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脈管制冷機(jī)屬低溫制冷技術(shù)，其理論基礎(chǔ)為工程熱力學(xué)。脈管制冷機(jī)沒(méi)有在低溫下工作的部件，可靠性高，主要用于航天器或飛行器中紅外探測(cè)器和電子元件的冷卻。本成果包括在國(guó)際雜志《CRYOGENICS》上發(fā)表的論文10篇和國(guó)際會(huì)議論文集中的論文1篇。在對(duì)脈管制冷機(jī)的工作原理進(jìn)行熱力學(xué)分析時(shí)，發(fā)現(xiàn)由于脈管中的壓力與流量不同相，造成了流量中的一部分系“不制冷分量”，降低了

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功率DMOS是一類重要的新型功率器件，具控制電路簡(jiǎn)單、開(kāi)關(guān)頻率高、可靠性好等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛應(yīng)用于開(kāi)關(guān)電源、汽車電子、DC/DC轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域，市場(chǎng)需求巨大，目前在功率分立器件領(lǐng)域占據(jù)了最大的市場(chǎng)份額。本團(tuán)隊(duì)在功率DMOS器件的研究方面有豐富的技術(shù)積累，開(kāi)展了大量前沿性研究和產(chǎn)業(yè)化研究，目前本團(tuán)隊(duì)在功率DMOS領(lǐng)域累計(jì)授權(quán)發(fā)明專利超過(guò)50項(xiàng)，能夠量產(chǎn)的產(chǎn)品型號(hào)近百種。

2016國(guó)家自然科學(xué)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)，基片集成類導(dǎo)波結(jié)構(gòu)是近十幾年來(lái)微波毫米波學(xué)界發(fā)展起來(lái)的一種新型高性能平面導(dǎo)波結(jié)構(gòu)。基片集成類導(dǎo)波結(jié)構(gòu)具有極低的電磁泄露和互擾，其品質(zhì)因素和功率容量遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)平面?zhèn)鬏斁€。國(guó)內(nèi)外數(shù)百所大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)都對(duì)其開(kāi)展了大量研究，它也成為微波毫米波領(lǐng)域最受關(guān)注的研究分支之一。 項(xiàng)目組作為國(guó)際上該領(lǐng)域的主要貢獻(xiàn)者之一，以基片集成類導(dǎo)波結(jié)構(gòu)的工作機(jī)理與創(chuàng)新應(yīng)用為主線，對(duì)這類結(jié)構(gòu)及器件的傳輸特性、損耗機(jī)理等基礎(chǔ)科學(xué)問(wèn)題進(jìn)行了深入研究，提出了半模基片集成波導(dǎo)等多種新型平面導(dǎo)波結(jié)構(gòu)，發(fā)展了相應(yīng)的設(shè)計(jì)方法，并發(fā)明了一系列新型高性能微波毫米波器件，部分器件已得到實(shí)際應(yīng)用。

針對(duì)太赫茲高分辨雷達(dá)和通信系統(tǒng)應(yīng)用需求，研究了常溫固態(tài)太赫茲連續(xù)波發(fā)射和接收的總體方案和實(shí)現(xiàn)技術(shù)，研究了太赫茲平面肖特基勢(shì)壘二極管非線性模型的精確模型，提出了太赫茲高效倍頻電路和低損耗分諧波接收電路的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，掌握了太赫茲倍頻器和分諧波混頻器的優(yōu)化方法，解決了固態(tài)太赫茲關(guān)鍵技術(shù)的工藝難題，突破太赫茲連續(xù)波發(fā)射和接收的關(guān)鍵技術(shù)，打破國(guó)外技術(shù)封鎖，提高自主創(chuàng)新能力，形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，相關(guān)技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)，為我國(guó)太赫茲技術(shù)的發(fā)展和太赫茲系統(tǒng)的應(yīng)用奠定技術(shù)基礎(chǔ)，提供技術(shù)支撐。

