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本發(fā)明公開了一種人流量統(tǒng)計(jì)系統(tǒng)中分類器的自動(dòng)選擇方法，屬于視頻監(jiān)控及模式識(shí)別技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括：預(yù)先設(shè)定多個(gè)成像視角，分別離線訓(xùn)練一個(gè)分類器；在線學(xué)習(xí)時(shí)，針對(duì)當(dāng)前輸入圖像，對(duì)各分類器分別執(zhí)行下述操作：檢測(cè)目標(biāo)，將當(dāng)前檢測(cè)出的行人目標(biāo)與已有的跟蹤目標(biāo)進(jìn)行關(guān)聯(lián)，對(duì)未關(guān)聯(lián)的跟蹤目標(biāo)采用跟蹤算法進(jìn)行跟蹤，將未關(guān)聯(lián)的檢測(cè)目標(biāo)加入跟蹤目標(biāo)隊(duì)列中；對(duì)跟蹤目標(biāo)隊(duì)列中符合條件的目標(biāo)進(jìn)行計(jì)數(shù)；若所有分類器所計(jì)目標(biāo)數(shù)均未超過(guò)閾值，

對(duì)灰度序列 G 中的每一幀圖像，借助 sobel 算子及幀間差分法提取膨脹后的運(yùn)動(dòng)邊緣，在膨脹后的運(yùn)動(dòng)邊緣處進(jìn)行基于 HOG特征的人頭目標(biāo)檢測(cè)，從而得到初步檢測(cè)目標(biāo)隊(duì)列 head_list，根據(jù)空間約束將虛假目標(biāo)從隊(duì)列 head_list 中刪除，將 head_list 中的目標(biāo)與之前所有幀中檢測(cè)出來(lái)的最終目標(biāo)進(jìn)行灰度互相關(guān)關(guān)聯(lián)匹配，對(duì)統(tǒng)計(jì)隊(duì)列 people_list 中的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤，對(duì)統(tǒng)計(jì)隊(duì)列 people_list 中的目標(biāo)

本成果采用被動(dòng)感應(yīng)方式，只需單點(diǎn)部署，在智能識(shí)別算法下，實(shí)現(xiàn)多人并排、同時(shí)雙向穿梭下的準(zhǔn)確人流計(jì)數(shù)。 一、項(xiàng)目分類 關(guān)鍵核心技術(shù)突破 二、成果簡(jiǎn)介 人流量出入統(tǒng)計(jì)與分析是一項(xiàng)極為廣泛的需求，涉及的場(chǎng)景包括各種門店、圖書館、博物館、娛樂(lè)場(chǎng)所、交通樞紐等等。疫情之下，該需求變得越來(lái)越強(qiáng)。市場(chǎng)上尚缺乏一款成本低、部署便捷、準(zhǔn)確度高的人流計(jì)數(shù)產(chǎn)品。本成果采用被動(dòng)感應(yīng)方式，只需單點(diǎn)部署，在智能識(shí)別算法下，實(shí)現(xiàn)多人并排、同時(shí)雙向穿梭下的準(zhǔn)確人流計(jì)數(shù)。成本與功耗均遠(yuǎn)低于現(xiàn)有基于紅外主動(dòng)探測(cè)的計(jì)數(shù)產(chǎn)品。目前，該成果已完成性能驗(yàn)證，即將進(jìn)行ASIC芯片設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)，后續(xù)將進(jìn)一步開發(fā)終端成品及配套數(shù)據(jù)分析軟件。

