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本發明公開了一種硅通孔結構的制造方法，包括以下步驟：將硅片的厚度減薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有絕緣層；在硅片的導電區表面和絕緣區表面制作摻雜掩膜，以對導電區和絕緣區分別進行粒子摻雜，絕緣區與導電區摻雜的粒子的極性相反；在粒子摻雜完成后去除摻雜掩膜；在導電區表面覆蓋金屬電極；在硅片的表面除金屬電極之外的區域覆蓋絕緣層。本發明的方法制造工藝簡單，可避免刻蝕、絕緣處理等工藝對硅片的破壞，并能夠提高制造硅通孔結構的成品率。本發明還公開了一種硅通孔結構。

碳五餾分是乙烯生產裝置的副產物。碳五餾分中含有許多很有價值的化工原料，它們是異戊二烯、環戊二烯、間戊二烯、正戊烷等。其中，異戊二烯、環戊二烯和間戊二烯的含量約占碳五餾分的50%左右。這些雙烯烴和單烯烴由于其特殊的分子結構，化學性質活潑，分離出這些雙烯烴，可生產異戊橡膠、特種橡膠、涂料、香料、樹脂、醫藥和農藥等多種石油化工和精細化工產品，可產生巨大的經

五軸聯動高速加工中心主要用于高速高效加工各種復雜曲面，廣泛應用于航空、航天、軍事、科研、精密器械、高精醫療設備等行業具有復雜曲面零部件的加工，是解決葉輪、葉片、汽車摩托車零部件、船用螺旋槳、重型發電機轉子、汽輪機轉子、大型柴油機曲軸等加工的關鍵裝備。

機床主要結構示意圖 “五軸聯動數控工具磨床”是高端工具制造業的數控加工專用設備，機床運用五軸聯動數控軟件和高速強力磨削工藝，高效率、高精度、高表面質量地一次加工完成具有復雜形貌要求的硬質合金刀具。 這類機床所涉及的關鍵技術：包括用于強力磨削的機床整機優化設計、高速電主軸、自動刀具檢測系統、復雜結構刀具數學模型和運動模型的建立、五軸聯動專用磨削軟件和優質機床功能部件應用等。工信部將其列入“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項申報指南書中。本項目被上海市經委列為“上海市重大技術裝備研制專項”，樣機參展了中國國際工業博覽會，并通過上海市經信化委驗收，專家組認為“項目研究成果達到國內領先，國際同類先進水平”

該成果能夠自動完成砂輪修整和螺桿磨削過程；自行開發的螺桿磨削專用控制軟件模塊，包括參數輸入、成形砂輪型線計算等功能；可實現螺桿相位和磨削余量的自動檢測，以及螺桿型線誤差補償；可用于橡塑機械螺桿、滾珠絲杠、各類蝸桿、以及工業泵螺桿和壓縮機螺桿的磨削，填補了國內空白，已獲專利 2 項。

“五軸聯動數控工具磨床”是高端工具制造業的數控加工專用設備，機床運用五軸聯動數控軟件和高速強力磨削工藝，高效率、高精度、高表面質量地一次加工完成具有復雜形貌要求的硬質合金刀具。這類機床所涉及的關鍵技術：包括用于強力磨削的機床整機優化設計、高速電主軸、自動刀具檢測系統、復雜結構刀具數學模型和運動模型的建立、五軸聯動專用磨削軟件和優質機床功能部件應用等。工信部將其列入“高檔數控機床與基礎制造裝備”科技重大專項申報指南書中。

