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本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用于浸液流動(dòng)的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對(duì)所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動(dòng)；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對(duì)浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級(jí)熱交換器相結(jié)合，

所設(shè)計(jì)的頭盔顯示器目鏡畸變系數(shù)低于5%，色差小，視場(chǎng)角達(dá)到120度，放大率合適。配合光路結(jié)構(gòu)達(dá)到非常理想的成像效果。結(jié)構(gòu)采用2k分辨率的高z清顯示屏。 所設(shè)計(jì)的相關(guān)控制電路模塊精確簡(jiǎn)單，并且對(duì)頭盔姿態(tài)響應(yīng)敏感、準(zhǔn)確。高清顯示屏顯示內(nèi)容準(zhǔn)確，刷新速率滿足要求。整個(gè)驅(qū)動(dòng)電路在響應(yīng)速度上延遲不超過20ms，人眼難以察覺。

懸賞金額：50萬元 發(fā)榜企業(yè)：惠州市強(qiáng)達(dá)電子工業(yè)有限公司 需求領(lǐng)域：特種功能材料 LED前沿與核心技術(shù) 精細(xì)化工 電子材料、半導(dǎo)體材料高分子、復(fù)合材料 產(chǎn)業(yè)集群：先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)集群 技術(shù)關(guān)鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術(shù)

北京技睿新天科技有限公司是一家致力于三維掃描系統(tǒng)研發(fā)、三維掃描儀生產(chǎn)與銷售，并提供三維掃描、產(chǎn)品設(shè)計(jì)、逆向造型培訓(xùn)等專業(yè)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。 我公司具有雄厚的產(chǎn)品開發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新能力，匯聚了一批擁有高學(xué)歷、豐富工程經(jīng)驗(yàn)的精英組成研發(fā)團(tuán)隊(duì)。公司配備有專門的產(chǎn)品研發(fā)中心及項(xiàng)目工程部門，吸納國(guó)內(nèi)最優(yōu)秀的IT及機(jī)械行業(yè)專業(yè)人士，其人員組成以碩士博士為主，均來自全國(guó)各大名牌高校及科研院所，不但具有雄厚的新技術(shù)研發(fā)能力，亦具有科學(xué)合理的配套項(xiàng)目服務(wù)能力。公司在研發(fā)方面與中科院自動(dòng)化研究所形成了合作機(jī)制，在新技術(shù)的運(yùn)用及推廣上有良好的互動(dòng)和協(xié)作。自公司成立至今，已將公司主要產(chǎn)品——技睿新天JR系列三維掃描系統(tǒng)軟件更新?lián)Q代三次，相繼推出了JR系列三維掃描儀、JR人體掃描儀、普睿PRECAM攝影測(cè)量系統(tǒng)以及便攜接觸式測(cè)量系統(tǒng)（光筆系統(tǒng)），形成了成熟的產(chǎn)品體系，并全面提升了產(chǎn)品的性能及競(jìng)爭(zhēng)力，產(chǎn)品所用技術(shù)在國(guó)內(nèi)首屈一指，在國(guó)際亦名列前茅。  

1.痛點(diǎn)問題 光刻膠作為集成電路制備中不可或缺的一部分，已成為國(guó)家的戰(zhàn)略資源之一。半導(dǎo)體光刻膠的核心在于成膜樹脂，受限于研發(fā)難度大、專利壁壘高、資金投入多、準(zhǔn)入門檻高，目前國(guó)內(nèi)企業(yè)尚難以突破KrF膠（248nm）或ArF膠（193nm），而EUV膠完全不能自主供給。 2.解決方案 本項(xiàng)技術(shù)采用了國(guó)際最前沿的納米氧化物團(tuán)簇材料的工藝路線，可以實(shí)現(xiàn)單2nm小分子的光刻膠成膜樹脂材料，攻克了材料合成和納米材料提純的難題，可滿足目前半導(dǎo)體3nm制程節(jié)點(diǎn)的技術(shù)要求，RLS分辨率、邊緣粗糙度、靈敏度三項(xiàng)關(guān)鍵性能指標(biāo)優(yōu)異，其曝光劑量遠(yuǎn)低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本線。此外，本項(xiàng)技術(shù)具有多種半導(dǎo)體光刻膠兼容性，可以生產(chǎn)248nm和193nm光源的半導(dǎo)體光刻膠成膜樹脂，以及電子束半導(dǎo)體掩膜用光刻膠成膜樹脂，具有廣闊的技術(shù)替代優(yōu)勢(shì)和市場(chǎng)應(yīng)用前景。 3.合作需求 本項(xiàng)技術(shù)已設(shè)立衍生企業(yè)，位于江蘇常州的3000m2研發(fā)生產(chǎn)中心正在建設(shè)中。 1）融資需求：本輪天使輪融資6000萬元。 2）資源對(duì)接需求：集成電路芯片制造、掩膜板生產(chǎn)企業(yè)，地方政府等。