人流量出入統(tǒng)計(jì)與分析是一項(xiàng)極為廣泛的需求，涉及的場(chǎng)景包括各種門店、圖書館、博物館、娛樂(lè)場(chǎng)所、交通樞紐等等。疫情之下，該需求變得越來(lái)越強(qiáng)。市場(chǎng)上尚缺乏一款成本低、部署便捷、準(zhǔn)確度高的人流計(jì)數(shù)產(chǎn)品。本成果采用被動(dòng)感應(yīng)方式，只需單點(diǎn)部署，在智能識(shí)別算法下，實(shí)現(xiàn)多人并排、同時(shí)雙向穿梭下的準(zhǔn)確人流計(jì)數(shù)。成本與功耗均遠(yuǎn)低于現(xiàn)有基于紅外主動(dòng)探測(cè)的計(jì)數(shù)產(chǎn)品。目前，該成果已完成性能驗(yàn)證，即將進(jìn)行ASIC芯片設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)，后續(xù)將進(jìn)一步開發(fā)終端成品及配套數(shù)據(jù)分析軟件。 【痛點(diǎn)問(wèn)題】 1）現(xiàn)有基于攝像頭智能識(shí)別的計(jì)數(shù)方式，成本往往較高，形成普及門檻； 2）常見的基于紅外對(duì)管的檢測(cè)方式，部署麻煩，而且準(zhǔn)確度較低（尤其是人流量大、且多人并排行走時(shí)）。 【技術(shù)指標(biāo)】 1）只需單點(diǎn)部署 2）被動(dòng)感應(yīng)，功耗uA級(jí) 3）成本比視頻識(shí)別低一個(gè)數(shù)量級(jí) 4）雙人并排出入，準(zhǔn)確率95%；三人及以上并排出入，準(zhǔn)確率85% 圖 支持多人并排、同時(shí)雙向穿梭檢測(cè) 圖 基于被動(dòng)紅外感應(yīng)的出入計(jì)數(shù)器原理結(jié)構(gòu)

本發(fā)明公開了一種人流量統(tǒng)計(jì)中最優(yōu)目標(biāo)檢測(cè)尺度的生成方法，包括以下步驟：獲取視頻源，并初始化統(tǒng)計(jì)目標(biāo)隊(duì)列 people_list 為空；讀取視頻源當(dāng)前幀圖像，將該圖像轉(zhuǎn)化為灰度圖像 Gk，并初始化檢測(cè)目標(biāo)隊(duì)列 head_list 為空，將灰度圖像 Gk 劃分為 n 個(gè)區(qū)域；對(duì)灰度圖像 Gk 進(jìn)行目標(biāo)檢測(cè)，利用檢測(cè)目標(biāo)和跟蹤信息更新 people_list 隊(duì)列，并將新出現(xiàn)沒(méi)有關(guān)聯(lián)的檢測(cè)目標(biāo)作為新目標(biāo)加入 people_list 中；

產(chǎn)品詳細(xì)介紹電磁流量計(jì)：液體（自來(lái)水，污水等導(dǎo)電性液體）渦輪流量計(jì)：液體（水，柴油，汽油，等液體）渦街流量計(jì)：液體（水），氣體（蒸汽，空氣等氣體）孔板流量計(jì)，V錐流量計(jì)：液體（水，甲醛，甲醇等液體）氣體（含雜質(zhì)的氣體如焦?fàn)t煤氣，煙道氣，以及蒸汽壓縮空氣等）電磁流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、山東渦街流量計(jì)、渦街傳感器、鍋爐蒸汽流量計(jì)、熱電廠蒸汽流量計(jì)、溫度壓力補(bǔ)償蒸汽流量計(jì)、高溫蒸汽流量計(jì)、蒸汽流量計(jì)價(jià)格渦街流量計(jì)生產(chǎn)許可證（青島市技術(shù)監(jiān)督局）：37020006適合計(jì)量的介質(zhì)：過(guò)熱蒸汽、飽和蒸汽；壓縮空氣、氧氣、氬氣；水：軟化水、高溫水、和鹽堿等（計(jì)量液體不能含有條帶狀的雜物）。渦街流量計(jì)的分類有：遠(yuǎn)傳型（傳感器和積算儀分體顯示）、現(xiàn)場(chǎng)顯示型、穩(wěn)壓補(bǔ)償現(xiàn)場(chǎng)顯示型、插入式渦街流量計(jì)一、LUGB寬量程渦街流量計(jì)一 原理：LUGB寬量程渦街流量計(jì)是基于卡門渦街原理而研制成功的一種具有國(guó)際先進(jìn)水平的新型流量計(jì)，解決了目前同類產(chǎn)品小流量信號(hào)難以處理，流量下限值偏高和測(cè)量范圍較窄的問(wèn)題。