產品詳細介紹  塑格懸浮式拼裝運動地板，塑格懸浮式拼裝地板，塑格懸浮式地板，塑格懸浮式拼裝運動地板，塑格懸浮式拼裝地板   籃球場、網球場、排球場、羽毛球場、五人制足球場建造首選供應商，國內生產規模最大，歷史最悠久的新型材料生產企業。“塑格”成為業內最知名的品牌，“塑格地板”成為行業產品代名詞。 聯系電話：13685743123    李先生         QQ：1210082177 郵箱：chinasuge@163.com                 網址：www.xinaoxing.com.cn   懸浮式拼裝運動地板是一種用于運動場所的地板，它的主要材料是聚丙烯(PP)。1974年起源于美國。顧名思義，它的主要特點是：“懸浮”和“拼裝”。剛開始它是作為休閑場所的一種建材進入人們的生活，后來隨著應用的廣泛和對體育的熱愛，人們希望這種材料也能用于運動場所。經過專家的不屑努力，在產品設計和材料配方等方面不斷改進，產品的性能終于可以滿足運動的要求。在歐美國家應用廣泛，目前全球有約5萬多塊場地使用這種地板，與NBA合作也有30年，由于安裝便捷，性能卓越，許多NBA球員的私人訓練球場都采用這種地板。   杭州新奧星塑格地板有限公司是國內最早開發懸浮式拼裝運動地板的企業，也是國內第一家設計、開發室內外五人制足球場專用拼裝地板的廠家。通過近四年的發展，公司目前擁有兩個生產車間，兩條全自動生產線，產品分為五大系列十余種款式，產品涉及室外室內籃球場、網球場、五人制足球場、排球場可移動拼裝地板。客戶包括杭州市國家安全局、酒泉衛星發射基地、上海虹橋部隊、湖北恩施公安局、浙江省第二監獄、西南民族大學、江西藍天學院、南京航空航天大學、杭州東方中學、無錫揚名小學、紹興水上體育公園、中國足協、南京市足協、大連市足協等，產品遠銷東南亞、非洲、美洲等地。是國內生產規模最大，產品系列最全，生產歷史最悠久的企業。 塑格懸浮式拼裝運動地板產品性能說明： 1、使用溫度范圍：-30°C至70°C； 2、滾動負荷 ≧2500N； 3、沖擊吸收 ≧53%； 4、垂直變形 ≧2.3mm； 5、籃球反彈率 ≧90% 6、滑動摩擦系數 0.50~0.70 塑格地板產品性能均符合國際最權威的德國DIN18032標準要求。   用途：根據產品的規格不同，可用于室內室外籃球場、網球場、五人制足球場、排球場、羽毛球場、乒乓球館、冰球場、輪滑場等運動場地，以及活動中心、游樂園、健身館等場所。   顏色：塑格懸浮式地板常用顏色有紅、綠、黃、藍、紫、黑、白、粉紅等十余種，可自由選擇。亦可提供色樣訂做。   產品型號：SGW-I、II、III；SGN-I、II 產品規格：室外 25*25cm、30.48*30.48cm、33*33cm           室內 25*25cm、30.48*30.48cm   包裝：紙箱（具體包裝尺寸請來電了解）   塑格懸浮式拼裝地板的主要優勢和特點： 1、材料采用綠色環保材料聚丙烯（食品級材料），無氣味、無重金屬成份、無揮發成份。防潮防水、不滋生細菌。 2、安裝簡單，體現它的“拼裝”性能，邊緣以鎖扣銜接，基本屬于純手工作業，不需要專業人員安裝。工期短，一個600㎡的籃球場，包括畫線四個人一天半即可施工完畢。對基礎要求也不高，平整水泥地即可。無保養期，安裝好即可使用。 3、塑格拼裝地板使用壽命長，材料配方成熟，產品室外一般可以用到8 — 12年，室內壽命10 — 15年。 4、顏色多樣可以自由搭配，新穎、美觀，塑格拼裝地板有十余種顏色。要注意一點，顏料必須采用國際大品牌色粉，國內色粉在太陽下容易受紫外線影響褪色現象嚴重。 5、塑格拼裝地板的懸浮式結構可以自排水和散熱，雨水多的地方不用再擔心場地積水的問題，炎熱夏天也不用再受地表熱氣煎熬之苦。 6、側向緩沖的鎖扣設計可以減少運動中的扭傷、拉傷。球的反彈率也很好，防滑性能都比較出色。   塑格地板產品室外系列 1、 塑格室外籃球場用懸浮式拼裝運動地板 2、 塑格室外網球場用懸浮式拼裝運動地板 3、 塑格室外五人制足球場用懸浮式拼裝運動地板 4、 塑格室外排球場用懸浮式拼裝地板 5、 塑格室外羽毛球場用懸浮式拼裝地板 6、 塑格室外輪滑場用懸浮式拼裝地板 7、 塑格室外溜冰場用懸浮式拼裝地板 8、 塑格室外藤球場用懸浮式拼裝地板 9、 塑格室外門球場用懸浮式拼裝地板     塑格地板產品室內系列 1、 塑格室內籃球場用懸浮式拼裝運動地板 2、 塑格室內網球場用懸浮式拼裝運動地板 3、 塑格室內五人制足球場用懸浮式拼裝運動地板 4、 塑格室內排球場用懸浮式拼裝地板 5、 塑格室內羽毛球場用懸浮式拼裝地板 6、 塑格室內輪滑場用懸浮式拼裝地板 7、 塑格室內溜冰場用懸浮式拼裝地板 8、 塑格室內藤球場用懸浮式拼裝地板 9、 塑格室內門球場用懸浮式拼裝地板    

