電機(jī)的標(biāo)定，獲得輸入電流和輸出力矩的關(guān)系；將預(yù)期力/力矩數(shù)值轉(zhuǎn)換成磁流變阻尼器的電流輸入，由磁流變阻尼器輸出相應(yīng)力矩，再經(jīng)力觸覺傳遞裝置作用于操作人員身體；其次，安裝在力/力矩作用點(diǎn)的傳感器測量實(shí)際作用的力/力矩，比較實(shí)際輸出與預(yù)期力/力矩數(shù)值，計算力/力矩誤差；最后，將力/力矩誤差轉(zhuǎn)換成直流電機(jī)的輸入信號，驅(qū)動直流電機(jī)產(chǎn)生誤差所對應(yīng)的力矩；本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)小型器件輸出大范圍、高精度力/力矩，使得力觸覺再現(xiàn)設(shè)備更加輕便、小巧，提升了力觸覺交互的逼真度；可廣泛應(yīng)用于虛擬現(xiàn)實(shí)、遙操作機(jī)器人控制、醫(yī)療等領(lǐng)域。
東南大學(xué)
2021-04-11