該傳感器的流量下限和范圍度指標(biāo)，在國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品中處于領(lǐng)先水平，并且嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（ JB/T9249 — 1999 ）和計(jì)量檢定規(guī)程（ JJG198 — 94 ），為當(dāng)前的工業(yè)計(jì)量、能源管理和工程設(shè)計(jì)提供了一種符合我國(guó)專業(yè)水準(zhǔn)的新型流量計(jì)量產(chǎn)品。渦街流量計(jì)在測(cè)量氣體時(shí)，由于氣體的壓力和溫度對(duì)于介質(zhì)的密度影響較大，如果要求的計(jì)量精度高的話，溫度、壓力傳感器需要相應(yīng)配套；比如:過(guò)熱蒸汽，但對(duì)于飽和蒸汽：只要選擇溫度和壓力傳感器其一就行，但壓力補(bǔ)償更準(zhǔn)確二.LUGB寬量程渦街流量計(jì)獨(dú)具特點(diǎn)：   完整的傳感器通徑，具有 10mm--500mm 的 20 種不同通徑的傳感器；  可遠(yuǎn)距離傳輸流量信號(hào)，并能與計(jì)算機(jī)連網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)集中管理。 LUGB寬量程渦街流量計(jì)/漩渦流量計(jì)一般特點(diǎn)： 1 、最小流量值低、流量范圍大； 2 、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無(wú)運(yùn)動(dòng)磨損部件； 3 、測(cè)量精度高，阻力損失小； 4 、安裝方便，維修簡(jiǎn)易。 三.LUGB寬量程渦街流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)： 1 、LUGB高溫型渦街流量計(jì)確度等級(jí)： 液體 1.0 級(jí)、氣體 1.5 級(jí)（標(biāo)準(zhǔn)流量范圍內(nèi)）； 2 、公稱壓力： ① 通徑 ≥ DN200mm 2.5MPa ； ② 通徑 ≤ DN150mm 4.0MPa ；  ③ 6.3 MPa ～ 25 MPa （協(xié)議定貨）； 3 、壓力損失： 阻力系數(shù) Cd ≤ 2.4 ； 重復(fù)性誤差 % ： ≤ 1/3 準(zhǔn)確度等級(jí)值；4 、供電電源： 12 ～ 24VDC ；    輸出信號(hào)：頻率信號(hào)、 標(biāo)準(zhǔn)電流： 0 ～ 10 mA 、 4 ～ 20 mA DC ；   除此之外我單位還專業(yè)生產(chǎn)電磁流量計(jì)/渦輪流量計(jì)/孔板流量計(jì)/V錐流量計(jì)/電磁流量計(jì)分類：一體式、分體式電磁流量計(jì)；  衛(wèi)生型電磁流量計(jì) 、卡箍式電磁流量計(jì)、全不銹鋼電磁流量計(jì)；  現(xiàn)場(chǎng)顯示電磁流量計(jì)、分體式電磁流量計(jì)、鋰電池供電電磁流量計(jì)  對(duì)于電磁流量計(jì)來(lái)講，選擇合適的電極和襯里尤其重要，這是確保電磁爐流量計(jì)正常使用的前提條件           一、概述      智能電磁流量計(jì)測(cè)量原理是基于法拉第電磁感應(yīng)定律。流量計(jì)的測(cè)量管是一內(nèi)襯絕緣材料的非導(dǎo)磁合金短管。兩只電極延管徑方向穿通管壁固定在測(cè)量管上。其電極頭與襯里內(nèi)表面基本齊平。勵(lì)磁線圈由雙向方波脈沖勵(lì)磁時(shí)，將在與測(cè)量管軸線垂直的方向上產(chǎn)生工作磁場(chǎng)。此時(shí)，如果具有導(dǎo)電性的流體流經(jīng)測(cè)量管，將切割磁力線產(chǎn)生電流信號(hào)，由電極檢出并通過(guò)電纜送至轉(zhuǎn)換器。轉(zhuǎn)換器將流量信號(hào)放大處理后，可顯示流體流量，并能輸出脈沖，模擬電流等信號(hào)，用于流量的控制和調(diào)節(jié)。   