VMC300小型五軸數控加工中心 顯著特點 1、 使用220伏電壓，占地小，耗電少，采用全封閉安全設計結構，提高觀摩安全性的同時又保障機器的結構穩固性美觀； 2、高強度樹脂砂鑄件，功能加大，5軸聯動，配置YORNEW M5五軸聯動數控系統，適用國際通用程序，故障自動檢測報警功能、斷電記憶功能； 3、配置精密高速主軸單元100-24000rpm，變頻G指令控制主軸轉速，主軸電機功率1.5Kw； 4、配置10工位斗笠式刀庫，使用氣壓0.6 Mpa，可極大提高復雜產品的加工效率及加工精度； 5、采用C3級精密雙螺母滾珠絲桿,經中周波熱處理及精密研磨，各軸施以預拉減少熱變形，定位及重覆精度高； 6、XYZAC軸采用伺服電機，最快移動速度8000mm/min； 7、機器采用雷尼紹激光干涉儀精確檢測，確保各軸精度背隙,保證定位精度； 8、帶工冷冷卻系統，配有5軸電子手脈三檔可調極大地方便操作和對刀，機器配置有自動間歇潤滑系統； 9、配有移動腳輪和水平腳墊，方便設備的移動與定位；   適用行業：小零件加工、模具廠、印刷機械廠、機械配件廠、首飾加工廠、職業數控教學、科研開發等。   技術參數 重復定位精度：0.02mm 系統分辨率：0.001mm 錐孔跳動精度：2um 最大鉆孔直徑：13mm 最大銑削直徑：13mm 工作臺：450×160mm X\Y\Z軸行程：300\175\270mm A軸行程：+30~-120度 C軸行程：360度 刀庫：斗笠式10工位 軸聯動性：5軸聯動 數控系統：YORNEW M5五軸數控系統(可選配華中數控系統) 最快移動速度：8000mm/min 最快切削進給：1-4000mm/min 電子手脈：5軸三檔可調 主軸端部至工作臺面距離：320mm 工作臺面距地面高度：780mm 工作臺 T 型槽尺寸 ：12 mm 工作臺 T 型槽個數：3 主軸轉速：100-24000 轉/分鐘 主軸電機功率：1.5 KW 指令編程格式：全面兼容國際標準G代碼和多種CAM軟件（MasterCAM，UG等） 使用氣壓：0.6Mpa 工件冷卻方式：水冷循環 潤滑系統：自動潤滑系統 使用電源：AC220V/50Hz 外形尺寸：1360× 990 ×1800 mm 重量：500 kg