小試階段/n通過(guò)發(fā)展被動(dòng)式和主動(dòng)式冷卻技術(shù)能實(shí)現(xiàn)典型移動(dòng)裝備和電子器件的空間冷卻需求，具體包括熱壓/風(fēng)壓自然換熱冷卻、相變熱管換熱冷卻等被動(dòng)式技術(shù)，半導(dǎo)體熱電制冷冷卻、噴射冷卻和合成射流冷卻等主動(dòng)式冷卻技術(shù),獲省自然科學(xué)一等獎(jiǎng)。成果市場(chǎng)前景：有散熱需求，就有應(yīng)用前景。

隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，電子器件的熱流密度越來(lái)越高，散熱已成為其技術(shù)發(fā)展的主要障礙之一。本項(xiàng)目采用直接液體浸沒(méi)的沸騰換熱方式，開(kāi)發(fā)了高效沸騰換熱微結(jié)構(gòu)面，可極大幅度提高散熱性能，在電子器件溫度低于其正常操作上限溫度85oC的條件下，散熱熱流密度可達(dá)150W/cm2以上。沸騰強(qiáng)化換熱技術(shù)往往在微重力條件下由于氣泡難以脫離導(dǎo)致性能惡化而無(wú)法應(yīng)用。近期在微重力條件的實(shí)驗(yàn)表明該技術(shù)即使在微重力條件下，依然能充分利用熱毛細(xì)現(xiàn)象進(jìn)行強(qiáng)化換熱，顯著提高換熱性能。因此，該技術(shù)可應(yīng)用于地面和空間的電子器件高效散熱。

滴灌是節(jié)水效率最高并能實(shí)現(xiàn)水肥自動(dòng)灌溉的精準(zhǔn)農(nóng)業(yè)灌溉技術(shù)，在蔬菜、花卉、棉花、果樹(shù)等種植中廣泛應(yīng)用。滴灌系統(tǒng)的灌水器在使用時(shí)容易發(fā)生堵塞一直是國(guó)際上的難題。本技術(shù)針對(duì)這一難題，提出了灌水器基于迷宮流道流動(dòng)特性的抗堵設(shè)計(jì)和一體化開(kāi)發(fā)方法，開(kāi)發(fā)了具有自主版權(quán)的專用設(shè)計(jì)軟件。應(yīng)用該軟件與快速成形技術(shù)開(kāi)發(fā)出系列化的新型灌水器，使開(kāi)發(fā)周期顯著縮短，單循環(huán)開(kāi)發(fā)時(shí)間由原來(lái)的3～5個(gè)月縮短到3～5天，而開(kāi)發(fā)成本由5萬(wàn)元左右降低到2千元以下。相關(guān)研究成果獲得國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)。

已有樣品/n面向存儲(chǔ)器領(lǐng)域國(guó)際發(fā)展前沿和國(guó)家重大需求，長(zhǎng)期緊密合作，系統(tǒng)深入研究了新型存儲(chǔ)器機(jī)理、器件材料與結(jié)構(gòu)體系、性能調(diào)控規(guī)律、可靠性表征和集成技術(shù)。取得了局域氧化還原主導(dǎo)的阻變模型、阻變存儲(chǔ)器三維集成、電荷俘獲存儲(chǔ)器材料和結(jié)構(gòu)體系優(yōu)化及可靠性表征等系列原創(chuàng)性科技成果，獲得了國(guó)內(nèi)外同行的廣泛引用和高度評(píng)價(jià)。獲得了具有自主產(chǎn)權(quán)的新型存儲(chǔ)器件及集成解決方案，主要發(fā)明專利和技術(shù)研究成果轉(zhuǎn)移到國(guó)內(nèi)知名集成電路制造企業(yè)。

已有樣品/nCMOS 研究團(tuán)隊(duì)創(chuàng)新性地在high-k/InGaAs 界面插入極薄外延InP 層， 將high-k/InGaAs 的界面缺陷有效推移至high-k/InP 之間。通過(guò)采用多硫化氨[(NH4)2Sx]對(duì)InP 進(jìn)行表面鈍化處理并結(jié)合低溫原子層高k 介質(zhì)沉積技術(shù)，有效抑制了在介質(zhì)沉積以及金屬化后退火過(guò)程中的表面氧化和磷原子脫附效應(yīng)，成功將high-k/InP 界面的最低缺陷密度降低至2 × 1011 cm-2eV-1 ， 有效克服了