由于電磁流量計(jì)有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于化工化纖、食品、造紙、制糖、礦冶、給排水、環(huán)保、水利水工、鋼鐵、石油、制藥等工業(yè)領(lǐng)域中，用來(lái)測(cè)量各種酸緘、鹽溶液、泥漿、礦漿、紙漿、煤水漿、玉米漿、纖維漿、糧漿、石灰乳、污水、冷卻原水、給排水、鹽水、雙氧水、啤酒、麥汁、各種飲料、黑液、綠液等導(dǎo)電液體的流量計(jì)。二、智能電磁流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)  管道內(nèi)無(wú)可動(dòng)部件，無(wú)阻流部件，測(cè)量中幾乎沒(méi)有附加壓力損失。  測(cè)量結(jié)果與流速分布、流體壓力、溫度、密度、粘度等物理參數(shù)有關(guān)。  在現(xiàn)場(chǎng)可根據(jù)用戶實(shí)際需要在線修改量程。  高清晰度背光 LCD 顯示，全中文菜單操作，使用方便，操作簡(jiǎn)單，易學(xué)易懂。  采用 SMD 器件和表面貼裝（ SMT ）技術(shù)，電路可靠性高。  采用 16 位嵌入式微處理器，運(yùn)算速度快，精度高，可編程頻率低頻矩形波勵(lì)磁，提高了流量測(cè)量的穩(wěn)定性，功耗低。  全數(shù)字量處理，抗干擾能力強(qiáng)，測(cè)量可靠，精度高，  內(nèi)部具有三個(gè)積算器可分別顯示正向累計(jì)量及差值積算量，內(nèi)部設(shè)有不掉電時(shí)鐘，可記錄 16 次掉電時(shí)間。（選配） 具有 RS485 、 RS232 、 Hart 和 Modbus 等數(shù)字通訊信號(hào)輸出。（選配）  紅外手持操作器， 115KHZ 通訊速率，遠(yuǎn)距離非接觸操作轉(zhuǎn)換器所有功能。（選配）  小時(shí)總量記錄功能，以小時(shí)為單位記錄流量總量，適用于分時(shí)計(jì)量制。（選配）三、智能電磁流量計(jì)主要技術(shù)參數(shù)  智能電磁流量計(jì)公稱通徑系列 DN （ mm ）管道式四氟襯里： 10 ——600 。管道式橡膠襯里： 40 —— 1200 。  流動(dòng)方向：正、反凈流量。測(cè)量范圍：流量測(cè)量范圍對(duì)應(yīng)流速范圍是 0.1 ～ 15m/s   量程比： 150 ： 1 。   智能電磁流量計(jì)精確等級(jí)： 0.5 級(jí)、 1.0 級(jí)（管道式）     重復(fù)性誤差：測(cè)量值的± 0 。 1%  被測(cè)介質(zhì)溫度：普通橡膠襯里： -20 ～ +90 ℃；聚四氟乙烯襯里： -30 ～ +100 ℃；高溫型四氟襯里： -30 ～ +180 ℃。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 泥漿流量計(jì)、礦漿流量計(jì)、紙漿流量計(jì)、煤水漿流量計(jì)、玉米漿流量計(jì)、硫酸流量計(jì)、泥漿流量計(jì)、供排水流量計(jì)、污水流量計(jì)、冷卻原水流量計(jì)、排水流量計(jì)、鹽水流量計(jì)電  一、概述 智能電磁流量計(jì)測(cè)量原理是基于法拉第電磁感應(yīng)定律。  由于電磁流量計(jì)有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛應(yīng)用于化工化纖、食品、造紙、制糖、礦冶、給排水、環(huán)保、水利水工、鋼鐵、石油、制藥等工業(yè)領(lǐng)域中，用來(lái)測(cè)量各種酸緘、鹽溶液、泥漿、礦漿、紙漿、煤水漿、玉米漿、纖維漿、糧漿、石灰乳、污水、冷卻原水、給排水、鹽水、雙氧水、啤酒、麥汁、各種飲料、黑液、綠液等導(dǎo)電液體的流量計(jì)。 