|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，通過其獲得具有穩定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進口進入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝冷卻液回路同時流經該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝冷卻液和浸液的熱交換，獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置采用內部回流結構與熱交換器
華中科技大學
2021-04-14
一種光刻機自動調焦方法及裝置
本發明公開了一種光刻機自動調焦方法及裝置，其方法是將平行光束經第一狹縫投射至硅片表面，再經振動反射鏡掃描后通過第二狹縫，由光電探測器接收光強信號，然后通過提取光強信號中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調量，通過提取光強信號中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調量，最后由驅動裝置調整硅片至焦點位置。調焦裝置主要由兩個狹縫、一個振動反射鏡、光電傳感器、驅動臺和若干光學鏡片組成，信號處理過程由計算機編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強度進行調焦的方式，具有結構簡單、響應迅速、精度高(優于 0.
華中科技大學
2021-04-14
耐高溫聚芳醚樹脂及功能膜制備技
二、成果介紹1、 成果簡介：（500字以內） 本項目針對國內外對特種高分子樹脂及膜材料的重大需求，在傳統聚芳醚酮和聚醚砜樹脂的基礎上，制備高附加值和高性能的功能型改性聚芳醚樹脂及功能膜材料。具體的研究內容和完成情況包括：（1）功能型聚芳醚樹脂合成、化學改性及放大；（2）適合耐高溫樹脂的膜制備工藝；（3）針對功能膜材料在分離膜、質子交換膜、功能涂層和生物醫用材料方面的應用性開發。研制
吉林大學
2021-04-14
十年科技創新口號微調背后的國家意志
“科技創新是提高社會生產力和綜合國力的戰略支撐，必須擺在國家發展全局的核心位置”，強調要堅持走中國特色自主創新道路、實施創新驅動發展戰略。
中國青年報
2022-04-14
一種光刻機投影物鏡波像差的測量方法
本發明公開了一種用于投影式光刻機成像系統的波像差檢測方法，包括光刻機成像系統的快速正向模型建立，澤尼克系數靈敏度矩陣的解析求解，檢測用掩模圖形優化求解，基于單次光強測量的波像差求解。本發明方法通過解析求解無像差時的空間像光強值和澤尼克系數靈敏度矩陣，實現了基于單次離焦空間像光強測量的波像差檢測。
華中科技大學
2021-04-14
精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置及其溫控方法
本發明公開了一種精確控制浸沒式光刻機浸液溫度的裝置，包括增壓泵；初級熱交換器，其浸液入口與增壓泵出口連通，浸液在其中進行熱交換，實現浸液溫度的初級調控；次級熱交換器，其浸液入口與初級熱交換器浸液出口連通，浸液在其中進行再次熱交換，實現浸液溫度的次級調控；流量伺服閥，其入口與初級熱交換器浸液出口連通，與次級熱交換器形成并聯，用于調節進入次級熱交換器的浸液流量。通過協調控制進入初級熱交換器和次級熱交換器的冷媒流量，并結合流量伺服閥對進入次級熱交換器的浸液流量的調節，可實現對浸液溫度的兩級調控，從而獲得溫
華中科技大學
2021-04-14
農業廢棄物資源(作物秸稈、加工廢料)綜合利用技
一、成果簡介 利用畜禽糞便和農作物秸稈栽培雙孢蘑菇等草腐型食用菌，利用木屑、枝杈和玉米芯栽培香菇等木腐型食用菌的循環經濟發展項目具有經濟效益高和不產生污染物等優勢，采收食用菌后的菌渣還可以作為有機肥料促進有機農業的發展。農戶栽培食用菌的投入產出比平均為1：2，即投入1000元錢的純利潤也達1000元。
中國農業大學
2021-04-14
高分辨率電子電路光刻膠制備關鍵技術
高分辨率電子電路光刻膠是制造高密度、高精度電子電路的核心材料之一， 該類光刻膠在達到分辨率要求的同時，還需具備高感度、高硬度、優異的耐焊性 和耐酸堿性等物理化學性能，以滿足電子電路復雜的制造工藝要求。長期以來， 由于我國高性能基礎光固化材料開發的滯后，導致國產電子電路光刻膠技術水平低下，相關產品占國內市場份額不足 30%，其中高分辨率電子電路光刻膠更是被國際公司所壟斷。針對上述現狀，團隊通過高性能光固化材料的開發突破了高分辨率電子電路光刻膠制備關鍵技術和產品創新技術，并制備了以高分辨率阻焊油墨和光致抗蝕劑為主的一系列具備優異物理化學性能的高分辨率電子電路光刻膠產品。
江南大學
2021-04-13
系列果酒（黑加侖、水蜜桃、楊梅、洋蔥葡萄酒等）釀造技 術
黑加侖富含花青素、多酚等營養物質，但酸度較高口感不佳，通過酵母篩選及工藝優化，獲得了口感較佳的黑加侖果酒釀造技術。水蜜桃保藏時間極短，容易腐爛變質，品相較差的果難以銷售，通過釀酒酵母及釀造工藝優化，獲得了桃香味濃郁口感佳的水蜜桃果酒。楊梅富含花青素等營養物質，但酸度較高，不適 合釀酒，通過降酸酵母篩選及工藝優化，獲得了顏色亮麗口感佳的楊梅果酒。洋蔥葡萄酒具有眾多保健功能且效果顯著，但洋蔥浸泡葡萄酒，口感較差，有洋蔥腐爛味和刺激味，通過對洋蔥發酵處理，得到洋蔥發酵液，與葡萄酒勾兌具有較好的協調性，口感好，無洋蔥味，其洋蔥槲皮素含量高于浸泡，保健功效更為顯著。
江南大學
2021-04-11
基于轉印激光刻蝕石墨烯的耐用可降解柔性應變傳感器
成果介紹一種高性能石墨烯柔性電子皮膚，該電子皮膚結合了一種具備脫水性的商業化妝品膠體以及可編程的激光刻寫石墨烯，在無毒、環保、可大量印刷的制備加工工藝下，具有輕薄、貼合皮膚、可降解、高耐用性的特性，實現了高于500的應變系數、大于75[[[%]]]的拉伸范圍以及穩定的電阻變化能力。該柔性表皮壓阻式傳感器可應用在生命體征監測、人機交互等領域中，目前已經將其初步應用在手勢識別之中，并做出了一系列人機交互應用。技術創新點及參數采用綠色環保的新工藝，解決了傳統激光刻寫石墨烯脆弱的問題，實現了可編程激光刻寫石墨烯的耐摩擦性、耐用性改善，且傳感器可降解回收利用。
東南大學
2021-04-13