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一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統
2016-10-25 00:00:00
云上高博會
http://www.6gsl1hl.xyz
關鍵詞：
氣氛控制系統
所屬領域:
產品服務:
一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統，其特征在于：氣體瓶一（1a）和氣體瓶二（1b）分別通過流量計一（3a）、流量計二（3b）與混合氣管（4）的進氣口相連，混合氣管（4）的出氣口通過進氣腔（6）與原子力顯微鏡上的氣氛腔（7）的進氣口相連。該系統能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛，從而使原子力顯微鏡能進行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機電系統的磨損失效、防護機理的模擬試驗與研究，從而為相應混合氣氛工作中的微機電系統的設計、制造與維護提供更準確、可靠的試驗依據，以降低微機電系統的磨損，提高微機電系統的使用壽命。
項目優勢:
國內領先
市場概況:
前景優越
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