二、智能電磁流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn) 管道內(nèi)無(wú)可動(dòng)部件，無(wú)阻流部件，測(cè)量中幾乎沒(méi)有附加壓力損失。 測(cè)量結(jié)果與流速分布、流體壓力、溫度、密度、粘度等物理參數(shù)有關(guān)。 在現(xiàn)場(chǎng)可根據(jù)用戶實(shí)際需要在線修改量程。 高清晰度背光 LCD 顯示，全中文菜單操作，使用方便，操作簡(jiǎn)單，易學(xué)易懂。 采用 SMD 器件和表面貼裝（ SMT ）技術(shù)，電路可靠性高。 采用 16 位嵌入式微處理器，運(yùn)算速度快，精度高，可編程頻率低頻矩形波勵(lì)磁，提高了流量測(cè)量的穩(wěn)定性，功耗低。 全數(shù)字量處理，抗干擾能力強(qiáng)，測(cè)量可靠，精度高， 內(nèi)部具有三個(gè)積算器可分別顯示正向累計(jì)量及差值積算量，內(nèi)部設(shè)有不掉電時(shí)鐘，可記錄 16 次掉電時(shí)間、 三、智能電磁流量計(jì)主要技術(shù)參數(shù) 智能電磁流量計(jì)公稱通徑系列 DN （ mm ）管道式四氟襯里： 10 ——600 。管道式橡膠襯里： 40 —— 1200 。 流動(dòng)方向：正、反凈流量。測(cè)量范圍：流量測(cè)量范圍對(duì)應(yīng)流速范圍是 0.1 ～ 15m/s 量程比： 150 ： 1 。 智能電磁流量計(jì)精確等級(jí)： 0.5 級(jí)、 1.0 級(jí)（管道式） 重復(fù)性誤差：測(cè)量值的± 0 。 1% 被測(cè)介質(zhì)溫度：普通橡膠襯里： -20 ～ +90 ℃；聚四氟乙烯襯里： -30 ～ +100 ℃；高溫型四氟襯里： -30 ～ +180 ℃。  直管段長(zhǎng)度：管道式：上游≥ 5DN ，下游≥ 2DN 。 計(jì)量條件：管道保證充滿液體 連接方式：流量計(jì)與配管之間均采用法蘭連接，法蘭尺寸應(yīng)符合國(guó)標(biāo)GB11988 的規(guī)定。 智能電磁流量計(jì)防爆標(biāo)志： EXdIIBT4 。 環(huán)境溫度： -25 ～ 60 ℃; 相對(duì)濕度： 5% ～ 95% 智能電磁流量計(jì)消耗總功率：小于 20 瓦。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹山東渦街流量計(jì)、渦街傳感器、鍋爐蒸汽流量計(jì)、熱電廠蒸汽流量計(jì)、溫度壓力補(bǔ)償蒸汽流量計(jì)、高溫蒸汽流量計(jì)、蒸汽流量計(jì)價(jià)格渦街流量計(jì)生產(chǎn)許可證（青島市技術(shù)監(jiān)督局）：37020006適合計(jì)量的介質(zhì)：過(guò)熱蒸汽、飽和蒸汽；壓縮空氣、氧氣、氬氣；水：軟化水、高溫水、和鹽堿等（計(jì)量液體不能含有條帶狀的雜物）。渦街流量計(jì)的分類有：遠(yuǎn)傳型（傳感器和積算儀分體顯示）、現(xiàn)場(chǎng)顯示型、穩(wěn)壓補(bǔ)償現(xiàn)場(chǎng)顯示型、插入式渦街流量計(jì)一、LUGB寬量程渦街流量計(jì)一 原理：LUGB寬量程渦街流量計(jì)是基于卡門渦街原理而研制成功的一種具有國(guó)際先進(jìn)水平的新型流量計(jì)，解決了目前同類產(chǎn)品小流量信號(hào)難以處理，流量下限值偏高和測(cè)量范圍較窄的問(wèn)題。該傳感器的流量下限和范圍度指標(biāo)，在國(guó)內(nèi)外產(chǎn)品中處于領(lǐng)先水平，并且嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（ JB/T9249 — 1999 ）和計(jì)量檢定規(guī)程（ JJG198 — 94 ），為當(dāng)前的工業(yè)計(jì)量、能源管理和工程設(shè)計(jì)提供了一種符合我國(guó)專業(yè)水準(zhǔn)的新型流量計(jì)量產(chǎn)品。