　　深圳技湛科技有限公司成立于2013年8月，是一家擁有音視頻核心研發(fā)能力的高科技創(chuàng)新型企業(yè)，公司核心創(chuàng)始人研發(fā)團(tuán)隊(duì)專注音頻核心算法研究超過十年，具備豐富的音視頻研發(fā)經(jīng)驗(yàn)和精湛的技術(shù)實(shí)力。目前深圳技湛已推出擁有核心競(jìng)爭(zhēng)力自主品牌的音頻處理器操作系統(tǒng)，并通過深圳市高新技術(shù)和軟件企業(yè)認(rèn)證，成為音頻領(lǐng)域技術(shù)研發(fā)能力頂尖的高科技公司。 　　深圳技湛專注于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)“GEAZAN”品牌的數(shù)字音頻處理器、模擬和數(shù)字麥克風(fēng)、本地遠(yuǎn)講數(shù)字?jǐn)U聲系統(tǒng)等整套前端音頻解決方案產(chǎn)品。另外，深圳技湛同時(shí)為幾十家音視頻品牌廠商提供ODM技術(shù)支撐和OEM產(chǎn)品，為合作伙伴提供定制化的音頻配套產(chǎn)品。 　　深圳技湛自公司成立至今，憑借積極奮進(jìn)，不斷進(jìn)取的專注精神，秉承“聆聽、精進(jìn)”的企業(yè)文化，公司產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)得到業(yè)內(nèi)諸多知名品牌企業(yè)客戶的贊譽(yù)和認(rèn)可。深圳技湛已成為數(shù)字音頻領(lǐng)域自主創(chuàng)新品牌的新軍。