渦街流量計(jì)在測(cè)量氣體時(shí)，由于氣體的壓力和溫度對(duì)于介質(zhì)的密度影響較大，如果要求的計(jì)量精度高的話，溫度、壓力傳感器需要相應(yīng)配套；比如:過(guò)熱蒸汽，但對(duì)于飽和蒸汽：只要選擇溫度和壓力傳感器其一就行，但壓力補(bǔ)償更準(zhǔn)確二.LUGB寬量程渦街流量計(jì)獨(dú)具特點(diǎn)：   完整的傳感器通徑，具有 10mm--500mm 的 20 種不同通徑的傳感器；  可遠(yuǎn)距離傳輸流量信號(hào)，并能與計(jì)算機(jī)連網(wǎng)，實(shí)現(xiàn)集中管理。 LUGB寬量程渦街流量計(jì)/漩渦流量計(jì)一般特點(diǎn)： 1 、最小流量值低、流量范圍大； 2 、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，無(wú)運(yùn)動(dòng)磨損部件； 3 、測(cè)量精度高，阻力損失小； 4 、安裝方便，維修簡(jiǎn)易。 三.LUGB寬量程渦街流量計(jì)技術(shù)指標(biāo)： 1 、LUGB高溫型渦街流量計(jì)確度等級(jí)： 液體 1.0 級(jí)、氣體 1.5 級(jí)（標(biāo)準(zhǔn)流量范圍內(nèi)）； 2 、公稱壓力： ① 通徑 ≥ DN200mm 2.5MPa ； ② 通徑 ≤ DN150mm 4.0MPa ；  ③ 6.3 MPa ～ 25 MPa （協(xié)議定貨）； 3 、壓力損失： 阻力系數(shù) Cd ≤ 2.4 ； 重復(fù)性誤差 % ： ≤ 1/3 準(zhǔn)確度等級(jí)值；4 、供電電源： 12 ～ 24VDC ；    輸出信號(hào)：頻率信號(hào)、 標(biāo)準(zhǔn)電流： 0 ～ 10 mA 、 4 ～ 20 mA DC ；   除此之外我單位還專業(yè)生產(chǎn)電磁流量計(jì)/渦輪流量計(jì)/孔板流量計(jì)/V錐流量計(jì)/

產(chǎn)品詳細(xì)介紹一、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列主要特性：1）傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量3）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大提高4）傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高5）全量程高穩(wěn)定性6）全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性7）低功耗8）低壓損9）響應(yīng)時(shí)間快 二、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列典型應(yīng)用： 適用于小流量氣體質(zhì)量的流量測(cè)量。

微型流量傳感器，屬于 MEMS 器件，用于氣流流量測(cè)量，解決現(xiàn)有流量傳感器功耗大、襯底存在熱傳導(dǎo)、響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)的問(wèn)題。本發(fā)明之一種微型流量傳感器，襯底上具有凹槽，凹槽表面架有兩個(gè)分離的隔熱層，各隔熱層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極。本發(fā)明另一種微型流量傳感器，襯底上具有凹槽，凹槽表面架有兩個(gè)分離的隔熱層，各隔熱層表面覆蓋絕緣層，絕緣層上濺射有加熱體，加熱體的兩端濺射有金屬電極。本發(fā)明體積小、重量輕而且性能穩(wěn)定，能有效降低襯底傳熱導(dǎo)致的測(cè)量誤差，通過(guò)測(cè)量?jī)蓚€(gè)加熱體間的電阻差值來(lái)測(cè)定氣流流量，