江西鼎技科學(xué)儀器有限公司，成立于2006-03-30，注冊(cè)資本為500萬人民幣，法定代表人為白偉林，經(jīng)營(yíng)狀態(tài)為存續(xù)，工商注冊(cè)號(hào)為360100210050938，注冊(cè)地址為江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)高新大道699號(hào)聚仁總部經(jīng)濟(jì)園2#樓803-A，經(jīng)營(yíng)范圍包括許可項(xiàng)目：海關(guān)監(jiān)管貨物倉(cāng)儲(chǔ)服務(wù)（不含危險(xiǎn)化學(xué)品、危險(xiǎn)貨物），保稅物流中心經(jīng)營(yíng)，國(guó)營(yíng)貿(mào)易管理貨物的進(jìn)出口，第三類醫(yī)療器械經(jīng)營(yíng)（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）一般項(xiàng)目：工程和技術(shù)研究和試驗(yàn)發(fā)展，寄賣服務(wù)，信息咨詢服務(wù)（不含許可類信息咨詢服務(wù)），貿(mào)易經(jīng)紀(jì)，銷售代理，國(guó)內(nèi)貿(mào)易代理，社會(huì)經(jīng)濟(jì)咨詢服務(wù)，食品進(jìn)出口，貨物進(jìn)出口，化工產(chǎn)品銷售（不含許可類化工產(chǎn)品），進(jìn)出口代理，技術(shù)進(jìn)出口，進(jìn)出口商品檢驗(yàn)鑒定，會(huì)議及展覽服務(wù)，辦公設(shè)備耗材銷售，計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備零售，計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備批發(fā)，辦公設(shè)備銷售，家具安裝和維修服務(wù)，日用百貨銷售，五金產(chǎn)品零售，家具零配件銷售，技術(shù)玻璃制品銷售，日用化學(xué)產(chǎn)品銷售，日用品批發(fā)，租賃服務(wù)（不含許可類租賃服務(wù)），家具銷售，互聯(lián)網(wǎng)銷售（除銷售需要許可的商品），建筑用金屬配件銷售，安防設(shè)備銷售，云計(jì)算設(shè)備銷售，環(huán)境保護(hù)專用設(shè)備銷售，泵及真空設(shè)備銷售，光通信設(shè)備銷售，玻璃纖維及制品銷售，環(huán)境應(yīng)急技術(shù)裝備銷售，鐘表與計(jì)時(shí)儀器銷售，地質(zhì)勘探和地震專用儀器銷售，電子測(cè)量?jī)x器銷售，光學(xué)儀器銷售，藥物檢測(cè)儀器銷售，實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售，繪圖、計(jì)算及測(cè)量?jī)x器銷售，教學(xué)專用儀器銷售，紡織專用測(cè)試儀器銷售，第二類醫(yī)療器械銷售，金屬結(jié)構(gòu)銷售，安全技術(shù)防范系統(tǒng)設(shè)計(jì)施工服務(wù)，工程技術(shù)服務(wù)（規(guī)劃管理、勘察、設(shè)計(jì)、監(jiān)理除外），計(jì)算機(jī)系統(tǒng)服務(wù)，采購(gòu)代理服務(wù)，消防技術(shù)服務(wù)，運(yùn)輸設(shè)備租賃服務(wù)，裝卸搬運(yùn)，住房租賃，公共事業(yè)管理服務(wù)，危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)急救援服務(wù)，新材料技術(shù)推廣服務(wù)，互聯(lián)網(wǎng)安全服務(wù)，區(qū)塊鏈技術(shù)相關(guān)軟件和服務(wù)，辦公服務(wù)，園區(qū)管理服務(wù)，專用設(shè)備修理，電氣設(shè)備修理，通訊設(shè)備修理，日用電器修理，計(jì)算機(jī)及辦公設(shè)備維修，電子、機(jī)械設(shè)備維護(hù)（不含特種設(shè)備），儀器儀表修理，通用設(shè)備修理，5G通信技術(shù)服務(wù)，軟件開發(fā)，光通信設(shè)備制造，網(wǎng)絡(luò)與信息安全軟件開發(fā)，人工智能理論與算法軟件開發(fā)，軟件銷售，知識(shí)產(chǎn)權(quán)服務(wù)（專利代理服務(wù)除外），云計(jì)算裝備技術(shù)服務(wù)，信息技術(shù)咨詢服務(wù)，數(shù)據(jù)處理和存儲(chǔ)支持服務(wù)，技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣，信息安全設(shè)備銷售，網(wǎng)絡(luò)設(shè)備銷售，互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)服務(wù)，軟件外包服務(wù)，互聯(lián)網(wǎng)設(shè)備銷售

目前半導(dǎo)體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學(xué)增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團(tuán)的成膜材料和光產(chǎn)酸劑組成，這種體系最大的問題是光產(chǎn)酸在后烘階段會(huì)發(fā)生酸遷移，導(dǎo)致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產(chǎn)酸劑，且其光產(chǎn)酸是高分子強(qiáng)酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們?cè)谄毓膺^程中產(chǎn)生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產(chǎn)酸劑與其它成膜材料一起組成化學(xué)增幅型光致抗蝕劑。 以之為產(chǎn)酸劑與其它部分保護(hù)的對(duì)羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對(duì)羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護(hù)部分酚羥基，由其組成了單組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現(xiàn)。  利用高分子產(chǎn)酸劑透明性好的特點(diǎn)，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達(dá)5：1的光刻圖形：  在此基礎(chǔ)上，還制備了負(fù)型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現(xiàn)。這些高分子光產(chǎn)酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應(yīng)條件溫和可控，去金屬雜質(zhì)的方法也是簡(jiǎn)便易行，成本相對(duì)低廉，在經(jīng)過多年的深入研究之后，完全具備了產(chǎn)業(yè)化的條件。 半導(dǎo)體加工的關(guān)鍵設(shè)備、材料主要掌握在美、日手中，對(duì)我國(guó)電子工業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關(guān)鍵材料，日本公司的產(chǎn)品占據(jù)全球市場(chǎng)的70%以上，而我國(guó)在中高端產(chǎn)品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進(jìn)口，即便是低端的i-線光刻膠國(guó)產(chǎn)化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉(zhuǎn)這種不利的局面，這需要科研工作者和產(chǎn)業(yè)界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會(huì)的廣泛關(guān)注，已有多家企業(yè)開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，但絕大部分仍處于研發(fā)階段。我們研制的光刻膠具備了產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件并具有與國(guó)外先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)品性能。    半導(dǎo)體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國(guó)家十五“863”光刻膠重大專項(xiàng)開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結(jié)果，也在致力于這些光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。 相關(guān)項(xiàng)目、專利及文章： 1.國(guó)家重大科技專項(xiàng)（02專項(xiàng)）子課題,課題編號(hào):2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產(chǎn)酸劑及新型成膜樹脂的擴(kuò)試技術(shù)研究） 2.國(guó)家自然科學(xué)基金應(yīng)急管理項(xiàng)目，51641301, 含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學(xué)增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應(yīng)用，中國(guó)發(fā)明專利，專利號(hào)：9。

目前半導(dǎo)體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學(xué)增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團(tuán)的成膜材料和光產(chǎn)酸劑組成，這種體系最大的問題是光產(chǎn)酸在后烘階段會(huì)發(fā)生酸遷移，導(dǎo)致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產(chǎn)酸劑，且其光產(chǎn)酸是高分子強(qiáng)酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們?cè)谄毓膺^程中產(chǎn)生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產(chǎn)酸劑與其它成膜材料一起組成化學(xué)增幅型光致抗蝕劑。 以之為產(chǎn)酸劑與其它部分保護(hù)的對(duì)羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對(duì)羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護(hù)部分酚羥基，由其組成了單組分的化學(xué)增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現(xiàn)。   利用高分子產(chǎn)酸劑透明性好的特點(diǎn)，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達(dá)5：1的光刻圖形：   在此基礎(chǔ)上，還制備了負(fù)型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現(xiàn)。這些高分子光產(chǎn)酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應(yīng)條件溫和可控，去金屬雜質(zhì)的方法也是簡(jiǎn)便易行，成本相對(duì)低廉，在經(jīng)過多年的深入研究之后，完全具備了產(chǎn)業(yè)化的條件。 半導(dǎo)體加工的關(guān)鍵設(shè)備、材料主要掌握在美、日手中，對(duì)我國(guó)電子工業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關(guān)鍵材料，日本公司的產(chǎn)品占據(jù)全球市場(chǎng)的70%以上，而我國(guó)在中高端產(chǎn)品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進(jìn)口，即便是低端的i-線光刻膠國(guó)產(chǎn)化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉(zhuǎn)這種不利的局面，這需要科研工作者和產(chǎn)業(yè)界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會(huì)的廣泛關(guān)注，已有多家企業(yè)開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，但絕大部分仍處于研發(fā)階段。我們研制的光刻膠具備了產(chǎn)業(yè)化的技術(shù)條件并具有與國(guó)外先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的產(chǎn)品性能。    半導(dǎo)體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國(guó)家十五“863”光刻膠重大專項(xiàng)開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結(jié)果，也在致力于這些光刻膠產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化。 相關(guān)項(xiàng)目、專利及文章： 1.國(guó)家重大科技專項(xiàng)（02專項(xiàng)）子課題,課題編號(hào):2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產(chǎn)酸劑及新型成膜樹脂的擴(kuò)試技術(shù)研究） 2.國(guó)家自然科學(xué)基金應(yīng)急管理項(xiàng)目，51641301, 含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學(xué)增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產(chǎn)酸基團(tuán)的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應(yīng)用，中國(guó)發(fā)明專利，專利號(hào)：9。